Оптикоэлектронный дальномер малых дистанций для динамических систем

The paper discusses the application of the phase method for measuring short distances in optoelectronic rangefinding. An analytical dependence of measurement accuracy on the dynamics of the measuring system is determined. Frequency characteristics of the phase difference meter are calculated. Struct...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Date:2003
Main Authors: Vaksman, Yu. F., Santoniy, V. I., Yanko, V. V., Ivanchenko, I. A., Budiyanskaya, L. M.
Format: Article
Language:Ukrainian
Published: PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2003
Subjects:
Online Access:https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2003.2.44
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Technology and design in electronic equipment
Download file: Pdf

Institution

Technology and design in electronic equipment
_version_ 1869472231247052800
author Vaksman, Yu. F.
Santoniy, V. I.
Yanko, V. V.
Ivanchenko, I. A.
Budiyanskaya, L. M.
author_facet Vaksman, Yu. F.
Santoniy, V. I.
Yanko, V. V.
Ivanchenko, I. A.
Budiyanskaya, L. M.
author_institution_txt_mv [ { "author": "Yu. F. Vaksman", "institution": "I. I. Mechnikov Odesa National University, Ukraine" }, { "author": "V. I. Santoniy", "institution": "I. I. Mechnikov Odesa National University, Ukraine" }, { "author": "V. V. Yanko", "institution": "I. I. Mechnikov Odesa National University, Ukraine" }, { "author": "I. A. Ivanchenko", "institution": "I. I. Mechnikov Odesa National University, Ukraine" }, { "author": "L. M. Budiyanskaya", "institution": "I. I. Mechnikov Odesa National University, Ukraine" } ]
author_sort Vaksman, Yu. F.
baseUrl_str https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/oai
collection OJS
datestamp_date 2026-06-30T17:51:02Z
description The paper discusses the application of the phase method for measuring short distances in optoelectronic rangefinding. An analytical dependence of measurement accuracy on the dynamics of the measuring system is determined. Frequency characteristics of the phase difference meter are calculated. Structural diagrams of the measurement method and the phase difference meter are presented, on the basis of which an optoelectronic rangefinder (OER) was developed. Technical and calibration characteristics of the OER are also provided.
first_indexed 2026-07-01T01:00:52Z
format Article
fulltext Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2003, ¹ 2 44 ÎÏÒÎÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÀ íåçàâèñèìûõ èçìåðåíèé. Îáðàòíûé òîê IR âñåõ äèî- äîâ â îáëàñòè êîìíàòíûõ òåìïåðàòóð êîíòðîëèðóåòñÿ òóííåëèðîâàíèåì íîñèòåëåé ïðè íèçêèõ íàïðÿæåíè- ÿõ è ëàâèííûìè ïðîöåññàìè � ïðè áîëüøèõ. Ôîòîòîê Ip îáðàçöîâ òèïà À è  îïðåäåëÿåòñÿ ãå- íåðàöèåé íåðàâíîâåñíûõ íîñèòåëåé â ÎÏÇ, î ÷åì ñâèäåòåëüñòâóþò çàâèñèìîñòè Ip(V), êîòîðûå ïîäîá- íû óðàâíåíèþ (1). Îòìåòèì, ÷òî ýíåðãåòè÷åñêèé íà- êëîí çàâèñèìîñòåé lnIp 0�1/T, êàê è â ñëó÷àå òåìíî- âîãî òîêà, îòâå÷àåò Eg ìàòåðèàëà, â êîòîðîì ëîêà- ëèçîâàí îáúåìíûé çàðÿä. Ýòî õîðîøî ïîäòâåðæäà- åòñÿ ýêñïåðèìåíòàëüíî äëÿ óêàçàííûõ (À è Â) òèïîâ äèîäíûõ ñòðóêòóð. Äëÿ p�n-ãîìîïåðåõîäîâ ôîòî- íîñèòåëè âîçíèêàþò â n-îáëàñòè äèîäà, à çàòåì äèô- ôóçèîííûì ïóòåì äîñòèãàþò îáëàñòè ïðîñòðàíñòâåí- íîãî çàðÿäà è ðàçäåëÿþòñÿ ñèëüíûì ýëåêòðè÷åñêèì ïîëåì.  