Кинетика десорбционной очистки поверхности кремниевых пластин в перекисно-аммиачных растворах
The paper investigates desorption of cations (Na⁺, Fe³⁺, Cu²⁺, Ag⁺) and atoms (Au), as well as anions S²⁻ and Cl⁻ from the surface of silicon wafers KDB-10 with orientations (100) and (110) during treatment at 70 °C in peroxide–ammonia solutions of three compositions. The method of radioactive isoto...
Збережено в:
| Дата: | 2003 |
|---|---|
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Українська |
| Опубліковано: |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
2003
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2003.6.59 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Technology and design in electronic equipment |
Репозитарії
Technology and design in electronic equipmentСхожі ресурси
Кинетика десорбционной очистки поверхности кремниевых пластин в перекисно-аммиачных растворах
за авторством: Полтавцев, Ю.Г., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Полтавцев, Ю.Г., та інші
Опубліковано: (2003)
Математические модели формирования химической связи твердых растворов CdSb–ZnSb
за авторством: Ashcheulov, A. A., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Ashcheulov, A. A., та інші
Опубліковано: (2009)
Долговременные корреляции в диффузионном движении молекул воды и атомов благородных газов в растворах гелия и аргона
за авторством: Voloshin, V. P., та інші
Опубліковано: (2019)
за авторством: Voloshin, V. P., та інші
Опубліковано: (2019)
Применение гибких носителей при сборке кремниевых детекторов
за авторством: Perevertaylo, V. L., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Perevertaylo, V. L., та інші
Опубліковано: (2009)
Устройства считывания информации с крупноформатных матриц ИК-фотодиодов
за авторством: Reva, V. P., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Reva, V. P., та інші
Опубліковано: (2011)
Температурные и концентрационные зависимости подвижности носителей заряда в твердых растворах (PbS)1–x(Sm2S3)x
за авторством: Hasanov, G. A., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Hasanov, G. A., та інші
Опубліковано: (2008)
Химическая связь сурьмы. Технологические аспекты
за авторством: Ashcheulov, A. A., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Ashcheulov, A. A., та інші
Опубліковано: (2011)
Кинетика реакции тиосульфат-иона с метилисдидом в водных растворах
за авторством: Замащиков, В.В., та інші
Опубліковано: (1983)
за авторством: Замащиков, В.В., та інші
Опубліковано: (1983)
Обобщённая модель формы пиков в десорбционной масс-спектрометрии
за авторством: Перегудов, О.Н., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Перегудов, О.Н., та інші
Опубліковано: (2011)
Изучение адсорбционных состояний в керамике ZnO–Ag методом ТВЭ-кривых
за авторством: Lyashkov, A. Yu.
Опубліковано: (2013)
за авторством: Lyashkov, A. Yu.
Опубліковано: (2013)
Получениe фунгицида гидроксохлорида меди (II) из травильных медно-аммиачных растворов
за авторством: Ларин, В.И., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Ларин, В.И., та інші
Опубліковано: (2008)
Кинетика адсорбции и десорбции в бинарных и тройных растворах полимеров
за авторством: Чорная, В.Н., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Чорная, В.Н., та інші
Опубліковано: (2010)
Формальная кинетика гетерогенного катализа и динамика сорбционной очистки сложных растворов
за авторством: Агеева, И.А., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Агеева, И.А., та інші
Опубліковано: (2009)
Кинетика и механизм окисления тиофена пероксиазотистой кислотой в водных растворах и газовой фазе
за авторством: Лобачев, В.Л., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Лобачев, В.Л., та інші
Опубліковано: (2013)
Кинетика и механизм ионизации меди в растворах хлорной кислоты при низких плотностях тока
за авторством: Козин, Л.Ф., та інші
Опубліковано: (1983)
за авторством: Козин, Л.Ф., та інші
Опубліковано: (1983)
Кинетика роста и растворения включений ³He в расслоившихся твердых растворах ³He в ⁴He
за авторством: Ганьшин, А.Н., та інші
Опубліковано: (1999)
за авторством: Ганьшин, А.Н., та інші
Опубліковано: (1999)
Кинетика роста и растворения включений ³He в расслоившихся твердых растворах ³He в ⁴He
за авторством: Ганьшин, А.Н., та інші
Опубліковано: (1999)
за авторством: Ганьшин, А.Н., та інші
Опубліковано: (1999)
Изучение механизма конверсии метанола в углеводороды на цеолитах методом десорбционной масс-спектрометрии
за авторством: Брей, В.В., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Брей, В.В., та інші
Опубліковано: (2003)
