APA (7th ed.) Citation

Spirin, V. G. (2004). Компенсация систематических погрешностей тонкопленочных элементов через элементы фотошаблона. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Spirin, V. G. Компенсация систематических погрешностей тонкопленочных элементов через элементы фотошаблона. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers, 2004.

MLA (8th ed.) Citation

Spirin, V. G. Компенсация систематических погрешностей тонкопленочных элементов через элементы фотошаблона. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers, 2004.

Warning: These citations may not always be 100% accurate.