Вимірювальна система для тестування електричних параметрів ПЗЗЕМ різного формату
This article describes the developed equipment that allows measuring the photoelectrical parameters of multielement photodetectors, specifically various formats of EMCCD (electron multiplying charge-coupled device) chips. The authors present the measuring techniques and test results on dark currents...
Збережено в:
| Дата: | 2019 |
|---|---|
| Автори: | , , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
2019
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2019.5-6.03 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Technology and design in electronic equipment |
Репозитарії
Technology and design in electronic equipment| id |
oai:tkea.com.ua:article-114 |
|---|---|
| record_format |
ojs |
| spelling |
oai:tkea.com.ua:article-1142025-05-30T19:26:08Z Measuring system for testing electrical parameters of EMCCDs of various formats Вимірювальна система для тестування електричних параметрів ПЗЗЕМ різного формату Zabudsky, Viacheslav Golenkov, Oleksandr Rikhalsky, Oleg Reva, Vladimir Korinets , Sergij Dukhnin, Sergey photodetectors EMCCD electron multiplying charge-coupled device measuring system photoelectric parameters фотодетектори прилади з зарядовим зв’язком з електронним множенням вимірювальна система фотоелектричні параметри This article describes the developed equipment that allows measuring the photoelectrical parameters of multielement photodetectors, specifically various formats of EMCCD (electron multiplying charge-coupled device) chips. The authors present the measuring techniques and test results on dark currents, output amplifier sensitivity, charge transfer efficiency, charge capacity and other parameters. The studies were conducted, both on the wafer and in the body, on samples of the following formats: 576×288, 640×512, 768×576, 1024×1024, and 1280×1024. Прилади з зарядовим зв’язком (ПЗЗ) з електронним множенням (ЕМ) — це високочутливі детектори видимого діапазону, що були розроблені для спостереження в умовах слабкої освітленості та реєстрації одиничних фотонів і успішно використовуються у різних сферах протягом останніх двох десятиліть. Існує багато різних типів матриць, що відрізняються роздільністю, способом зчитування інформації, прямим або зворотнім засвічуванням. Велика кількість типів ПЗЗ-фотодетекторів висуває підвищені вимоги до проектування вимірювальних систем. В літературі досить часто описуються процеси проектування та тестування готових камер, але бракує інформації щодо вимірювальних систем для тестування окремих мікросхем ПЗЗ на пластині або в корпусі.В будь-якому разі вимірювальна система повинна надавати можливості для швидкого регулювання постійних і змінних напруг живлення чипу (та їхніх часових діаграм) для коректування режиму його роботи, передбачати ймовірність тестування несправних мікросхем і при цьому уникати пошкодження апаратури, а також вимірювати різноманітні параметри досліджуваних зразків. Крім цього, розвиток технологій ПЗЗ також призводить до появи нових вимог, наприклад підвищеної частоти тактових імпульсів та їхньої напруги, генерації трирівневих імпульсних сигналів. Для тестування виготовлених кремнієвих мікросхем, особливо на етапі впровадження технології виробництва, необхідне обладнання з певним ступенем універсальності та можливостей налаштування.В даній статті описано розроблену вимірювальну систему, що дозволяє досліджувати фотоелектричні параметри багатоелементних фотоприймачів, зокрема ПЗЗЕМ різних форматів. Представлено методики та результати вимірювань темнових струмів, чутливості вихідного підсилювача, ефективності передачі заряду, зарядової ємності та інших параметрів. Дослідження проводилися на зразках формату 576×288, 640×512, 768×576, 1024×1024, 1280×1024 як на пластинах, так і в корпусах.Розроблений випробувальний стенд дозволяє проводити автоматичне або ручне відбраковування мікросхем і вимірювати фотоелектричні параметри кристалів на пластинах і в корпусі. Принцип побудови вимірювальної системи дозволяє використовувати її для дослідження матриць ПЗЗЕМ різних типів та форматів. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2019-12-26 Article Article Peer-reviewed Article application/pdf https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2019.5-6.03 10.15222/TKEA2019.5-6.03 Technology and design in electronic equipment; No. 5–6 (2019): Tekhnologiya i konstruirovanie v elektronnoi apparature; 3-7 Технологія та конструювання в електронній апаратурі; № 5–6 (2019): Технология и конструирование в электронной аппаратуре; 3-7 3083-6549 3083-6530 10.15222/TKEA2019.5-6 en https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2019.5-6.03/104 Copyright (c) 2019 Zabudsky V., Golenkov O., Rikhalsky O., Reva V., Korinets S., Dukhnin S. http://creativecommons.org/licenses/by/4.0/ |