ýòîì ñëó÷àå çàâèñèìîñòü Ip(V) îïèñûâàåò- ñÿ îòëè÷íûì îò (1) óðàâíåíèåì [5, ñ. 46; 6] Ip≅ Ip 0 exp (eV/kT). (2) Íàéäåííàÿ èç òåìïåðàòóðíîé çàâèñèìîñòè Ip 0 âå- ëè÷èíà ϕ0 íåïëîõî ñîãëàñóåòñÿ ñî çíà÷åíèåì âûñîòû áàðüåðà, îïðåäåëåííîãî èç òåìíîâûõ ÂÀÕ. Äëÿ âñåõ èññëåäóåìûõ äèîäîâ õàðàêòåðíà ëèíåé- íàÿ çàâèñèìîñòü òîêà êîðîòêîãî çàìûêàíèÿ îò óðîâíÿ îñâåùåíèÿ ïðè èçìåíåíèè ïîñëåäíåãî â ïðåäåëàõ ïÿòè ïîðÿäêîâ. Çàâèñèìîñòè Voc(L) îïèñûâàþòñÿ èçâåñò- íûì âûðàæåíèåì, êîòîðîå ïîëó÷åíî äëÿ ôîòîäèîäà ïðè äîìèíèðóþùåé ëèíåéíîé ãåíåðàöèè ôîòîíîñè- òåëåé. Ýòî èëëþñòðèðóåòñÿ äàííûìè ðèñ. 2, êîòîðûå ïðèâåäåíû äëÿ ãåòåðîïåðåõîäà pGaSe�nInSe. Îòìåòèì, ÷òî òåìïåðàòóðíûå èçìåíåíèÿ ïàðàìåò- ðîâ èíòåãðàëüíûõ õàðàêòåðèñòèê òàêæå óêëàäûâàþò- ñÿ â ðàìêè èçâåñòíûõ ìîäåëåé ôîðìèðîâàíèÿ ôîòî- òîêà â äèîäíûõ ñòðóêòóðàõ [5, ñ. 136�141]. Çàêëþ÷åíèå Òàêèì îáðàçîì, ïðèâåäåííûå ðåçóëüòàòû ñâèäå- òåëüñòâóþò î âîçìîæíîñòè ñîçäàíèÿ íà áàçå ñëîèñ- òûõ ìîíîñåëåíèäîâ èíäèÿ è ãàëëèÿ ðÿäà ôîòî÷óâñòâè- òåëüíûõ äèîäîâ pGaSe�nInSe, pInSe�nInSe. Òàêèå ñòðóêòóðû ñîçäàþòñÿ ìåòîäîì ïîñàäêè íà îïòè÷åñ- êèé êîíòàêò ïðè êîìíàòíîé òåìïåðàòóðå, ÷òî íå ïðè- âîäèò ê èçìåíåíèþ ýëåêòðîôèçè÷åñêèõ ïàðàìåòðîâ áàçîâûõ ìàòåðèàëîâ. Êðîìå òîãî, íà ìîíîñåëåíèäå èíäèÿ ìåòîäîì òåðìè÷åñêîãî îòæèãà ñîçäàíû ãåòå- ðîïåðåõîäû "pInSe � ñîáñòâåííûé îêñèä", êîòîðûå îáëàäàþò ôîòî÷óâñòâèòåëüíîñòüþ â âûñîêîýíåðãåòè- ÷åñêîé îáëàñòè ñïåêòðà âïëîòü äî 3,6 ýÂ. Âàðüèðîâà- íèå ïàðàìåòðîâ áàçîâûõ ìàòåðèàëîâ è òèïà âûïðÿì- ëÿþùåé ñòðóêòóðû ïîçâîëÿåò â äîñòàòî÷íî øèðîêèõ ïðåäåëàõ èçìåíÿòü ôîòîýëåêòðè÷åñêèå ïàðàìåòðû è õàðàêòåðèñòèêè îáúåêòîâ èññëåäîâàíèé. ÈÑÏÎËÜÇÎÂÀÍÍÛÅ ÈÑÒÎ×ÍÈÊÈ 1. Êàòåðèí÷óê Â. Í, Êîâàëþê Ì. Ç. Ôîòîïëåîõðîèçì äèîä- íûõ ñòðóêòóð îêñèä-p-InSe // Ïèñüìà â ÆÒÔ.� 1997.� Ò. 23, ¹ 10.� Ñ. 1�3. 2. Shigetomi S., Ohkubo H., Ikari T. Photoluminescence of Cd- doped p-InSe // J. Phys. Chem. Solids.� 1990.� Vol. 51.� N 1.� P. 91�92. 3. À. ñ. 631014 ÑÑÑÐ. Ñïîñîáû ïðèãîòîâëåíèÿ p�n è ãåòå- ðîïåðåõîäîâ / Â. Ë. Áàêóìåíêî, Â. Ô. ×èøêî.� Îïóáë. â Á. È. � 1976, ¹ 18. 4. Êîâàëþê Ç. Ä., Ìàõí³é Â. Ï., ßí÷óê Î. ². Âïëèâ ïàðàìåòð³â êîìïîíåíò ãåòåðîïåðåõîä³â p-GaSe�n-InSe íà ¿õí³ ôîòîåëåêò- ðè÷í³ âëàñòèâîñò³ // ³ñíèê Ëüâ³âñüê. óí-òó (Ñåð³ÿ ô³çè÷íà).� 2001.� Âèï. 34.� C. 218�221. 5. Ôàðåíáðóõ À., Áüþá Ð. Ñîëíå÷íûå ýëåìåíòû: òåîðèÿ è ýêñ- ïåðèìåíò.� Ì.: Ýíåðãîàòîìèçäàò, 1978. 6. Ìàõíèé Â. Ï. Ôèçè÷åñêèå ïðîöåññû â äèîäíûõ ñòðóêòóðàõ íà îñíîâå øèðîêîçîííûõ ñîåäèíåíèé À2Â6 // Äèñ.... äîêò. ôèç.- ìàò. íàóê.� ×åðíîâöû.� 1993. Äàòà ïîñòóïëåíèÿ â ðåäàêöèþ 02.08 2002 ã. � 14.01 2003 ã. Îïïîíåíò ê. ô.-ì. í. È. È. ÈÆÍÈÍ (ÍÈÈ ìàòåðèàëîâ, ã. Ëüâîâ) Ä. ô.-ì. í. Þ. Ô. ÂÀÊÑÌÀÍ, Â. È. ÑÀÍÒÎÍÈÉ, Â. Â. ßÍÊÎ, È. À. ÈÂÀÍ×ÅÍÊÎ, Ë. Ì. ÁÓÄÈßÍÑÊÀß Óêðàèíà, Îäåññêèé íàöèîíàëüíûé óíèâåðñèòåò èì. È. È. Ìå÷íèêîâà E-mail: oguint@paco.net Îïèñàí îïòèêî-ýëåêòðîííûé äàëüíî- ìåð, îñíîâàííûé íà ôàçîâîì ìåòîäå èç- ìåðåíèé è ïðåäíàçíà÷åííûé äëÿ èñïîëü- çîâàíèÿ â ñêîðîñòíûõ èçìåðèòåëüíûõ ñèñòåìàõ. Ñîâðåìåííûå ìåòîäû èçìåðåíèé ñ èñïîëüçîâàíè- åì îïòè÷åñêîãî èçëó÷åíèÿ îáåñïå÷èâàþò èçìåðåíèå äèñòàíöèé îò äîëåé ìåòðà äî äåñÿòêîâ êèëîìåòðîâ [1].  áëèæíåé çîíå, îïðåäåëÿåìîé óñëîâèåì ñîèçìåðè- ìîñòè ãåîìåòðè÷åñêèõ ðàçìåðîâ îáúåêòîâ ñ ðàññòîÿ- íèåì ìåæäó íèìè, ÷òî ñîñòàâëÿåò îò 0 äî äåñÿòêîâ ìåòðîâ, èñïîëüçóþòñÿ ïðîåêöèîííî-ãåîìåòðè÷åñêèå, èíòåðôåðåíöèîííûå è ôàçîâûå ìåòîäû [2]. Êàæäûé èç ýòèõ ìåòîäîâ îáåñïå÷èâàåò ìàêñèìàëüíóþ òî÷íîñòü èçìåðåíèé â ïðåäåëàõ îãðàíè÷åííîãî ó÷àñòêà áëèæ- íåé çîíû. Ìàêñèìàëüíîé òî÷íîñòüþ îáëàäàþò ôàçî- âûå ìåòîäû, îñíîâàííûå íà èçìåðåíèè ôàçîâûõ ñî- îòíîøåíèé ìåæäó èçëó÷åííûì è îòðàæåííûì îïòè- ÷åñêèìè ñèãíàëàìè è îáåñïå÷èâàþùèå èçìåðåíèå äè- ñòàíöèé ñ ïîãðåøíîñòüþ â íåñêîëüêî ìèëëèìåòðîâ [3]. Îáðàçöîì äîñòèãíóòîãî òåõíè÷åñêîãî óðîâíÿ ÿâ- ëÿåòñÿ ïîðòàòèâíûé ïðèáîð òèïà "ëàçåðíàÿ ðóëåòêà", ïðèìåíÿåìûé ïðè âûïîëíåíèè ñòðîèòåëüíûõ ðàáîò è ïðåäíàçíà÷åííûé äëÿ ïðîâåäåíèÿ ëèíåéíûõ èçìåðå- íèé îò 0 äî 20 ì ñ òî÷íîñòüþ ïîðÿäêà 1 ìì [4]. ÎÏÒÈÊÎ-ÝËÅÊÒÐÎÍÍÛÉ ÄÀËÜÍÎÌÅÐ ÌÀËÛÕ ÄÈÑÒÀÍÖÈÉ ÄËß ÄÈÍÀÌÈ×ÅÑÊÈÕ ÑÈÑÒÅÌ Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2003, ¹ 2 45 ÎÏÒÎÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÀ Íàèáîëüøåå ïðèìåíåíèå ôàçîâûå ìåòîäû íàøëè â ãåîäåçè÷åñêèõ è íàâèãàöèîííûõ ñèñòåìàõ äëÿ èç- ìåðåíèé â äàëüíåé çîíå, ãäå âðåìÿ òî÷íûõ èçìåðå- íèé íå îãðàíè÷èâàåòñÿ äèíàìèêîé âçàèìíîãî ðàñ- ïîëîæåíèÿ èçìåðèòåëÿ è èññëåäóåìîãî îáúåêòà. Ïå- ðåíåñåíèå ôàçîâîãî ìåòîäà â