Применение контролируемого анодного окисления для экспресс-контроля в технологии пленок и тонкопленочных структур
The fundamentals of the controlled anodic oxidation method ("anodic spectroscopy"), its application techniques, and the results of studies of multilayer thin-film structures are presented. Anodizing profiles of structures formed by electron-beam and magnetron deposition of Nb and A...
Saved in:
| Date: | 2003 |
|---|---|
| Main Authors: | , , |
| Format: | Article |
| Language: | Ukrainian |
| Published: |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
2003
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2003.5.42 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Technology and design in electronic equipment |
Institution
Technology and design in electronic equipment| _version_ | 1865848318192517120 |
|---|---|
| author | Lebedeva, T. S. Shpilevoy, P. B. Voitovich, I. D. |
| author_facet | Lebedeva, T. S. Shpilevoy, P. B. Voitovich, I. D. |
| author_sort | Lebedeva, T. S. |
| baseUrl_str | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/oai |
| collection | OJS |
| datestamp_date | 2026-05-21T13:30:28Z |
| description | The fundamentals of the controlled anodic oxidation method ("anodic spectroscopy"), its application techniques, and the results of studies of multilayer thin-film structures are presented. Anodizing profiles of structures formed by electron-beam and magnetron deposition of Nb and Al films, with barrier AlOx oxide formed by thermal oxidation and magnetron glow discharge, were obtained and analyzed. The method’s application for monitoring the formation of nanostructured anodic aluminum oxide films is demonstrated. The effectiveness of the method for rapid monitoring in thin-film technologies is shown. |
| first_indexed | 2026-05-22T01:00:19Z |
| format | Article |
| id | oai:tkea.com.ua:article-1230 |
| institution | Technology and design in electronic equipment |
| keywords_txt_mv | keywords |
| language | Ukrainian |
| last_indexed | 2026-05-22T01:00:19Z |
| publishDate | 2003 |
| publisher | PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers |
| record_format | ojs |
| spelling | oai:tkea.com.ua:article-12302026-05-21T13:30:28Z Application of controlled anodic oxidation for rapid monitoring in thin-film technology and thin-film structures Применение контролируемого анодного окисления для экспресс-контроля в технологии пленок и тонкопленочных структур Lebedeva, T. S. Shpilevoy, P. B. Voitovich, I. D. controlled anodic oxidation anodizing profiles thin-film structures rapid monitoring Josephson device technology nanostructured oxide films контролируемое анодное окисление профили анодирования тонкопленочные структуры экспресс-контроль технология джозефсоновских устройств наноструктурированные оксидные пленки The fundamentals of the controlled anodic oxidation method ("anodic spectroscopy"), its application techniques, and the results of studies of multilayer thin-film structures are presented. Anodizing profiles of structures formed by electron-beam and magnetron deposition of Nb and Al films, with barrier AlOx oxide formed by thermal oxidation and magnetron glow discharge, were obtained and analyzed. The method’s application for monitoring the formation of nanostructured anodic aluminum oxide films is demonstrated. The effectiveness of the method for rapid monitoring in thin-film technologies is shown. Приведены основы метода контролируемого анодного окисления ("анодной спектроскопии"), методики его применения, результаты исследований многослойных тонкопленочных структур. Получены и проанализированы профили анодирования структур, сформированных при осаждении пленок Nb и Al электронно-лучевым способом и магнетроном, с формированием барьерного оксида AlOx термическим окислением и в тлеющем разряде магнетрона. Продемонстрировано применение метода для контроля формирования наноструктурированных анодных пленок оксида алюминия. Показана плодотворность метода для экспресс-контроля тонкопленочных технологий. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2003-10-31 Article Article Peer-reviewed Article application/pdf https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2003.5.42 Technology and design in electronic equipment; No. 5 (2003): Tekhnologiya i konstruirovanie v elektronnoi apparature; 42-46 Технологія та конструювання в електронній апаратурі; № 5 (2003): Технология и конструирование в электронной аппаратуре; 42-46 3083-6549 3083-6530 uk https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2003.5.42/1129 Copyright (c) 2003 Lebedeva T. S., Shpilevoy P. B., Voitovich I. D. http://creativecommons.org/licenses/by/4.0/ |
| spellingShingle | контролируемое анодное окисление профили анодирования тонкопленочные структуры экспресс-контроль технология джозефсоновских устройств наноструктурированные оксидные пленки Lebedeva, T. S. Shpilevoy, P. B. Voitovich, I. D. Применение контролируемого анодного окисления для экспресс-контроля в технологии пленок и тонкопленочных структур |
| title | Применение контролируемого анодного окисления для экспресс-контроля в технологии пленок и тонкопленочных структур |
| title_alt | Application of controlled anodic oxidation for rapid monitoring in thin-film technology and thin-film structures |
| title_full | Применение контролируемого анодного окисления для экспресс-контроля в технологии пленок и тонкопленочных структур |
| title_fullStr | Применение контролируемого анодного окисления для экспресс-контроля в технологии пленок и тонкопленочных структур |
| title_full_unstemmed | Применение контролируемого анодного окисления для экспресс-контроля в технологии пленок и тонкопленочных структур |
| title_short | Применение контролируемого анодного окисления для экспресс-контроля в технологии пленок и тонкопленочных структур |
| title_sort | применение контролируемого анодного окисления для экспресс-контроля в технологии пленок и тонкопленочных структур |
| topic | контролируемое анодное окисление профили анодирования тонкопленочные структуры экспресс-контроль технология джозефсоновских устройств наноструктурированные оксидные пленки |
| topic_facet | controlled anodic oxidation anodizing profiles thin-film structures rapid monitoring Josephson device technology nanostructured oxide films контролируемое анодное окисление профили анодирования тонкопленочные структуры экспресс-контроль технология джозефсоновских устройств наноструктурированные оксидные пленки |
| url | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2003.5.42 |
| work_keys_str_mv | AT lebedevats applicationofcontrolledanodicoxidationforrapidmonitoringinthinfilmtechnologyandthinfilmstructures AT shpilevoypb applicationofcontrolledanodicoxidationforrapidmonitoringinthinfilmtechnologyandthinfilmstructures AT voitovichid applicationofcontrolledanodicoxidationforrapidmonitoringinthinfilmtechnologyandthinfilmstructures AT lebedevats primeneniekontroliruemogoanodnogookisleniâdlâékspresskontrolâvtehnologiiplenokitonkoplenočnyhstruktur AT shpilevoypb primeneniekontroliruemogoanodnogookisleniâdlâékspresskontrolâvtehnologiiplenokitonkoplenočnyhstruktur AT voitovichid primeneniekontroliruemogoanodnogookisleniâdlâékspresskontrolâvtehnologiiplenokitonkoplenočnyhstruktur |