Вимірювальна система для тестування електричних параметрів ПЗЗЕМ різного формату

This article describes the developed equipment that allows measuring the photoelectrical parameters of multielement photodetectors, specifically various formats of EMCCD (electron multiplying charge-coupled device) chips. The authors present the measuring techniques and test results on dark currents...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2019
Автори: Zabudsky, Viacheslav, Golenkov, Oleksandr, Rikhalsky, Oleg, Reva, Vladimir, Korinets , Sergij, Dukhnin, Sergey
Формат: Стаття
Мова:English
Опубліковано: PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2019
Теми:
Онлайн доступ:https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2019.5-6.03
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Technology and design in electronic equipment

Репозитарії

Technology and design in electronic equipment
id oai:tkea.com.ua:article-114
record_format ojs
spelling oai:tkea.com.ua:article-1142025-05-30T19:26:08Z Measuring system for testing electrical parameters of EMCCDs of various formats Вимірювальна система для тестування електричних параметрів ПЗЗЕМ різного формату Zabudsky, Viacheslav Golenkov, Oleksandr Rikhalsky, Oleg Reva, Vladimir Korinets , Sergij Dukhnin, Sergey photodetectors EMCCD electron multiplying charge-coupled device measuring system photoelectric parameters фотодетектори прилади з зарядовим зв’язком з електронним множенням вимірювальна система фотоелектричні параметри This article describes the developed equipment that allows measuring the photoelectrical parameters of multielement photodetectors, specifically various formats of EMCCD (electron multiplying charge-coupled device) chips. The authors present the measuring techniques and test results on dark currents, output amplifier sensitivity, charge transfer efficiency, charge capacity and other parameters. The studies were conducted, both on the wafer and in the body, on samples of the following formats: 576×288, 640×512, 768×576, 1024×1024, and 1280×1024. Прилади з зарядовим зв’язком (ПЗЗ) з електронним множенням (ЕМ) — це високочутливі детектори видимого діапазону, що були розроблені для спостереження в умовах слабкої освітленості та реєстрації одиничних фотонів і успішно використовуються у різних сферах протягом останніх двох десятиліть. Існує багато різних типів матриць, що відрізняються роздільністю, способом зчитування інформації, прямим або зворотнім засвічуванням. Велика кількість типів ПЗЗ-фотодетекторів висуває підвищені вимоги до проектування вимірювальних систем. В літературі досить часто описуються процеси проектування та тестування готових камер, але бракує інформації щодо вимірювальних систем для тестування окремих мікросхем ПЗЗ на пластині або в корпусі.В будь-якому разі вимірювальна система повинна надавати можливості для швидкого регулювання постійних і змінних напруг живлення чипу (та їхніх часових діаграм) для коректування режиму його роботи, передбачати ймовірність тестування несправних мікросхем і при цьому уникати пошкодження апаратури, а також вимірювати різноманітні параметри досліджуваних зразків. Крім цього, розвиток технологій ПЗЗ також призводить до появи нових вимог, наприклад підвищеної частоти тактових імпульсів та їхньої напруги, генерації трирівневих імпульсних сигналів. Для тестування виготовлених кремнієвих мікросхем, особливо на етапі впровадження технології виробництва, необхідне обладнання з певним ступенем універсальності та можливостей налаштування.В даній статті описано розроблену вимірювальну систему, що дозволяє досліджувати фотоелектричні параметри багатоелементних фотоприймачів, зокрема ПЗЗЕМ різних форматів. Представлено методики та результати вимірювань темнових струмів, чутливості вихідного підсилювача, ефективності передачі заряду, зарядової ємності та інших параметрів. Дослідження проводилися на зразках формату 576×288, 640×512, 768×576, 1024×1024, 1280×1024 як на пластинах, так і в корпусах.Розроблений випробувальний стенд дозволяє проводити автоматичне або ручне відбраковування мікросхем і вимірювати фотоелектричні параметри кристалів на пластинах і в корпусі. Принцип побудови вимірювальної системи дозволяє використовувати її для дослідження матриць ПЗЗЕМ різних типів та форматів. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2019-12-26 Article Article Peer-reviewed Article application/pdf https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2019.5-6.03 10.15222/TKEA2019.5-6.03 Technology and design in electronic equipment; No. 5–6 (2019): Tekhnologiya i konstruirovanie v elektronnoi apparature; 3-7 Технологія та конструювання в електронній апаратурі; № 5–6 (2019): Технология и конструирование в электронной аппаратуре; 3-7 3083-6549 3083-6530 10.15222/TKEA2019.5-6 en https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2019.5-6.03/104 Copyright (c) 2019 Zabudsky V., Golenkov O., Rikhalsky O., Reva V., Korinets S., Dukhnin S. http://creativecommons.org/licenses/by/4.0/
institution Technology and design in electronic equipment
baseUrl_str
datestamp_date 2025-05-30T19:26:08Z
collection OJS
language English
topic фотодетектори
прилади з зарядовим зв’язком з електронним множенням
вимірювальна система
фотоелектричні параметри
spellingShingle фотодетектори
прилади з зарядовим зв’язком з електронним множенням
вимірювальна система
фотоелектричні параметри
Zabudsky, Viacheslav
Golenkov, Oleksandr
Rikhalsky, Oleg
Reva, Vladimir
Korinets , Sergij
Dukhnin, Sergey
Вимірювальна система для тестування електричних параметрів ПЗЗЕМ різного формату
topic_facet photodetectors
EMCCD
electron multiplying charge-coupled device
measuring system
photoelectric parameters
фотодетектори
прилади з зарядовим зв’язком з електронним множенням
вимірювальна система
фотоелектричні параметри
format Article
author Zabudsky, Viacheslav
Golenkov, Oleksandr
Rikhalsky, Oleg
Reva, Vladimir
Korinets , Sergij
Dukhnin, Sergey
author_facet Zabudsky, Viacheslav
Golenkov, Oleksandr
Rikhalsky, Oleg
Reva, Vladimir
Korinets , Sergij
Dukhnin, Sergey
author_sort Zabudsky, Viacheslav
title Вимірювальна система для тестування електричних параметрів ПЗЗЕМ різного формату
title_short Вимірювальна система для тестування електричних параметрів ПЗЗЕМ різного формату
title_full Вимірювальна система для тестування електричних параметрів ПЗЗЕМ різного формату
title_fullStr Вимірювальна система для тестування електричних параметрів ПЗЗЕМ різного формату
title_full_unstemmed Вимірювальна система для тестування електричних параметрів ПЗЗЕМ різного формату
title_sort вимірювальна система для тестування електричних параметрів пззем різного формату
title_alt Measuring system for testing electrical parameters of EMCCDs of various formats
description This article describes the developed equipment that allows measuring the photoelectrical parameters of multielement photodetectors, specifically various formats of EMCCD (electron multiplying charge-coupled device) chips. The authors present the measuring techniques and test results on dark currents, output amplifier sensitivity, charge transfer efficiency, charge capacity and other parameters. The studies were conducted, both on the wafer and in the body, on samples of the following formats: 576×288, 640×512, 768×576, 1024×1024, and 1280×1024.
publisher PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
publishDate 2019
url https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2019.5-6.03
work_keys_str_mv AT zabudskyviacheslav measuringsystemfortestingelectricalparametersofemccdsofvariousformats
AT golenkovoleksandr measuringsystemfortestingelectricalparametersofemccdsofvariousformats
AT rikhalskyoleg measuringsystemfortestingelectricalparametersofemccdsofvariousformats
AT revavladimir measuringsystemfortestingelectricalparametersofemccdsofvariousformats
AT korinetssergij measuringsystemfortestingelectricalparametersofemccdsofvariousformats
AT dukhninsergey measuringsystemfortestingelectricalparametersofemccdsofvariousformats
AT zabudskyviacheslav vimírûvalʹnasistemadlâtestuvannâelektričnihparametrívpzzemríznogoformatu
AT golenkovoleksandr vimírûvalʹnasistemadlâtestuvannâelektričnihparametrívpzzemríznogoformatu
AT rikhalskyoleg vimírûvalʹnasistemadlâtestuvannâelektričnihparametrívpzzemríznogoformatu
AT revavladimir vimírûvalʹnasistemadlâtestuvannâelektričnihparametrívpzzemríznogoformatu
AT korinetssergij vimírûvalʹnasistemadlâtestuvannâelektričnihparametrívpzzemríznogoformatu
AT dukhninsergey vimírûvalʹnasistemadlâtestuvannâelektričnihparametrívpzzemríznogoformatu
first_indexed 2025-09-24T17:30:14Z
last_indexed 2025-09-24T17:30:14Z
_version_ 1850410197130936320