Зображення обкладинки

Компенсация систематических погрешностей тонкопленочных элементов через элементы фотошаблона

Several methods are considered for compensating for systematic errors in the design parameters of thin-film resistors that determine the yield of functional microassemblies. A method of compensation is proposed by modifying the dimensions of photomask elements according to specific algorithms, which...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2004
Автор:	Spirin, V. G.
Формат:	Стаття
Мова:	Українська
Опубліковано:	PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2004
Теми:	компенсация систематических погрешностей тонкопленочные элементы выход годных микросборок
Онлайн доступ:	https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2004.4.09
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Technology and design in electronic equipment

Репозитарії

Technology and design in electronic equipment

Схожі ресурси

Компенсация систематических погрешностей тонкопленочных элементов через элементы фотошаблона
за авторством: Спирин, В.Г.
Опубліковано: (2004)

Оценка производственных погрешностей тонкопленочных элементов
за авторством: Spirin, V. G.
Опубліковано: (2004)

Оценка производственных погрешностей тонкопленочных элементов
за авторством: Спирин, В.Г.
Опубліковано: (2004)

Компенсация паразитных элементов транзистора с настройкой импедансов на гармониках в усилителе класса F
за авторством: Yefymovych, A. P., та інші
Опубліковано: (2014)

ОПТИМАЛЬНАЯ КОМПЕНСАЦИЯ ПУЛЬСАЦИЙ ПРИ НЕСИММЕТРИЧНОМ НАПРЯЖЕНИИ
за авторством: Сиротин, Ю.А.
Опубліковано: (2013)

Компенсация температурного ухода частоты в резонаторных СВЧ-измерителях на основе ГУН
за авторством: Drobakhin, O. O., та інші
Опубліковано: (2008)

Перспективы развития тонкопленочных микросборок
за авторством: Spirin, V. G.
Опубліковано: (2005)

Математическая модель процесса избыточных измерений при непрерывном воздействии измеряемой физической величины на чувствительный элемент датчика
за авторством: Redko, V. V.
Опубліковано: (2011)

ЭНЕРГЕТИЧЕСКИЙ РАСЧЕТ ФИЛЬТРО-КОМПЕНСИРУЮЩЕГО ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯ С НАКОПИТЕЛЬНЫМ АККУМУЛЯТОРОМ
за авторством: Миколаец , Д.А.
Опубліковано: (2012)

ОСОБЛИВОСТІ ВПЛИВУ ВИЩИХ ГАРМОНІК НА ВИБІР ПАРАМЕТРІВ СТРУМОПРОВОДУ ЦЕХОВИХ МЕРЕЖ
за авторством: Коцур, М.І., та інші
Опубліковано: (2018)

Перспективные материалы для низкоомных толстопленочных резистивных элементов
за авторством: Smirnov, A. N., та інші
Опубліковано: (2005)

КОМПЛЕКСНАЯ ДЕМАГНЕТИЗАЦИЯ ТРУБ ПРИ ЭЛЕКТРОДУГОВОЙ СВАРКЕ
за авторством: Волохов , С.А., та інші
Опубліковано: (2012)

Компенсация паразитных элементов транзистора с настройкой импедансов на гармониках в усилителе класса F
за авторством: Ефимович, А.П., та інші
Опубліковано: (2014)

Numerical study of the centre region acceleration for the RIC-30 cyclotron
за авторством: Andreeva, Z.A., та інші
Опубліковано: (2004)

Размагничивание отклоняющих и магнитоанализирующих устройств ЛУЭ
за авторством: Акчурин, Ю.И., та інші
Опубліковано: (2012)

Waveguide channel for TNK linear accelerator–injector
за авторством: Chernov, K.N., та інші
Опубліковано: (2004)

Hysteresis effects in electron guns
за авторством: Agafonov, A.V., та інші
Опубліковано: (2004)

RF power supply system of industry irradiation facility
за авторством: Gavich, V.T., та інші
Опубліковано: (2004)

Исследование сверхпроводящего резонатора ускорителя e-LINAC
за авторством: Болгов, Р.О., та інші
Опубліковано: (2012)

Формирование пучков тяжелых ионов в начальной части ускоряющей структуры предобдирочной секции линейного ускорителя Лумзи
за авторством: Бомко, В.А., та інші
Опубліковано: (2012)

Microwave feeding system elements of superconducting linear collider cavities
за авторством: Bogdanovich, B.Yu., та інші
Опубліковано: (2004)

Система сбора данных мёллеровского поляриметра зала а национального ускорительного центра имени Т. Джефферсона
за авторством: Помацалюк, Р.И.
Опубліковано: (2012)

UHF–load
за авторством: Dovbnya, A.N., та інші
Опубліковано: (2004)

Development of new elements of automated control systems linear accelerator
за авторством: Boriskin, V.N., та інші
Опубліковано: (2013)

О повышении надежности сверхпроводящих магнитных систем с высокой плотностью тока при высоком темпе выведения запасенной энергии
за авторством: Ильичева, В.О., та інші
Опубліковано: (2012)

Design of accelerating cavities for UNDULAC
за авторством: Polozov, S.M., та інші
Опубліковано: (2012)

Разработка системы быстрой развертки пучка на мишени изотопного комплекса ИЯИ РАН
за авторством: Грехов, О.В., та інші
Опубліковано: (2013)

Настройка отклоняющей структуры для ВЧ-дефлектора в S-частотном диапазоне
за авторством: Анисимов, А.А., та інші
Опубліковано: (2012)

Analog computation of transients in the power amplifier of DTL RF system
за авторством: Kvasha, A.I.
Опубліковано: (2004)

Study of electron beam energy conversion at gyrocon–linear accelerator facility
за авторством: Karliner, M.M., та інші
Опубліковано: (2004)

Разработка радиационной защиты установки AMPMI
за авторством: Воронко, В.А., та інші
Опубліковано: (2012)

Ускоряющие структуры на бегущей волне с большим набегом фазы на период
за авторством: Парамонов, В.В.
Опубліковано: (2012)

О сепарационных свойствах устройств с вращающейся плазмой в скрещенных электрическом и магнитном полях
за авторством: Юферов, В.Б., та інші
Опубліковано: (2012)

Исследование пучка в протонном инжекторе ЛУ ИЯИ РАН
за авторством: Белов, А.С., та інші
Опубліковано: (2012)

Multichannel system for research of secondary emission pulse electron beam generation
за авторством: Ayzatsky, N.I., та інші
Опубліковано: (2004)

Дипольный магнит энергетического фильтра для ускорителя «ЭПОС»
за авторством: Гук, И.С., та інші
Опубліковано: (2012)

Non-destructive beam cross-section detector at the MMFL LEBT
за авторством: Esin, S.K, та інші
Опубліковано: (2004)

Remote control system for H-minus ions source of INR LINAC
за авторством: Volodkevich, O.M., та інші
Опубліковано: (2013)

Cylindrical wiggler based on the solenoid loaded with different magnetic properties rings
за авторством: Kopiychenko, D.Yu., та інші
Опубліковано: (2004)

Research surface resistance of copper normal and abnormal skin-effects depending on the frequency of electromagnetic field
за авторством: Kutovyi, V.A., та інші
Опубліковано: (2013)