Кинетика совмещенных процессов на анодах с комбинированным оксидно-металлическим покрытием в растворах сульфатной кислоты
за авторством: Тульский, Г.Г., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Тульский, Г.Г., та інші
Опубліковано: (2011)
Термоэлектрические свойства сплавов системы TlInTe2–TlYbTe2
за авторством: Zarbaliyev, M. M., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Zarbaliyev, M. M., та інші
Опубліковано: (2004)
Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей
за авторством: Федорович, О.А., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Федорович, О.А., та інші
Опубліковано: (2009)
Кинетика фазового перехода в твердых растворах ⁴Нe в ³Нe при различных степенях пересыщения
за авторством: Григорьев, В.Н., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Григорьев, В.Н., та інші
Опубліковано: (2004)
Кинетика и механизм окисления молекулярного водорода комплексами Hg(II) и Rh(III) в водных растворах
за авторством: Рудаков, Е.С., та інші
Опубліковано: (1983)
за авторством: Рудаков, Е.С., та інші
Опубліковано: (1983)
Сравнительная характеристика качественного состояния гумусовых веществ целинных и обрабатываемых почв методом десорбционной масс-спектрометрии
за авторством: Паляница, Б.Б., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Паляница, Б.Б., та інші
Опубліковано: (2012)
Влияние плазмохимического травления на структуру поверхности кремниевых пластин фотоэлектрических преобразователей
за авторством: Polozov, B. P., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Polozov, B. P., та інші
Опубліковано: (2006)
Получение кремниевых нитевидных нанокристаллов
за авторством: Дружинин, А.А., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Дружинин, А.А., та інші
Опубліковано: (2011)
Молекулярная модель и химическая связь теллура
за авторством: Azcheulov, A. A., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Azcheulov, A. A., та інші
Опубліковано: (2010)
Особенности формирования быстровосстанавливающихся кремниевых диодов
за авторством: Gorban, A. N., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Gorban, A. N., та інші
Опубліковано: (2008)
Новое поколение микроэлектронных кремниевых термодатчиков
за авторством: Шварц, Ю.М., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Шварц, Ю.М., та інші
Опубліковано: (2003)
Особенности формирования быстровосстанавливающихся кремниевых диодов
за авторством: Горбань, А.Н., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Горбань, А.Н., та інші
Опубліковано: (2008)
Масс-спектрометрическое изучение адсорбции гистамина и аргинина на различных видах поверхности пористого кремния методом лазерной десорбционной ионизации
за авторством: Шмыголь, И.В., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Шмыголь, И.В., та інші
Опубліковано: (2007)
Приборно-технологическое моделирование автоэмиссионных кремниевых микрокатодов
за авторством: Druzhynin, А. A., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Druzhynin, А. A., та інші
Опубліковано: (2008)
Моделирование электронной структуры кремниевых напряженных наночастиц
за авторством: Филиппов, В.В.
Опубліковано: (2008)
за авторством: Филиппов, В.В.
Опубліковано: (2008)
Синтез кремниевых апатитов, модифицированных редкоземельными элементами
за авторством: Старостенко, Н.В., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Старостенко, Н.В., та інші
Опубліковано: (2010)
Формирование рельефных микроструктур на кремниевых подложках
за авторством: Косско, И.А., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Косско, И.А., та інші
Опубліковано: (2006)
Приборно-технологическое моделирование автоэмиссионных кремниевых микрокатодов
за авторством: Дружинин, А.А., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Дружинин, А.А., та інші
Опубліковано: (2008)
Герметизированные модули кремниевых детекторов ионизирующего излучения
за авторством: Васильев, Г.П., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Васильев, Г.П., та інші
Опубліковано: (2010)
Технология формирования высококачественных кремниевых эпитаксиальных структур
за авторством: Новосядлый, С.П.
Опубліковано: (1998)
за авторством: Новосядлый, С.П.
Опубліковано: (1998)
Влияние толщины кремниевых пластин на характеристики многопереходных солнечных элементов с вертикальными p–n-переходами
за авторством: Gnilenko, A. B., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Gnilenko, A. B., та інші
Опубліковано: (2012)
Влияние толщины кремниевых пластин на характеристики многопереходных солнечных элементов с вертикальными p–n-переходами
за авторством: Гниленко, А.Б., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Гниленко, А.Б., та інші
Опубліковано: (2012)