ñêîðîñòíûå äàëüíî- ìåðíûå ñèñòåìû ìàëûõ äèñòàíöèé ñôîðìèðîâàëî ïðîáëåìó îáåñïå÷åíèÿ âûñîêîé òî÷íîñòè ïðè çíà- ÷èòåëüíîì îãðàíè÷åíèè âðåìåíè èçìåðåíèé. Òàê, íàïðèìåð, òî÷íîñòü èçìåðåíèé ïîðÿäêà 1% äëÿ äèñ- òàíöèé ìåíåå 1 ì ñîîòâåòñòâóåò íåñêîëüêèì ìèëëè- ìåòðàì. Ïðè ñêîðîñòè äâèæåíèÿ èçìåðèòåëÿ ïîðÿä- êà 50 ì/ñ òàêîé ëèíåéíûé îòðåçîê ïðåîäîëåâàåòñÿ çà 20 ìêñ, ÷òî îïðåäåëÿåò âðåìÿ èçìåðåíèÿ äèñòàí- öèè ñ çàäàííîé ïîãðåøíîñòüþ. Öåëüþ íàñòîÿùåé ðàáîòû ÿâëÿåòñÿ ðàçðàáîòêà îï- òèêî-ýëåêòðîííîãî äàëüíîìåðà (ÎÝÄ) ìàëûõ äèñòàí- öèé, ñïîñîáíîãî îáåñïå÷èòü òî÷íûå èçìåðåíèÿ â äè- íàìè÷åñêèõ óñëîâèÿõ ïðèìåíåíèÿ. Ðàáîòà ÎÝÄ îñíîâàíà íà èçìåðåíèè äèñòàíöèè ôàçîâûì ìåòîäîì, êîòîðûé îòíîñèòñÿ ê ÷èñëó ëîêàöèîííûõ. Ââèäó ìàëîñòè èçìåðÿåìîé äàëüíîñòè ìåòîä áàçèðóåòñÿ íà êîñâåííîì èçìåðåíèè âðåìåíè ïðîëåòà îïòè÷åñêèì èçëó÷åíèåì äâîéíîãî ðàññòîÿ- íèÿ äî îáúåêòà. Ïðåäïî÷òåíèå îòäàíî èñïîëüçîâàíèþ íåïðåðûâíî- ãî ëîêàöèîííîãî ñèãíàëà ñ ãàðìîíè÷åñêîé ìîäóëÿ- öèåé, ïîñêîëüêó áåãóùàÿ ôàçà ϕ ãàðìîíè÷åñêîãî êî- ëåáàíèÿ ÿâëÿåòñÿ ëèíåéíîé ôóíêöèåé âðåìåíè t: ϕ=2πfmt+ϕ0, (1)  ìåòîäàõ ýòîãî êëàññà ïðîèçâîäèòñÿ èçìåðåíèå òàêîãî ïàðàìåòðà ñèãíàëà êàê ñäâèã ôàçû. Ïðè ýòîì èçìåðÿåìàÿ äèñòàíöèÿ S ñâÿçàíà ñî ñäâèãîì ôàçû ∆ϕ îñíîâíîé ôîðìóëîé ôàçîâîãî ìåòîäà èçìåðåíèÿ äè- ñòàíöèè S=[∆ϕ/(2π)][c/(2f)], (2) ãäå c � ñêîðîñòü ñâåòà â âîçäóõå.  ôàçîâûõ ìåòîäàõ èçìåðåíèÿ ìàëûõ äèñòàíöèé èñõîäÿò èç ïðèíöèïà îáåñïå÷åíèÿ îäíîçíà÷íîñòè, â ñîîòâåòñòâèè ñ êîòîðûì äëèíà ïîëóâîëíû ãàðìîíè- ÷åñêèõ êîëåáàíèé îïðåäåëÿåòñÿ ìàêñèìàëüíûì çíà- ÷åíèåì èçìåðÿåìîé äèñòàíöèè. Ïðè ýòîì óñëîâèè ôàçîâûé öèêë îäíîçíà÷íîãî èçìåðåíèÿ ϕîäí ñîîòâåò- ñòâóåò 2π, à çíà÷åíèå ÷àñòîòû ìîäóëÿöèè îïðåäåëÿåò- ñÿ âûðàæåíèåì fm=c/2S. (3) Ïðè îïðåäåëåííîé ÷àñòîòå ìîäóëÿöèè àíàëèòè÷åñ- êàÿ âçàèìîñâÿçü ìåæäó òî÷íîñòüþ èçìåðåíèÿ äèñ- òàíöèè ∆S è òî÷íîñòüþ îòñ÷åòà ôàçîâîãî ñäâèãà ∆ϕ èìååò âèä [2, c. 29] ∆ϕ=ϕîäí(∆S/S). (4) Ýòî îçíà÷àåò, ÷òî ïîãðåøíîñòü îöåíêè äàëüíîñòè öåëèêîì îïðåäåëÿåòñÿ îøèáêîé èçìåðåíèÿ ôàçû íà ñàìîé âûñîêîé ÷àñòîòå ìîäóëÿöèè.  óñëîâèÿõ ïåðåìåùåíèÿ äàëüíîìåðà âäîëü èç- ìåðÿåìîé äèñòàíöèè ñî ñêîðîñòüþ v âîçíèêàåò çà- âèñèìîñòü òî÷íîñòè èçìåðåíèé ∆S îò åå âåëè÷èíû, èìåþùàÿ âèä ∆S=vtè, (5) ãäå tè � âðåìÿ ïðîõîæäåíèÿ äèñòàíöèè ∆S è åå èçìåðå- íèÿ. Òîãäà òî÷íîñòü ôàçîâûõ èçìåðåíèé, ó÷èòûâàÿ (5), ∆ϕ=ϕîäí(vtè/S). Î÷åâèäíî, ÷òî ÷åì âûøå ñêîðîñòü äâèæåíèÿ, òåì íèæå òî÷íîñòü èçìåðåíèÿ äèñòàíöèè ∆S è òåì ñ áîëü- øåé ïîãðåøíîñòüþ èçìåðÿåòñÿ ñäâèã ôàçû ∆ϕ. Òà- êèì îáðàçîì, òî÷íîñòü èçìåðåíèÿ äèñòàíöèè îïðåäå- ëÿåò äèàïàçîí âîçìîæíûõ ñêîðîñòåé ïåðåìåùåíèÿ ÎÝÄ, â ïðåäåëàõ êîòîðîãî äèíàìèêà äâèæåíèÿ íå âíî- ñèò ïîãðåøíîñòè â èçìåðèòåëüíûé ïðîöåññ. Îïðåäå- ëåíèå äèàïàçîíà ñêîðîñòíîãî ïðèìåíåíèÿ äàëüíîìå- ðà ïðîèçâîäèòñÿ â ñîîòâåòñòâèè ñ óðàâíåíèåì (5) êàê v=∆S/tè. (6) Ïåðèîä íèçêîé ïðîìåæóòî÷íîé ÷àñòîòû, íà êîòî- ðîé ïðîèçâîäèòñÿ èçìåðåíèå ñäâèãà ôàçû, îïðåäåëÿ- åò äëèòåëüíîñòü îäíîêðàòíîãî èçìåðåíèÿ t0. Åñëè ïðî- èçâîäÿòñÿ ìíîãîêðàòíûå èçìåðåíèÿ ÷èñëîì nì, òî èõ ñóììàðíàÿ äëèòåëüíîñòü ñîñòàâëÿåò âðåìÿ èçìåðåíèé: tè=t0nì. (7) Ïðè óñëîâèè çàïîëíåíèÿ èçìåðèòåëüíîãî èíòåð- âàëà t0 ñ÷åòíûìè èìïóëüñàìè ñîîòíîøåíèå ìåæäó èõ ÷èñëîì nç è ÷àñòîòîé çàïîëíåíèÿ fç èìååò âèä nç=t0 fç. (8) Ñ ó÷åòîì (7) è (8) ñîîòíîøåíèå (6) ïðåîáðàçóåòñÿ ê âèäó v=∆S fç/nìnç. (9) Ïîëó÷åííîå óðàâíåíèå (9) ïîçâîëÿåò îïðåäåëÿòü ðàçðåøàþùóþ ñïîñîáíîñòü äàëüíîìåðà ïî ñêîðîñ- òè, à òàêæå ðåøàòü îáðàòíóþ çàäà÷ó � ðàñ÷åòà ÷àñ- òîòíûõ õàðàêòåðèñòèê èçìåðèòåëÿ ðàçíîñòè ôàç èñõî- äÿ èç çàäàííîãî óðîâíÿ òî÷íîñòè èçìåðåíèé è ñêîðî- ñòíîãî ðåæèìà. Íèæå ïðèâåäåí ðÿä îöåíîê, ïîçâîëÿþùèõ ïî- ëó÷èòü òî÷íîñòü èçìåðåíèé ÎÝÄ ïîðÿäêà 1% ïðè ïåðåìåùåíèè ñî ñêîðîñòÿìè äî 20 ì/ñ â äèàïà- çîíå äèñòàíöèé 0,3�10,0 ì. Ìèíèìàëüíàÿ èçìåðÿå- ìàÿ äèñòàíöèÿ 0,3 ì îïðåäåëÿåòñÿ îãðàíè÷åíèÿìè îï- òè÷åñêîé ñèñòåìû ÎÝÄ, êîòîðûå âûðàæàþòñÿ â ôîð- ìèðîâàíèè ìåðòâîé çîíû äëÿ ïðèåìà îòðàæåííîãî èç- ëó÷åíèÿ.  