Buchumschlag

Кинетика десорбционной очистки поверхности кремниевых пластин в перекисно-аммиачных растворах

The paper investigates desorption of cations (Na⁺, Fe³⁺, Cu²⁺, Ag⁺) and atoms (Au), as well as anions S²⁻ and Cl⁻ from the surface of silicon wafers KDB-10 with orientations (100) and (110) during treatment at 70 °C in peroxide–ammonia solutions of three compositions. The method of radioactive isoto...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Datum:	2003
Hauptverfasser:	Poltavtsev, Yu. G., Virchenko, P. T., Kostyuk, V. V.
Format:	Artikel
Sprache:	Ukrainisch
Veröffentlicht:	PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2003
Schlagworte:	кремниевые пластины перекисно-аммиачные растворы десорбция химическая обработка
Online Zugang:	https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2003.6.59
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Technology and design in electronic equipment

Institution

Technology and design in electronic equipment

Ähnliche Einträge

Кинетика десорбционной очистки поверхности кремниевых пластин в перекисно-аммиачных растворах
von: Полтавцев, Ю.Г., et al.
Veröffentlicht: (2003)

Математические модели формирования химической связи твердых растворов CdSb–ZnSb
von: Ashcheulov, A. A., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Долговременные корреляции в диффузионном движении молекул воды и атомов благородных газов в растворах гелия и аргона
von: Voloshin, V. P., et al.
Veröffentlicht: (2019)

Применение гибких носителей при сборке кремниевых детекторов
von: Perevertaylo, V. L., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Устройства считывания информации с крупноформатных матриц ИК-фотодиодов
von: Reva, V. P., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Температурные и концентрационные зависимости подвижности носителей заряда в твердых растворах (PbS)1–x(Sm2S3)x
von: Hasanov, G. A., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Химическая связь сурьмы. Технологические аспекты
von: Ashcheulov, A. A., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Кинетика реакции тиосульфат-иона с метилисдидом в водных растворах
von: Замащиков, В.В., et al.
Veröffentlicht: (1983)

Обобщённая модель формы пиков в десорбционной масс-спектрометрии
von: Перегудов, О.Н., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Изучение адсорбционных состояний в керамике ZnO–Ag методом ТВЭ-кривых
von: Lyashkov, A. Yu.
Veröffentlicht: (2013)

Получениe фунгицида гидроксохлорида меди (II) из травильных медно-аммиачных растворов
von: Ларин, В.И., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Кинетика адсорбции и десорбции в бинарных и тройных растворах полимеров
von: Чорная, В.Н., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Формальная кинетика гетерогенного катализа и динамика сорбционной очистки сложных растворов
von: Агеева, И.А., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Кинетика и механизм окисления тиофена пероксиазотистой кислотой в водных растворах и газовой фазе
von: Лобачев, В.Л., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Кинетика и механизм ионизации меди в растворах хлорной кислоты при низких плотностях тока
von: Козин, Л.Ф., et al.
Veröffentlicht: (1983)

Кинетика роста и растворения включений ³He в расслоившихся твердых растворах ³He в ⁴He
von: Ганьшин, А.Н., et al.
Veröffentlicht: (1999)

Кинетика роста и растворения включений ³He в расслоившихся твердых растворах ³He в ⁴He
von: Ганьшин, А.Н., et al.
Veröffentlicht: (1999)

Изучение механизма конверсии метанола в углеводороды на цеолитах методом десорбционной масс-спектрометрии
von: Брей, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2003)

Кинетика совмещенных процессов на анодах с комбинированным оксидно-металлическим покрытием в растворах сульфатной кислоты
von: Тульский, Г.Г., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Термоэлектрические свойства сплавов системы TlInTe2–TlYbTe2
von: Zarbaliyev, M. M., et al.
Veröffentlicht: (2004)

Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей
von: Федорович, О.А., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Кинетика фазового перехода в твердых растворах ⁴Нe в ³Нe при различных степенях пересыщения
von: Григорьев, В.Н., et al.
Veröffentlicht: (2004)

Кинетика и механизм окисления молекулярного водорода комплексами Hg(II) и Rh(III) в водных растворах
von: Рудаков, Е.С., et al.
Veröffentlicht: (1983)

Сравнительная характеристика качественного состояния гумусовых веществ целинных и обрабатываемых почв методом десорбционной масс-спектрометрии
von: Паляница, Б.Б., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Влияние плазмохимического травления на структуру поверхности кремниевых пластин фотоэлектрических преобразователей
von: Polozov, B. P., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Получение кремниевых нитевидных нанокристаллов
von: Дружинин, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Молекулярная модель и химическая связь теллура
von: Azcheulov, A. A., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Особенности формирования быстровосстанавливающихся кремниевых диодов
von: Gorban, A. N., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Новое поколение микроэлектронных кремниевых термодатчиков
von: Шварц, Ю.М., et al.
Veröffentlicht: (2003)

Особенности формирования быстровосстанавливающихся кремниевых диодов
von: Горбань, А.Н., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Масс-спектрометрическое изучение адсорбции гистамина и аргинина на различных видах поверхности пористого кремния методом лазерной десорбционной ионизации
von: Шмыголь, И.В., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Приборно-технологическое моделирование автоэмиссионных кремниевых микрокатодов
von: Druzhynin, А. A., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Моделирование электронной структуры кремниевых напряженных наночастиц
von: Филиппов, В.В.
Veröffentlicht: (2008)

Синтез кремниевых апатитов, модифицированных редкоземельными элементами
von: Старостенко, Н.В., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Формирование рельефных микроструктур на кремниевых подложках
von: Косско, И.А., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Приборно-технологическое моделирование автоэмиссионных кремниевых микрокатодов
von: Дружинин, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Герметизированные модули кремниевых детекторов ионизирующего излучения
von: Васильев, Г.П., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Технология формирования высококачественных кремниевых эпитаксиальных структур
von: Новосядлый, С.П.
Veröffentlicht: (1998)

Влияние толщины кремниевых пластин на характеристики многопереходных солнечных элементов с вертикальными p–n-переходами
von: Gnilenko, A. B., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Влияние толщины кремниевых пластин на характеристики многопереходных солнечных элементов с вертикальными p–n-переходами
von: Гниленко, А.Б., et al.
Veröffentlicht: (2012)