Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением
The formation of small-sized contact windows by plasma-chemical etching and the main factors of polymer residue formation after etching are considered. The composition of polymer residues and the mechanism of their removal by chemical methods using PRX solutions have been studied. An indirect evalua...
Збережено в:
| Дата: | 2003 |
|---|---|
| Автори: | , , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Українська |
| Опубліковано: |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
2003
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2003.5.46 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Technology and design in electronic equipment |
Репозитарії
Technology and design in electronic equipmentСхожі ресурси
Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением
за авторством: Иванчиков, А.Э., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Иванчиков, А.Э., та інші
Опубліковано: (2003)
Оптоэлектронные свойства в гидрогенизированных тонких пленках a-Si1−xGex:H (x = 0−1), полученных плазмохимическим осаждением
за авторством: Najafov, B. A., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Najafov, B. A., та інші
Опубліковано: (2018)
Влияние плазмохимического травления на структуру поверхности кремниевых пластин фотоэлектрических преобразователей
за авторством: Polozov, B. P., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Polozov, B. P., та інші
Опубліковано: (2006)
Кинетика десорбционной очистки поверхности кремниевых пластин в перекисно-аммиачных растворах
за авторством: Poltavtsev, Yu. G., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Poltavtsev, Yu. G., та інші
Опубліковано: (2003)
Плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия
за авторством: Borisenko, A. G., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Borisenko, A. G., та інші
Опубліковано: (2005)
Долговременные корреляции в диффузионном движении молекул воды и атомов благородных газов в растворах гелия и аргона
за авторством: Voloshin, V. P., та інші
Опубліковано: (2019)
за авторством: Voloshin, V. P., та інші
Опубліковано: (2019)
Прогнозирование разброса параметров полевых транзисторов с барьером Шоттки на GaAs
за авторством: Gorev, N. B., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Gorev, N. B., та інші
Опубліковано: (2006)
Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей
за авторством: Fedorovich, O. A., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Fedorovich, O. A., та інші
Опубліковано: (2009)
Прогнозирование содержания углерода в полупродукте на выпуске из большегрузных 350-т конвертеров с применением непараметрической статистики
за авторством: Бондарь, В. И., та інші
Опубліковано: (2023)
за авторством: Бондарь, В. И., та інші
Опубліковано: (2023)
Термоэлектрические свойства сплавов системы TlInTe2–TlYbTe2
за авторством: Zarbaliyev, M. M., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Zarbaliyev, M. M., та інші
Опубліковано: (2004)
Температурные и концентрационные зависимости подвижности носителей заряда в твердых растворах (PbS)1–x(Sm2S3)x
за авторством: Hasanov, G. A., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Hasanov, G. A., та інші
Опубліковано: (2008)
Математические модели формирования химической связи твердых растворов CdSb–ZnSb
за авторством: Ashcheulov, A. A., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Ashcheulov, A. A., та інші
Опубліковано: (2009)
Режим работы двухкаскадного термоэлектрического охлаждающего устройства, обеспечивающий минимальную интенсивность отказов
за авторством: Dudin, S. V., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Dudin, S. V., та інші
Опубліковано: (2011)
Two Worlds of Cultural Succession
за авторством: L. Ponomar
Опубліковано: (2022)
за авторством: L. Ponomar
Опубліковано: (2022)
Folk Attire as a Cultural Phenomenon in Polish Studies. Atlas Polskich Strojow Ludowych. Stroje ludowe jako fenomen kulturowy / Praca zbiorowa pod redakcją Anny Weroniki Brzezińskiej i Marioli Tymochowicz. Wrocław: Polskie Towarzystwo Ludoznawcze, 2013
за авторством: L. Ponomar
Опубліковано: (2019)
за авторством: L. Ponomar
Опубліковано: (2019)
The Evacuated Collection at the Kirovohrad Regional Art Museum
за авторством: L. Ponomar
Опубліковано: (2016)
за авторством: L. Ponomar
Опубліковано: (2016)
The Preserved Heritage (Volyn Local Historical Museum for Now)
за авторством: L. Ponomar
Опубліковано: (2014)
за авторством: L. Ponomar
Опубліковано: (2014)
Trends of Researching Folk Attire in the Light of Modern Interpretation
за авторством: L. Ponomar
Опубліковано: (2021)
за авторством: L. Ponomar
Опубліковано: (2021)
Sign Function of Clothes in the Mid-XXth - Early XXIst Centuries Ukrainian Ritual Culture: Manifestations of Local Traditions (After the Expeditionary Materials)
за авторством: L. Ponomar
Опубліковано: (2015)
за авторством: L. Ponomar
Опубліковано: (2015)
Chernihivshchyna Folk Attire: Traditions and Prospects
за авторством: L. Ponomar
Опубліковано: (2017)
за авторством: L. Ponomar
Опубліковано: (2017)
State, Method and Intermediate Results of the Drafting of Post-quantum Cryptographic Primitives
за авторством: V. A. Ponomar
Опубліковано: (2017)
за авторством: V. A. Ponomar
Опубліковано: (2017)
Поиск радиовспышек, вызванных столкновениями метеороидов с Луной
за авторством: Вольвач, А.Е., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Вольвач, А.Е., та інші
Опубліковано: (2009)
Моделирование крупномасштабных движений галактик, вызванных одиночным аттрактором
за авторством: Тугай, А.В., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Тугай, А.В., та інші
Опубліковано: (2003)
Comparative Analysis of Post-Quantum Asymmetric Encrypt Algorithms
за авторством: V. V. Onopriienko, та інші
Опубліковано: (2019)
за авторством: V. V. Onopriienko, та інші
Опубліковано: (2019)
Определение групп рисков при заболеваниях, вызванных COVID-19
за авторством: Вагис, А.А., та інші
Опубліковано: (2020)
за авторством: Вагис, А.А., та інші
Опубліковано: (2020)
Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок
за авторством: Ivanchykau, A. E., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Ivanchykau, A. E., та інші
Опубліковано: (2009)
Методы удаления дефектов, возникающих при жидкостном травлении поверхности поликристаллического кремния
за авторством: Ivanchykou, A. E., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Ivanchykou, A. E., та інші
Опубліковано: (2008)
Разработка конструкций керамических имплантатов из композита на основе диоксида циркония. 1. Дентальные имплантаты
за авторством: Лашнева, В.В., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Лашнева, В.В., та інші
Опубліковано: (2014)
Разработка конструкций керамических имплантатов из композита на основе диоксида циркония. II. Керамическая головка эндопротеза тазобедренного сустава
за авторством: Лашнева, В.В., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Лашнева, В.В., та інші
Опубліковано: (2014)
Отражение эмоциональной значимости визуальных стимулов в характеристиках вызванных ЭЭГ-потенциалов
за авторством: Коваленко, А.А., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Коваленко, А.А., та інші
Опубліковано: (2010)
Применение метода зрительных и слуховых вызванных потенциалов мозга в детской неврологии
за авторством: Колкер, И.А.
Опубліковано: (2003)
за авторством: Колкер, И.А.
Опубліковано: (2003)
Значение определения иммуноглобулина G в диагностике поражений миокарда, вызванных энтеровирусной инфекцией
за авторством: Прилуцкий, А.С., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Прилуцкий, А.С., та інші
Опубліковано: (2010)
Эффективное сечение рассеяния для неоднородностей спорадического Е-слоя, вызванных атмосферной турбулентностью
за авторством: Кызьюров, Ю.В.
Опубліковано: (2005)
за авторством: Кызьюров, Ю.В.
Опубліковано: (2005)
Патоморфология экспериментальных легочных повреждений, вызванных действием алкоголя и эндотоксина Escherichia coli
за авторством: Бабанин, А.А., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Бабанин, А.А., та інші
Опубліковано: (2013)
The diagnostics of semiconductor structures at development and manufacturing products
за авторством: L. D. Bujko, та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: L. D. Bujko, та інші
Опубліковано: (2002)
Иммунофлуоресцентный анализ нарушений в структуре синаптонемных комплексов, вызванных ксенобиотиками в сперматоцитах мыши
за авторством: Ацаева, М.М., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Ацаева, М.М., та інші
Опубліковано: (2013)
Связь характеристик вызванных ЭЭГ-потенциалов с уровнем нейротизма у взрослых здоровых испытуемых
за авторством: Коваленко, А.А., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Коваленко, А.А., та інші
Опубліковано: (2010)
Эмоциональная значимость стимула и черты личности: отражение в паттерне вызванных ЭЭГ-потенциалов
за авторством: Коваленко, А.А., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Коваленко, А.А., та інші
Опубліковано: (2009)
Transformation of Weakly Magnetic Minerals (Hematite, Goethite) to Magnetic Magnetite in Aqueous Medium of Iron (II) Salts
за авторством: T. S. Antonenko, та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: T. S. Antonenko, та інші
Опубліковано: (2018)
Уменьшение повреждаемости статора мощных турбогенераторов, вызванных вибрацией в торцевой зоне (анализ, гипотезы, эксперимент)
за авторством: Шумилов, Ю.А., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Шумилов, Ю.А., та інші
Опубліковано: (2014)