ñîîòâåòñòâèè ñ ïðèíöèïîì îäíîçíà÷íîñòè äëè- íà âîëíû ìîäóëÿöèè îïòè÷åñêîãî çîíäèðóþùåãî Â×- ñèãíàëà ðàâíà óäâîåííîìó Smax, ò. å. 20 ì. Ýòîé äèñ- òàíöèè, ñîãëàñíî (3), ñîîòâåòñòâóåò ÷àñòîòà ìîäóëÿ- öèè fm=15 ìÃö. Ïðè óñëîâèè ðåãèñòðàöèè êàê ïîëî- æèòåëüíîãî, òàê è îòðèöàòåëüíîãî ïåðåõîäà ñèíóñîè- äàëüíîãî ñèãíàëà ÷åðåç íóëåâîé óðîâåíü, ôàçîâûé öèêë èçìåðèòåëüíîãî ñèãíàëà ìîæíî óìåíüøèòü âäâîå äî äèàïàçîíà ϕö=0�180° è, ñîîòâåòñòâåííî, ÷àñòîòó çîíäèðóþùåãî ñèãíàëà � äî 7,5 ìÃö. Äëÿ ìèíèìàëüíîé èçìåðÿåìîé äèñòàíöèè Smin= =0,3 ì äèàïàçîí ïåðåìåùåíèÿ ÎÝÄ, ñîîòâåòñòâóþ- ùèé äàííîé òî÷íîñòè èçìåðåíèÿ, ∆Smin=3 ìì. Âðå- ìÿ ïðîõîæäåíèÿ ∆Smin c ìàêñèìàëüíîé ñêîðîñòüþ vmax= 20 ì/ñ ñîñòàâëÿåò 150 ìêñ, ÷òî îïðåäåëÿåò ìè- íèìàëüíîå âðåìÿ èçìåðåíèé tmin â äèàïàçîíå èçìå- ðÿåìûõ äèñòàíöèé. Ýòî îçíà÷àåò, ÷òî çà àïïàðàòíîå âðåìÿ èçìåðåíèÿ òåêóùåé äèñòàíöèè âåëè÷èíà âçà- ãäå fm � ϕ0 � ÷àñòîòà ìîäóëÿöèè ñèãíàëà; íà÷àëüíàÿ ôàçà. 46 ÎÏÒÎÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÀ Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2003, ¹ 2 èìíîãî ïåðåìåùåíèÿ äàëüíîìåðà è îáúåêòà èçìåðå- íèÿ íå âûçîâåò ñäâèãà ôàçû çîíäèðóþùåãî Â×-ñèã- íàëà, ïðåâûøàþùåãî 1% òî÷íîñòè èçìåðåíèé. Ïðè çíà÷åíèÿõ âåëè÷èí tmin=150 ìêñ è ϕö=0�180° ìèíèìàëüíàÿ ïðîìåæóòî÷íàÿ ÷àñòîòà fïð=1/2tmin ñî- ñòàâëÿåò 3,3(3) êÃö ïðè óñëîâèè, ÷òî èçìåðåíèå òå- êóùåãî çíà÷åíèÿ äèñòàíöèè ïðîèñõîäèò â òå÷åíèå êàæ- äîé ïîëîâèíû ïåðèîäà ïðîìåæóòî÷íîé ÷àñòîòû. Òàêèì îáðàçîì, ïðè ìàêñèìàëüíîé ñêîðîñòè îò- íîñèòåëüíîãî ïåðåìåùåíèÿ vmax=20 ì/ñ âåñü äèàïà- çîí èçìåðÿåìîé äèñòàíöèè ïðåîäîëåâàåòñÿ çà âðåìÿ T=0,5 ñ, â òå÷åíèå êîòîðîãî ïðîèçâîäÿòñÿ ìíîãî- êðàòíûå èçìåðåíèÿ òåêóùåãî ðàññòîÿíèÿ ÷èñëîì nì= =T/0,5Tïð=3,3(3)·103, ãäå Tïð � ïåðèîä ïðîìåæóòî÷- íîé ÷àñòîòû. Îòñþäà ñëåäóåò, ÷òî àáñîëþòíàÿ äèíà- ìè÷åñêàÿ òî÷íîñòü èçìåðåíèÿ òåêóùåãî ðàññòîÿíèÿ âî âñåì äèàïàçîíå äèñòàíöèé áóäåò íå õóæå 3 ìì. Äëÿ ïðîâåäåíèÿ èçìåðåíèé â äèàïàçîíå äèñòàíöèé 0,3�10,0 ì ñ äèñêðåòíîñòüþ 3 ìì íåîáõîäèì èçìåðè- òåëü ðàçíîñòè ôàç îïîðíîãî è îòðàæåííîãî ñèãíàëîâ, ïîçâîëÿþùèé ðåãèñòðèðîâàòü èçìåíåíèå ôàçû ∆ϕmin=ϕö∆Smin/S=0,054°. Èçâåñòíî [1, 5], ÷òî ó àíàëîãîâûõ èçìåðèòåëåé ðàç- íîñòè ôàç (ôàçîâûõ äåòåêòîðîâ) ìèíèìàëüíûé èçìå- ðÿåìûé ñäâèã ôàç ∆ϕmin ñîñòàâëÿåò 0,5°. Ó öèôðî- âûõ ôàçîâûõ äåòåêòîðîâ ∆ϕmin=0,04°. Ñðàâíåíèå ðàñ- ÷åòíûõ çíà÷åíèé ∆ϕmin ñ õàðàêòåðíûìè äëÿ ðàçëè÷- íûõ ôàçîâûõ äåòåêòîðîâ ïîêàçûâàåò, ÷òî èçìåðåíèÿ â çàäàííîì ðåæèìå îãðàíè÷èâàþòñÿ òîëüêî ðàçðåøà- þùåé ñïîñîáíîñòüþ ôàçîðåãèñòðèðóþùèõ óñò- ðîéñòâ.  öèôðîâûõ ôàçîìåòðè÷åñêèõ óñòðîéñòâàõ íèç- êàÿ ÷àñòîòà fïð òî÷íî îïðåäåëÿåò ÷àñòîòó çàïîëíåíèÿ fç èçìåðèòåëüíîãî âðåìåííîãî èíòåðâàëà èìïóëüñà- ìè ÷åðåç îòíîøåíèå fç:fïð=10n [5, c. 151]. Äëÿ äîñòè- æåíèÿ òî÷íîñòè äî 0,01 ôàçîâîãî öèêëà, ò. å. 1%, ïðè- íèìàþò n=2. Ñ ó÷åòîì ýòèõ îöåíîê fç=0,6(6) ìÃö. Ïðè ýòîì êîëè÷åñòâî èìïóëüñîâ çàïîëíåíèÿ nç â ïðåäå- ëàõ âðåìåííîãî èçìåðèòåëüíîãî èíòåðâàëà ìåíÿåòñÿ â äèàïàçîíå èçìåðÿåìûõ äàëüíîñòåé 0,3�10,0 ì îò 1·104 äî 3,3·105, ñîîòâåòñòâåííî, à äëÿ ìèíèìàëüíî- ãî âðåìåíè èçìåðåíèé nç=100. Íà ðèñ. 1 ïðåäñòàâëåíà ñòðóêòóðíàÿ ñõåìà ïðÿ- ìîîòñ÷åòíîãî ôàçîâîãî ìåòîäà èçìåðåíèÿ äàëüíîñòè íà íèçêîé ïðîìåæóòî÷íîé ÷àñòîòå, ïðèìå- íåííîãî â ðàçðàáîòàííîì ÎÝÄ. Ñõåìà âêëþ÷àåò äâà êàíàëà � èçìåðèòåëüíûé (áëîêè 2, 3, 5, 6, 8, 10, 12) è îïîðíûé (áëîêè 9, 11, 13), ðàçíîñòü ôàç âûõîäíûõ ñèãíàëîâ êîòîðûõ ïðÿìî ïðîïîðöèîíàëüíà âåëè÷èíå èçìåðÿåìîé äèñòàíöèè. Â×-ñèãíàë èç îïîðíîãî ãåíåðàòîðà 1 ÷åðåç óñèëè- òåëü ìîùíîñòè 2 ïîñòóïàåò íà èçëó÷àòåëü 3. Ìîäó- ëèðîâàííûé Â×-ñèãíàëîì ñâåòîâîé ïîòîê èçëó÷àòå- ëÿ, îòðàçèâøèñü îò ïîâåðõíîñòè îáúåêòà 4, ïîñòóïà- åò íà ôîòîïðèåìíèê 5. Ýëåêòðè÷åñêèé ñèãíàë ôîòî- îòâåòà ñ âûõîäà ôîòîïðèåìíèêà, óñèëåííûé óñèëè- òåëåì 6, ïîñòóïàåò íà âõîä ïåðåìíîæèòåëÿ 8.  