Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением

• Date: 2003
• Main Authors: Ivanchikov, A. E., Kisel, A. M., Medvedeva, A. B., Plebanovich, V. I., Ponomar, V. N., Shikulo, V. E.
• Format: Article
• Language: Ukrainian
• Published: PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2003
• Subjects: плазмохимическое травление; удаление полимерных загрязнений; полимерные остатки; растворы PRX; термический метод удаления; операция «оплавление контактов»; разброс толщины диоксида кремния
• Online Access: https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2003.5.46
• Journal Title: Technology and design in electronic equipment

The formation of small-sized contact windows by plasma-chemical etching and the main factors of polymer residue formation after etching are considered. The composition of polymer residues and the mechanism of their removal by chemical methods using PRX solutions have been studied. An indirect evalua...