Метод проектирования топологии тонкопленочной микросборки с размерами пленочных элементов 10–50 мкм

• Дата: 2004
• Автор: Spirin, V. G.
• Формат: Стаття
• Мова: Українська
• Опубліковано: PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2004
• Теми: проектирование; топология; тонкопленочная микросборка; размеры резисторов
• Онлайн доступ: https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2004.5.06
• Назва журналу: Technology and design in electronic equipment

The proposed method makes it possible to design thin-film elements with minimum sizes of 10–50 μm. The increase in microassembly integration is achieved by compensating for systematic errors in the structural parameters of thin-film elements, by modifying the algorithm for calculating resistor dimen...