òî æå âðåìÿ íà âõîä ïåðåìíîæèòåëÿ 9 Â×-ñèãíàë ïî- ñòóïàåò íåïîñðåäñòâåííî èç îïîðíîãî ãåíåðàòîðà 1. Òàêèì îáðàçîì, ñèãíàë èç îïîðíîãî ãåíåðàòîðà ïî- ñòóïàåò íà âõîä ïåðåìíîæèòåëÿ 8 ÷åðåç âðåìåííóþ ëèíèþ çàäåðæêè, îáðàçîâàííóþ ýëåìåíòàìè îòêðû- òîãî îïòè÷åñêîãî êàíàëà äàëüíîìåðà, à íà âõîä ïå- ðåìíîæèòåëÿ 9 � íàïðÿìóþ. Èçìåðèòåëüíûé ñèãíàë ñ âûõîäà ïåðåìíîæèòåëÿ 8 è îïîðíûé ñèãíàë ñ âûõîäà ïåðåìíîæèòåëÿ 9, ïåðå- ìíîæåííûå ñ ñèãíàëîì ãåòåðîäèíà 7, ïîñòóïàþò íà âõîäû ôèëüòðîâ íèçêîé ÷àñòîòû 10 è 11, ñîîòâåòñòâåí- íî. Ñ âûõîäîâ ôèëüòðîâ Í×-ñîñòàâëÿþùèå îïîðíîãî è èçìåðèòåëüíîãî ñèãíàëîâ ÷åðåç óñèëèòåëè-îãðàíè- ÷èòåëè 12 è 13 ïîñòóïàþò íà âõîä èçìåðèòåëÿ ðàçíî- ñòè ôàç 14, ãäå ïðîèçâîäèòñÿ àíàëèç âðåìåííûõ ñäâè- ãîâ îïîðíîãî è îòðàæåííîãî ñèãíàëîâ è âû÷èñëåíèå òåêóùåãî èçìåðÿåìîãî ðàññòîÿíèÿ. Íà âûõîäå èçìå- ðèòåëÿ ðàçíîñòè ôàç ôîðìèðóåòñÿ íàïðÿæåíèå, âåëè- ÷èíà êîòîðîãî ïðÿìî ïðîïîðöèîíàëüíà ðàçíîñòè ôàç è, ñîîòâåòñòâåííî, èçìåðÿåìîé äèñòàíöèè. Àëãîðèòì ôóíêöèîíèðîâàíèÿ ñòðóêòóðíîé ñõåìû ñëåäóþùèé.  èçëó÷àòåëüíîì áëîêå ïðè ïîìîùè ëàçåðíîãî äè- îäà, ñîîòâåòñòâóþùèõ ãåíåðèðóþùèõ è óñèëèòåëü- íûõ ýëåìåíòîâ ôîðìèðóåòñÿ îïòè÷åñêèé Â×-ñèãíàë íîðìèðîâàííîé ìîùíîñòè. Óñèëèòåëüíàÿ ÷àñòü èçëó- ÷àòåëüíîãî áëîêà ñîäåðæèò âûñîêîîìíûé áóôåðíûé óñèëèòåëü íà âûõîäå ãåíåðàòîðà 1 è óñèëèòåëü ìîù- íîñòè 2 òèïà "ïðåîáðàçîâàòåëü íàïðÿæåíèå�òîê", íå- ïîñðåäñòâåííî íàãðóæåííûé íà èçëó÷àòåëü 3. Ïîäáîðîì ýëåìåíòîâ ñõåìû äîñòèãàåòñÿ ìàêñè- ìàëüíûé óðîâåíü ëèíåéíîñòè â ðàáîòå èçëó÷àòåëÿ, îáåñïå÷èâàþùèé ìèíèìàëüíûå ãàðìîíè÷åñêèå èñêà- æåíèÿ ìîäóëÿöèîííîãî ñèãíàëà, ÷òî ïîçâîëÿåò ñóùå- ñòâåííî ïîâûñèòü òî÷íîñòü èçìåðåíèÿ äèñòàíöèè ∆S. Îòðàæåííûé îïòè÷åñêèé ñèãíàë ðåãèñòðèðóåòñÿ è ïðåîáðàçóåòñÿ ôîòîïðèåìíèêîì 5, êîòîðûé íàãðóæà- åòñÿ íà ðåçîíàíñíûé êîíòóð, íàñòðîåííûé íà ìîäóëÿ- öèîííóþ ÷àñòîòó. Âûáîð èñòî÷íèêà è ïðèåìíèêà èçëó÷åíèÿ, ñîñòàâ- ëÿþùèõ îòêðûòóþ îïòîïàðó, ïðîâåäåí ñ ó÷åòîì ñî- ãëàñîâàíèÿ ïî îñíîâíûì õàðàêòåðèñòèêàì (òàáë. 1), ïîñêîëüêó ïðèåìî-ïåðåäàþùèå ñâîéñòâà ýòèõ ýëåìåí- òîâ îïðåäåëÿþò òåõíè÷åñêèå õàðàêòåðèñòèêè ÎÝÄ. Èçó÷åíèå ñîâðåìåííîãî ðûíêà îïòîýëåêòðîíèêè ïîçâîëèëî îïðåäåëèòü îïòèêî-ýëåêòðîííûå ýëåìåíòû, ïðèãîäíûå äëÿ ñîçäàíèÿ ÎÝÄ ñ ñîîòâåòñòâóþùèìè ìåòðîëîãè÷åñêèìè õàðàêòåðèñòèêàìè. Íåîáõîäèìî îòìåòèòü, ÷òî ïîñëåäíåå ïîêîëåíèå GaAs-ñâåòîäèî- äîâ îòëè÷àåòñÿ îò ïðåäøåñòâóþùèõ áîëåå âûñîêîé êâàíòîâîé ýôôåêòèâíîñòüþ (Ôå � 700 ìÂò); ïîñòî- ÿííàÿ âðåìåíè ð³n-Si-ôîòîäèîäîâ ñîêðàùåíà äî íå- ñêîëüêèõ íàíîñåêóíä, ÷òî ýêâèâàëåíòíî øèðèíå ïî- ëîñû ïðîïóñêàíèÿ ïîðÿäêà ãèãàãåðö. Ðèñ. 1. Ñòðóêòóðíàÿ ñõåìà ïðÿìîîòñ÷åòíîãî ôàçîâîãî ìåòîäà èçìåðåíèÿ äàëüíîñòè 7 144 5 6 8 10 3 2 1 9 11 12 13 Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2003, ¹ 2 47 ÎÏÒÎÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÀ Îïòèìèçàöèÿ ñêîðîñòíûõ ïàðàìåòðîâ ÎÝÄ äîñòèã- íóòà ñîãëàñîâàíèåì ïðèåìî-èçëó÷àòåëüíûõ ýëåìåí- òîâ ïî ÷àñòîòå ìîäóëÿöèè, ïîñòîÿííîé âðåìåíè è ïî- ëîñå ïðîïóñêàíèÿ ÷àñòîò. Çàâèñèìîñòü òî÷íîñòè èçìåðåíèÿ äèñòàíöèè ∆S îò îòíîñèòåëüíîé íåñòàáèëüíîñòè ÷àñòîòû ìîäóëÿöèè ∆fm àíàëîãè÷íà çàâèñèìîñòè (4) è èìååò âèä ∆S/S=∆fm/fm. (10) Èç (10) ñ ó÷åòîì (5) ñëåäóåò, ÷òî ∆fm=fm(vtè/S). (11) Î÷åâèäíî, ÷òî ïðè îïðåäåëåííîé ÷àñòîòå ìîäóëÿ- öèè òî÷íîñòü èçìåðåíèé óõóäøàåòñÿ ñ óâåëè÷åíèåì ñêîðîñòè ïåðåìåùåíèÿ ÎÝÄ. Òàêèì îáðàçîì, äëÿ ïîâûøåíèÿ ∆S ÷àñòîòó ìîäóëÿöèè fm ñëåäóåò óâåëè- ÷èâàòü. Åå âåëè÷èíó, ñ ó÷åòîì çàäàííîãî óðîâíÿ òî÷- íîñòè èçìåðåíèé è ñêîðîñòíîãî ðåæèìà, ìîæíî ðàñ- ñ÷èòàòü â ñîîòâåòñòâèè ñ óðàâíåíèåì (11). Ïî ïðîâåäåííûì îöåíêàì, äîñòèæåíèå çàäàííîãî óðîâíÿ òî÷íîñòè âîçìîæíî ïðè óñëîâèè ðàáîòû â ìå- ãàãåðöåâîì ÷àñòîòíîì äèàïàçîíå. Ïðè ýòîì âðåìÿ ïå- ðåêëþ÷åíèÿ èçëó÷àòåëÿ è áûñòðîäåéñòâèå ôîòîïðè- åìíèêà äîëæíû áûòü íå áîëåå 10 íñ. Îïîðíûé ñèãíàë ôîðìèðóåòñÿ ãåòåðîäèíîì 7 â ïå- ðåìíîæèòåëå 8. Ãåòåðîäèííîå ïðåîáðàçîâàíèå ÷àñòî- òû èçìåðèòåëüíîãî è îïîðíîãî ñèãíàëîâ ïðîèçâîäèò- ñÿ ñ èñïîëüçîâàíèåì îáùåãî êâàðöåâîãî ðåçîíàòîðà, îïðåäåëÿþùåãî ÷àñòîòó ãåòåðîäèííîãî ñèãíàëà êàæ- äîãî êàíàëà. Âûñîêàÿ ñòåïåíü ñòàáèëüíîñòè Â×-ñèã- íàëîâ îïîðíîãî ãåíåðàòîðà 1 è