| institution |
Technology and design in electronic equipment |
| baseUrl_str |
|
| datestamp_date |
2025-05-30T19:26:08Z |
| collection |
OJS |
| language |
English |
| topic |
фотодетектори прилади з зарядовим зв’язком з електронним множенням вимірювальна система фотоелектричні параметри |
| spellingShingle |
фотодетектори прилади з зарядовим зв’язком з електронним множенням вимірювальна система фотоелектричні параметри Zabudsky, Viacheslav Golenkov, Oleksandr Rikhalsky, Oleg Reva, Vladimir Korinets , Sergij Dukhnin, Sergey Вимірювальна система для тестування електричних параметрів ПЗЗЕМ різного формату |
| topic_facet |
photodetectors EMCCD electron multiplying charge-coupled device measuring system photoelectric parameters фотодетектори прилади з зарядовим зв’язком з електронним множенням вимірювальна система фотоелектричні параметри |
| format |
Article |
| author |
Zabudsky, Viacheslav Golenkov, Oleksandr Rikhalsky, Oleg Reva, Vladimir Korinets , Sergij Dukhnin, Sergey |
| author_facet |
Zabudsky, Viacheslav Golenkov, Oleksandr Rikhalsky, Oleg Reva, Vladimir Korinets , Sergij Dukhnin, Sergey |
| author_sort |
Zabudsky, Viacheslav |
| title |
Вимірювальна система для тестування електричних параметрів ПЗЗЕМ різного формату |
| title_short |
Вимірювальна система для тестування електричних параметрів ПЗЗЕМ різного формату |
| title_full |
Вимірювальна система для тестування електричних параметрів ПЗЗЕМ різного формату |
| title_fullStr |
Вимірювальна система для тестування електричних параметрів ПЗЗЕМ різного формату |
| title_full_unstemmed |
Вимірювальна система для тестування електричних параметрів ПЗЗЕМ різного формату |
| title_sort |
вимірювальна система для тестування електричних параметрів пззем різного формату |
| title_alt |
Measuring system for testing electrical parameters of EMCCDs of various formats |
| description |
This article describes the developed equipment that allows measuring the photoelectrical parameters of multielement photodetectors, specifically various formats of EMCCD (electron multiplying charge-coupled device) chips. The authors present the measuring techniques and test results on dark currents, output amplifier sensitivity, charge transfer efficiency, charge capacity and other parameters. The studies were conducted, both on the wafer and in the body, on samples of the following formats: 576×288, 640×512, 768×576, 1024×1024, and 1280×1024. |
| publisher |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers |
| publishDate |
2019 |
| url |
https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2019.5-6.03 |
| work_keys_str_mv |
AT zabudskyviacheslav measuringsystemfortestingelectricalparametersofemccdsofvariousformats AT golenkovoleksandr measuringsystemfortestingelectricalparametersofemccdsofvariousformats AT rikhalskyoleg measuringsystemfortestingelectricalparametersofemccdsofvariousformats AT revavladimir measuringsystemfortestingelectricalparametersofemccdsofvariousformats AT korinetssergij measuringsystemfortestingelectricalparametersofemccdsofvariousformats AT dukhninsergey measuringsystemfortestingelectricalparametersofemccdsofvariousformats AT zabudskyviacheslav vimírûvalʹnasistemadlâtestuvannâelektričnihparametrívpzzemríznogoformatu AT golenkovoleksandr vimírûvalʹnasistemadlâtestuvannâelektričnihparametrívpzzemríznogoformatu AT rikhalskyoleg vimírûvalʹnasistemadlâtestuvannâelektričnihparametrívpzzemríznogoformatu AT revavladimir vimírûvalʹnasistemadlâtestuvannâelektričnihparametrívpzzemríznogoformatu AT korinetssergij vimírûvalʹnasistemadlâtestuvannâelektričnihparametrívpzzemríznogoformatu AT dukhninsergey vimírûvalʹnasistemadlâtestuvannâelektričnihparametrívpzzemríznogoformatu |
| first_indexed |
2025-09-24T17:30:14Z |
| last_indexed |
2025-09-24T17:30:14Z |
| _version_ |
1850410197130936320 |