Влияние кремниевой подложки на пробивное напряжение разветвленного n++–p+-перехода

The paper examines the influence of microdefects, as well as oxygen and carbon impurities in the silicon substrate, on the breakdown voltage of an uncontrolled n++–p+ junction. The mechanism of oxygen impurity impact on the type of breakdown is briefly discussed. Practical applications of the result...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2003
Автори: Sidorenko, V. P., Kizyak, A. Yu., Nikolaenko, Yu. E.
Формат: Стаття
Мова:Українська
Опубліковано: PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2003
Теми:
Онлайн доступ:https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2003.6.56
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Technology and design in electronic equipment

Репозитарії

Technology and design in electronic equipment
_version_ 1865667125557854208
author Sidorenko, V. P.
Kizyak, A. Yu.
Nikolaenko, Yu. E.
author_facet Sidorenko, V. P.
Kizyak, A. Yu.
Nikolaenko, Yu. E.
author_sort Sidorenko, V. P.
baseUrl_str https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/oai
collection OJS
datestamp_date 2026-05-19T20:36:22Z
description The paper examines the influence of microdefects, as well as oxygen and carbon impurities in the silicon substrate, on the breakdown voltage of an uncontrolled n++–p+ junction. The mechanism of oxygen impurity impact on the type of breakdown is briefly discussed. Practical applications of the results in VLSI manufacturing technology are considered.
first_indexed 2026-05-20T01:00:20Z
format Article
id oai:tkea.com.ua:article-1218
institution Technology and design in electronic equipment
keywords_txt_mv keywords
language Ukrainian
last_indexed 2026-05-20T01:00:20Z
publishDate 2003
publisher PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
record_format ojs
spelling oai:tkea.com.ua:article-12182026-05-19T20:36:22Z Influence of the silicon substrate on the breakdown voltage of a branched n++–p+ junction Влияние кремниевой подложки на пробивное напряжение разветвленного n++–p+-перехода Sidorenko, V. P. Kizyak, A. Yu. Nikolaenko, Yu. E. silicon substrate breakdown voltage n –p junction microdefects oxygen carbon VLSI кремниевая подложка пробивное напряжение n –p переход микродефекты кислород углерод СБИС The paper examines the influence of microdefects, as well as oxygen and carbon impurities in the silicon substrate, on the breakdown voltage of an uncontrolled n++–p+ junction. The mechanism of oxygen impurity impact on the type of breakdown is briefly discussed. Practical applications of the results in VLSI manufacturing technology are considered. Рассмотрено влияние микродефектов, а также примесей кислорода и углерода в кремниевой подложке на пробивное напряжение неуправляемого n++-p+-перехода. Кратко рассмотрен механизм влияния примеси кислорода на тип пробоя. Рассмотрены возможности практического использования результатов данной работы в технологии изготовления СБИС. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2003-12-30 Article Article Peer-reviewed Article application/pdf https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2003.6.56 Technology and design in electronic equipment; No. 6 (2003): Tekhnologiya i konstruirovanie v elektronnoi apparature ; 56-58 Технологія та конструювання в електронній апаратурі; № 6 (2003): Технология и конструирование в электронной аппаратуре; 56-58 3083-6549 3083-6530 uk https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2003.6.56/1117 Copyright (c) 2003 Sidorenko V. P., Kizyak A. Yu., Nikolaenko Yu. E. http://creativecommons.org/licenses/by/4.0/
spellingShingle кремниевая подложка
пробивное напряжение
n –p переход
микродефекты
кислород
углерод
СБИС
Sidorenko, V. P.
Kizyak, A. Yu.
Nikolaenko, Yu. E.
Влияние кремниевой подложки на пробивное напряжение разветвленного n++–p+-перехода
title Влияние кремниевой подложки на пробивное напряжение разветвленного n++–p+-перехода
title_alt Influence of the silicon substrate on the breakdown voltage of a branched n++–p+ junction
title_full Влияние кремниевой подложки на пробивное напряжение разветвленного n++–p+-перехода
title_fullStr Влияние кремниевой подложки на пробивное напряжение разветвленного n++–p+-перехода
title_full_unstemmed Влияние кремниевой подложки на пробивное напряжение разветвленного n++–p+-перехода
title_short Влияние кремниевой подложки на пробивное напряжение разветвленного n++–p+-перехода
title_sort влияние кремниевой подложки на пробивное напряжение разветвленного n++–p+-перехода
topic кремниевая подложка
пробивное напряжение
n –p переход
микродефекты
кислород
углерод
СБИС
topic_facet silicon substrate
breakdown voltage
n –p junction
microdefects
oxygen
carbon
VLSI
кремниевая подложка
пробивное напряжение
n –p переход
микродефекты
кислород
углерод
СБИС
url https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2003.6.56
work_keys_str_mv AT sidorenkovp influenceofthesiliconsubstrateonthebreakdownvoltageofabranchednpjunction
AT kizyakayu influenceofthesiliconsubstrateonthebreakdownvoltageofabranchednpjunction
AT nikolaenkoyue influenceofthesiliconsubstrateonthebreakdownvoltageofabranchednpjunction
AT sidorenkovp vliâniekremnievojpodložkinaprobivnoenaprâženierazvetvlennogonpperehoda
AT kizyakayu vliâniekremnievojpodložkinaprobivnoenaprâženierazvetvlennogonpperehoda
AT nikolaenkoyue vliâniekremnievojpodložkinaprobivnoenaprâženierazvetvlennogonpperehoda