ãåòåðîäèíà 7 äîñòèãà- åòñÿ ïðè ïîìîùè êâàðöåâûõ ðåçîíàòîðîâ, ÷àñòîòû êî- òîðûõ îòëè÷àþòñÿ íà íåîáõîäèìóþ âåëè÷èíó ïðîìå- æóòî÷íîé ÷àñòîòû. Âûäåëåíèå ïðîìåæóòî÷íîé íèçêîé ÷àñòîòû ïðî- èçâîäèòñÿ â ðåçóëüòàòå Â×-ôèëüòðàöèè îáîèõ ñèãíà- ëîâ ñ ïîìîùüþ ôèëüòðîâ íèçêîé ÷àñòîòû 10 è 11. Òàêèì îáðàçîì, ñîçäàþòñÿ óñëîâèÿ äëÿ èçìåðåíèÿ ðàçíîñòè ôàç íà íèçêîé ïðîìåæóòî÷íîé ÷àñòîòå, îáåñ- ïå÷èâàþùèå âûñîêóþ òî÷íîñòü èçìåðåíèé. Àëãîðèòì ôóíêöèîíèðîâàíèÿ öèôðîâîãî èçìåðè- òåëÿ ðàçíîñòè ôàç (ðèñ. 2), îñíîâàííîãî íà èçìåðå- íèè âðåìåííîãî ñäâèãà ñèãíàëîâ ïðîìåæóòî÷íîé ÷à- ñòîòû îñíîâíîãî è îïîðíîãî êàíàëîâ, ïðîïîðöèîíàëü- íîãî ôàçîâîìó ñäâèãó ìåæäó ñèíóñîèäàìè, ñîñòîèò â ñëåäóþùåì. Ñèãíàëû ñ âûõîäîâ óñèëèòåëåé-îãðàíè÷èòåëåé îïîðíîãî è èçìåðèòåëüíîãî êàíàëîâ ÎÝÄ ïîñòóïàþò íà âõîäû ôîðìèðîâàòåëÿ èçìåðèòåëüíîãî èíòåðâàëà 1, íà âûõîäå êîòîðîãî ôîðìèðóåòñÿ èìïóëüñ ïîëî- æèòåëüíîé ïîëÿðíîñòè, ïî äëèòåëüíîñòè ðàâíûé âðå- ìåíè ñäâèãà èçìåðèòåëüíîãî è îïîðíîãî ñèãíàëîâ. ×àñòîòà ïîâòîðåíèÿ èìïóëüñîâ ðàâíà óäâîåííîé ïðî- ìåæóòî÷íîé ÷àñòîòå. Òàêèì îáðàçîì, èçìåðåíèå ðàçíîñòè ôàç îïîð- íîãî è èçìåðèòåëüíîãî ñèãíàëîâ ñâîäèòñÿ ê òî÷íî- ìó èçìåðåíèþ âðåìåííîãî èíòåðâàëà. Èçìåðèòåëü- íûé èìïóëüñ ñ âûõîäà ôîðìèðîâàòåëÿ 1 ïîñòóïàåò íà ñõåìó ñóììèðîâàíèÿ 2, ãäå ïðîèñõîäèò åãî çà- ïîëíåíèå èìïóëüñàìè, ïîñòóïàþùèìè èç êâàðöåâî- ãî ãåíåðàòîðà 3. Ñ âûõîäà ñõåìû ñóììèðîâàíèÿ ïà÷êà èìïóëüñîâ çàïîëíÿþùåé ÷àñòîòû, ïî äëèòåëüíîñòè ðàâíàÿ èçìå- ðèòåëüíîìó èíòåðâàëó, ïîñòóïàåò íà ñ÷åò÷èê 4. Ñ âû- õîäà ñ÷åò÷èêà èçìåðÿåìàÿ âåëè÷èíà â ÷èñëåííîì äâî- è÷íîì âèäå ÷åðåç áóôåðíûé ðåãèñòð ïàìÿòè 5 ïîñòó- ïàåò íà âõîä ÖÀÏ 7. Ïðîöåññîì ïåðåíîñà ÷èñëåííîãî çíà÷åíèÿ èçìåðÿåìîé âåëè÷èíû èç ñ÷åò÷èêà 4 ïðè ïîìîùè ðåãèñòðà ïàìÿòè â ÖÀÏ óïðàâëÿåò ôîðìèðî- âàòåëü ñèãíàëà ïåðåçàïèñè äàííûõ 6 ñ ïîñëåäóþùèì îáíóëåíèåì ñ÷åò÷èêà. Äèàïàçîí âåëè÷èíû âûõîäíî- ãî íàïðÿæåíèÿ ÖÀÏ, íåîáõîäèìûé äëÿ ñîãëàñîâàíèÿ ñ ðåãèñòðèðóþùèìè óñòðîéñòâàìè, óñòàíàâëèâàåòñÿ ïðè ïîìîùè ðåãóëèðóåìîãî èñòî÷íèêà îïîðíîãî íà- ïðÿæåíèÿ 8.  ïðîöåññå ðàçðàáîòêè ïðèíöèïèàëüíîé ñõåìû ÎÝÄ èñïîëüçîâàëèñü ñèñòåìû ñêâîçíîãî ïðî- åêòèðîâàíèÿ ðàäèîýëåêòðîííûõ ñèñòåì Design Lab 8.0 è ORCad 9. Äëÿ àâòîìàòèçàöèè àíàëèçà âçàèìîäåéñòâèÿ êîì- ïîíåíòîâ ÎÝÄ ðàçðàáîòàíà ìîäåëü îïòè÷åñêîãî êà- íàëà ìåòîäàìè ïàêåòà êîìïüþòåðíîãî ìîäåëèðîâàíèÿ.  îñíîâó ìîäåëè ïîëîæåíî èñïîëüçîâàíèå ýëåêòðè- ÷åñêîé ëèíèè çàäåðæêè áåç ïîòåðü, ÷åì îáåñïå÷åíû âðåìåííûå ñîîòíîøåíèÿ, ýêâèâàëåíòíûå ðàñïðîñòðà- íåíèþ îïòè÷åñêîãî èçëó÷åíèÿ, õàðàêòåðèñòèêè êîòî- ðîãî ïîñòàâëåíû â ñîîòâåòñòâèå ýëåêòðè÷åñêèì ñèã- íàëàì. Ìîäåëèðîâàíèå ïîçâîëèëî ïðîâåñòè îöåíêó õàðàêòåðèñòèê îïòèêî-ýëåêòðîííûõ êîìïîíåíòîâ è Òèï è ìàðêà Õàðàêòåðèñòèêè GaAs-ñâåòîäèîä SFH 495 (Siemens) ð³n-Si-ôîòîäèîä BPV-10F (Temic) Ñïåêòðàëüíî- ýíåðãåòè÷åñêèå Ìàêñèìóì èçëó÷åíèÿ ëmax — 940 íì Ñïåêòðàëüíàÿ ïîëîñà ÷àñòîò Äë — 4 íì Ïîëíûé èçëó÷àåìûé ïîòîê Ôå — 700 ìÂò Ìàêñèìóì ÷óâñòâèòåëüíîñòè ëmax — 950 íì Òîêîâàÿ ÷óâñòâèòåëüíîñòü SA — 60 ìêÀ (ïëîòíîñòü ïîòîêà 1 ìÂò/ñì2) Îïòèêî- ãåîìåòðè÷åñêèå Øèðèíà äèàãðàììû íàïðàâëåííîñòè — ± 30° Óãîë ïîëÿ ÷óâñòâèòåëüíîñòè — ± 17,5° Ïëîùàäü ôîòî÷óâñòâèòåëüíîé ïîâåðõíîñòè Sôï — 0,78 ìì2 ×àñòîòíî- âðåìåííûå Âðåìÿ ïåðåêëþ÷åíèÿ tïåð — 7 íñ Áûñòðîäåéñòâèå tf — 2,5 íñ Òàáëèöà 1 Îñíîâíûå õàðàêòåðèñòèêè îïòèêî-ýëåêòðîííûõ ýëåìåíòîâ 6 83 7521 4 Ðèñ. 2. Áëîê-ñõåìà öèôðîâîãî èçìåðèòåëÿ ðàçíîñòè ôàç 48 ÎÏÒÎÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÀ Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2003, ¹ 2 îïòè÷åñêèõ ñèñòåì, ñâîéñòâ ñðåäû è ïîìåõîâûõ âîç- äåéñòâèé, èññëåäîâàíèå ñõåìíîãî ðåøåíèÿ ÎÝÄ è åãî ïîâåäåíèÿ â äèíàìè÷åñêîì ðåæèìå. Òàêîé ïîäõîä îòêðûë âîçìîæíîñòü îáíàðóæåíèÿ îòêëîíåíèé â ðà- áîòå óñòðîéñòâà è óñòðàíåíèÿ èõ ïðè÷èí. Ñèíòåç îïòè÷åñêîãî èçëó÷àòåëÿ ïðîâåäåí â íàïðàâ- ëåíèè äîñòèæåíèÿ âûñîêîé ìåðû ëèíåéíîñòè (îòñóò- ñòâèÿ çíà÷èòåëüíûõ ãàðìîíè÷åñêèõ èñêàæåíèé) â ôîð- ìå ìîäóëÿöèè ñèãíàëà. Ïîäáîðîì ýëåìåíòîâ ñõåìû ïîëó÷åí ìàêñèìàëüíûé ðàçìàõ ïåðåìåííîé ñîñòàâëÿ- þùåé òîêà ÷åðåç èçëó÷àòåëü ïðè óñëîâèè ðàáîòû íà ëèíåéíîì ó÷àñòêå âîëüò-àìïåðíîé õàðàêòåðèñòèêè. Ìîùíîñòü èçëó÷àòåëÿ ðåãëàìåíòèðîâàíà îòðàæà- òåëüíûìè ñâîéñòâàìè ïîâåðõíîñòè îáúåêòà. Ýòî îï- ðåäåëèëî ãåíåðàöèþ óðîâíÿ ìîùíîñòè, äîñòàòî÷íî- ãî äëÿ ðåãèñòðàöèè ñèãíàëà, îòðàæåííîãî îò ïîâåðõ- íîñòè ñ ìèíèìàëüíîé îòðàæàþùåé ñïîñîáíîñòüþ, ïî âñåìó äèàïàçîíó äàëüíîñòåé, ò. å. ñèãíàëà, ïðå- âûøàþùåãî ïîðîãîâóþ ÷óâñòâèòåëüíîñòü ôîòîïðè- åìíèêà. Çàùèòà ôîòîïðèåìíèêà îò íèçêî÷àñòîòíûõ è ïî- ñòîÿííûõ ïîìåõîâûõ çàñâåòîê îáåñïå÷åíà âêëþ÷åíèåì åãî íåïîñðåäñòâåííî âî âõîäíîé êîíòóð óñèëèòåëÿ, çàøóíòèðîâàííûé èíäóêòèâíîñòüþ. Íóëåâîé ôàçîâûé ñäâèã ñèãíàëà â óñèëèòåëå äîñòèãíóò ïóòåì íàñòðîé- êè âõîäíîãî è âûõîäíîãî êîíòóðîâ íà ÷àñòîòó ìîäó- ëÿöèè. Îïðåäåëåííûå ñëîæíîñòè ïî ýëåêòðîìàãíèòíîé ñîâìåñòèìîñòè èçëó÷àòåëüíîãî è ïðèåìíîãî áëîêîâ âîçíèêàþò âñëåäñòâèå îòíîøåíèÿ èõ ñèãíàëîâ, ïðå- âûøàþùåãî 100 äÁ, íåâîçìîæíîñòè âðåìåííîãî ðàç- äåëåíèÿ ñèãíàëîâ è ðàçìåùåíèÿ áëîêîâ â îäíîé êîí- ñòðóêöèè. Íàèáîëåå êðèòè÷íîé ÿâëÿåòñÿ íàâîäêà ýëåêòðè- ÷åñêîãî ñèãíàëà èçëó÷àòåëÿ, ñðàâíèìîãî ïî óðîâ- íþ ñ ñèãíàëîì ôîòîïðèåìíèêà, íà âõîä óñèëèòåëÿ îïòè÷åñêîãî ñèãíàëà. Ýòî ïðèâîäèò ê èçìåíåíèþ ôàçû ñèãíàëà è óâåëè÷åíèþ ïîãðåøíîñòè èçìåðèòå- ëÿ. Ïðèìåíåíèåì âî âõîäíûõ öåïÿõ ñîîòâåòñòâóþ- ùèõ ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ýëåìåíòîâ óäàëîñü ïîíè- çèòü øóìîâîé ïîðîã óñèëèòåëÿ, ÷òî îïðåäåëÿåò èí- òåãðàëüíóþ ÷óâñòâèòåëüíîñòü ÎÝÄ, íå îãðàíè÷åí- íóþ øóìàìè. Óñòàíîâëåíî, ÷òî ïàðàçèòíûå ñâÿçè ýëåìåíòîâ êîí- ñòðóêöèè ÿâëÿþòñÿ êîìáèíàöèåé èíäóêòèâíûõ è åì- êîñòíûõ ñâÿçåé, èç êîòîðûõ íàèáîëåå çíà÷èòåëüíû èí- äóêòèâíûå. Óìåíüøåíèå ïàðàçèòíûõ èíäóêòèâíûõ ñâÿçåé îáåñïå÷èâàëîñü çà ñ÷åò ìíîãîóðîâíåâîãî ýê- ðàíèðîâàíèÿ êîíñòðóêöèîííûõ ýëåìåíòîâ è æåñòêîé ýëåêòðîìàãíèòíîé ðàçâÿçêè ýëåêòðè÷åñêèõ öåïåé ïè- òàíèÿ è ñèãíàëîâ óïðàâëåíèÿ. Íà îñíîâå ïðÿìîîòñ÷åòíîãî ôàçîâîãî ìåòîäà, ðåàëèçîâàííîãî ïî ñõåìå, ïðåäñòàâëåííîé íà ðèñ. 1, ñîçäàí ÎÝÄ. Îïðåäåëåíèå äèñòàíöèè â ðàçðàáîòàííîì ÎÝÄ ïðîâîäèëîñü ñ èñïîëüçîâàíèåì ãðàäóèðîâî÷íîé õà- ðàêòåðèñòèêè. Ýêñïåðèìåíòàëüíî èçìåðåííàÿ ãðàäó- èðîâî÷íàÿ õàðàêòåðèñòèêà ÎÝÄ, èìåþùàÿ âèä ∆ϕ=f(S) (ðèñ. 3), ïðåäñòàâëÿåò ñîáîé çàâèñèìîñòü âûõîäíîãî èíôîðìàöèîííîãî ñèãíàëà ∆ϕ (ôàçîâî- ãî ñäâèãà) îò êîíòðîëèðóåìîãî âõîäíîãî çíà÷åíèÿ äèñòàíöèè S. Àëãîðèòì èçìåðåíèÿ ∆ϕ âêëþ÷àåò èç- ìåðåíèå íå òîëüêî àáñîëþòíîé âåëè÷èíû âðåìåííî- ãî èíòåðâàëà t, ñîîòâåòñòâóþùåãî ñäâèãó ôàçû, íî è ïðîäîëæèòåëüíîñòè èçìåðèòåëüíîãî ïåðèîäà T. Ïîëíûé èçìåðèòåëüíûé ïåðèîä âêëþ÷àåò êàê ïîëî- æèòåëüíûé, òàê è îòðèöàòåëüíûé ïåðåïàäû ñèíóñîè- äàëüíîãî ñèãíàëà â ýëåêòðîííîé ñõåìå ÎÝÄ. Ïðè ýòîì ïîêàçàòåëåì ðàññòîÿíèÿ ÿâëÿåòñÿ íå àáñîëþò- íàÿ âåëè÷èíà t, à åå îòíîøåíèå ê äëèíå èçìåðèòåëü- íîãî ïåðèîäà T. Ýòî ïîçâîëèëî ïîâûñèòü äîïóñòè- ìóþ íåñòàáèëüíîñòü ÷àñòîòû êâàðöåâûõ ãåíåðàòî- ðîâ äî óðîâíÿ 10�9, ÷òî èñêëþ÷èëî íåîáõîäèìîñòü èõ òåðìîñòàòèðîâàíèÿ. Òåõíè÷åñêèå õàðàêòåðèñòè- êè ÎÝÄ ïðèâåäåíû â òàáë. 2. Ôàêòîð Õàðàêòåðèñòèêà Èñòî÷íèê îïòè÷åñêîãî èçëó÷åíèÿ GaAs ëàçåðíûé äèîä Âèä ìîäóëÿöèè Àìïëèòóäíàÿ â ëàçåðíîì äèîäå ×àñòîòà ìîäóëÿöèè (îñíîâíàÿ) 7,5 ìÃö Ôîòîïðèåìíèê pin-Si-ôîòîäèîä Äëèíà èçìåðÿåìûõ ðàññòîÿíèé Smin Smax 0,3 ì 10,0 ì Îòíîñèòåëüíàÿ òî÷íîñòü èçìåðåíèé ±1,0 % Ìàêñèìàëüíàÿ ñêîðîñòü ïåðåìåùå- íèÿ, ïðè êîòîðîé äîñòèãàåòñÿ äàííàÿ òî÷íîñòü èçìåðåíèé 20 ì/ñ Âðåìÿ èçìåðåíèé îäíèì ïðèåìîì 0,15 ìñ Ìàññà 230 ã Ãàáàðèòíûå ðàçìåðû Ø=60 ìì, h=100 ìì Ïîòðåáëÿåìàÿ ìîùíîñòü 1,5 Âò Äèàïàçîí ðàáî÷èõ òåìïåðàòóð –20...+85°Ñ Òàáëèöà 2 Òåõíè÷åñêèå õàðàêòåðèñòèêè îïòèêî-ýëåêòðîííîãî äàëüíîìåðà Ðèñ. 3. Ãðàäóèðîâî÷íàÿ õàðàêòåðèñòèêà ÎÝÄ 0 0,3 2 4 6 8 S, ì ∆ϕ, ° 120 80 40 33 Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2003, ¹ 2 49 ÎÏÒÎÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÀ Àíàëèç ãðàäóèðîâî÷íîé õàðàêòåðèñòèêè ïîêàçàë, ÷òî îòêëîíåíèÿ îò ëèíåéíîñòè â ñòîðîíó ìåíüøèõ çíà÷åíèé ïîÿâëÿþòñÿ âáëèçè ãðàíèö äèàïàçîíà èç- ìåðÿåìûõ äàëüíîñòåé. Òî÷íîñòü èçìåðåíèé èëè äèñ- ïåðñèÿ óõóäøàåòñÿ íà ó÷àñòêàõ íåëèíåéíîñòè 0,3...0,5 ì è áîëåå 9,5 ì, íî íå ïðåâûøàåò 1%. Ïðè÷èíàìè âîçíèêíîâåíèÿ íåëèíåéíûõ ó÷àñòêîâ íà ãðàäóèðîâî÷íîé õàðàêòåðèñòèêå ÿâëÿþòñÿ êàê âíå- øíèå óñëîâèÿ â âèäå ïåðåìåííîãî êîýôôèöèåíòà îò- ðàæåíèÿ ïîâåðõíîñòè îáúåêòà, òàê è âíóòðåííèå íà- âîäêè îò èçëó÷àòåëüíîãî áëîêà. Óìåíüøåíèå çíà÷å- íèÿ äèñïåðñèè äîñòèãàëîñü óâåëè÷åíèåì ìîùíîñòè ëîêàöèîííîãî îïòè÷åñêîãî ñèãíàëà è ñîâåðøåíñòâî- âàíèåì ýêðàíèðîâàíèÿ óñèëèòåëÿ ìîùíîñòè â áëîêå èçëó÷àòåëÿ. *** Òàêèì îáðàçîì, èñïîëüçîâàíèå ïðÿìîîòñ÷åòíîãî ôàçîâîãî ìåòîäà äëÿ èçìåðåíèÿ ìàëûõ äèñòàíöèé, ðåà- ëèçîâàííîãî íà ñîâðåìåííîé ýëåìåíòíîé áàçå ñ ïðè- ìåíåíèåì îðèãèíàëüíûõ ñõåìíî-êîíñòðóêòîðñêèõ ìå- òîäîâ, ïîçâîëèëî ñîçäàòü îïòèêî-ýëåêòðîííûé äàëü- íîìåð ñ óëó÷øåííûìè òåõíè÷åñêèìè è ìåòðîëîãè- ÷åñêèìè õàðàêòåðèñòèêàìè äëÿ ðàáîòû â äèíàìè÷åñ- êèõ óñëîâèÿõ. ÈÑÏÎËÜÇÎÂÀÍÍÛÅ ÈÑÒÎ×ÍÈÊÈ 1. Êîñòåöêàÿ ß. Ì. Ñâåòî- è ðàäèîäàëüíîìåðû.� Ëüâîâ: Âèùà øêîëà, 1986. 2. Ìóñüÿêîâ Ì. Ï., Ìèöåíêî È. Ä. Îïòèêî-ýëåêòðîííûå ñèñ- òåìû áëèæíåé äàëüíîìåòðèè.� Ì.: Ðàäèî è ñâÿçü, 1991. 3. Ïðîòîïîïîâ Â. Â., Óñòèíîâ Í. Ä. Èíôðàêðàñíûå ëàçåðíûå ëîêàöèîííûå ñèñòåìû.� Ì.: Âîåíèçäàò, 1987. 4. Çàÿâêà 2734645 À1 Ôðàíöèè. G 01 S. Ïîðòàòèâíûé ïðèáîð ñ ëàçåðíûì äèîäîì äëÿ ïðîâåäåíèÿ òî÷íûõ èçìåðåíèé ïðè âûïîë- íåíèè ñòðîèòåëüíûõ ðàáîò / Borre Sylvain. � 22.05.95. 5. Ëîáà÷åâ Ì. Â. Ðàäèîýëåêòðîííàÿ ãåîäåçèÿ.� Ì.: Íåäðà, 1980. Äàòà ïîñòóïëåíèÿ â ðåäàêöèþ 03.02 2003 ã. Îïïîíåíò ê. ò. í. Â. Â. ÐÞÕÒÈÍ (ÖÊÁ "Ðèòì", ã. ×åðíîâöû) Ê. ô.-ì. í. Ê. Â. ÊÎËÅÆÓÊ, ä. ô.-ì. í. Â. Í. ÊÎÌÀÙÅÍÊÎ, Ã. È. ØÅÐÅÌÅÒÎÂÀ, ê. ò. í. Þ. Í. ÁÎÁÐÅÍÊÎ Óêðàèíà, ã. Êèåâ, Èíñòèòóò ôèçèêè ïîëóïðîâîäíèêîâ èì. Â. Å. Ëàøêàðåâà E-mail: komas@isp.kiev.ua Èññëåäîâàíû òîíêîïëåíî÷íûå ãåòåðî- ñòðóêòóðû òèïà p-Cu1,8S/n-À2Â6/n-À2Â6, ïåðñïåêòèâíûå äëÿ êîíñòðóèðîâàíèÿ íîâûõ òèïîâ ýôôåêòèâíûõ ñåíñîðîâ èç- ëó÷åíèÿ. Ñòðåìèòåëüíîå ðàçâèòèå ñîâðåìåííîé òåõíèêè òðå- áóåò ðàñøèðåíèÿ êðóãà ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ìàòåðè- àëîâ, ïåðñïåêòèâíûõ äëÿ ðàçðàáîòêè íîâûõ òèïîâ ïðè- áîðîâ, â ÷àñòíîñòè, ñåíñîðîâ êîðîòêîâîëíîâîãî èç- ëó÷åíèÿ. Ê ÷èñëó òàêèõ ìàòåðèàëîâ îòíîñÿòñÿ è øè- ðîêîçîííûå ñîåäèíåíèÿ À2Â6. Îäíàêî ïîëó÷åíèå ãî- ìîãåííûõ p�n-ïåðåõîäîâ íà îñíîâå ýòèõ ìàòåðèà- ëîâ îñòàåòñÿ ïðîáëåìàòè÷íûì. Âûõîä èç ñèòóàöèè ìîæåò áûòü ñâÿçàí ñ ñîçäàíèåì ãåòåðîñòðóêòóð (ÃÑ). Èçâåñòíî [1], ÷òî ìîíîêðèñòàëëè÷åñêèå ÃÑ â ñèñòå- ìå ðåøåòî÷íî-ñîãëàñîâàííûõ ñîåäèíåíèé À3Â5 íàøëè øèðîêîå ïðèìåíåíèå ïðè êîíñòðóèðîâàíèè ïðèíöè- ïèàëüíî íîâûõ ïðèáîðîâ ëàçåðíîé òåõíèêè, ìèêðî- è îïòîýëåêòðîíèêè. Ðàíåå íàìè áûëî ïîêàçàíî, ÷òî ê ïîëèêðèñòàëëè- ÷åñêèì ÃÑ íà îñíîâå ïîëóïðîâîäíèêîâ À2Â6 (ñðåäè êîòîðûõ íåò ìàòåðèàëîâ ñ áëèçêèìè çíà÷åíèÿìè ïî- ñòîÿííûõ ðåøåòîê) òàêæå ìîæíî ïðèìåíÿòü íåêîòî- ðûå ãåòåðîñòðóêòóðíûå êîíöåïöèè äëÿ ïîëó÷åíèÿ ýô- ôåêòèâíûõ ôîòîïðåîáðàçîâàòåëåé [2]. Öåëüþ íàñòîÿ- ùåé ðàáîòû ÿâëÿåòñÿ ïîèñê ïóòåé ñîçäàíèÿ íîâûõ òè- ïîâ ñåíñîðîâ èçëó÷åíèÿ íà îñíîâå ÃÑ-ñîåäèíåíèé À2Â6 ñ èñïîëüçîâàíèåì ñïåöèôè÷åñêèõ îñîáåííîñ- òåé, êîòîðûå ïðèñóùè ãåòåðîïåðåõîäàì. Îáðàçöû äëÿ èññëåäîâàíèé ïðåäñòàâëÿëè ñîáîé ÷åòûðå òèïà ãåòåðîñòðóêòóð: p-Cu1,8S/n-CdSe/n-CdS, p-Cu1,8S/n-CdTe/n-CdS, p-Cu1,8S/n-CdS/n-CdSå, p-Cu1,8S/n-ZnS/n-CdSe. Îíè áûëè ïîëó÷åíû îñàæäåíèåì ñëîåâ ñîåäèíå- íèé À2B6 ìåòîäîì ãîðÿ÷èõ ñòåíîê ñ íåñêîëüêèìè àâ- òîíîìíûìè èñòî÷íèêàìè. Ïðè èõ èçãîòîâëåíèè ñî- çäàâàëèñü óñëîâèÿ äëÿ ýïèòàêñèàëüíîãî ðîñòà ñëîåâ íà îðèåíòèðóþùèõ ïîäëîæêàõ [2, 3].  êà÷åñòâå ïîñ- ëåäíèõ èñïîëüçîâàëèñü òåêñòóðèðîâàííûå íèçêîîì- íûå ïîëèêðèñòàëëè÷åñêèå ïëåíêè CdS èëè CdSe òîë- ùèíîé d~3 ìêì, îñàæäåííûå íà ìåòàëëèçèðîâàííûå ñèòàëëîâûå ïëàñòèíû. Íà ýòèõ ïîäëîæêàõ â åäèíîì òåõíîëîãè÷åñêîì öèêëå, áåç íàðóøåíèÿ âàêóóìà, âûðàùèâàëèñü ôî- òîàêòèâíûå ñëîè ÃÑ. Òîëùèíà òàêèõ âûñîêîîìíûõ, áëèçêèõ ê ñòåõèîìåòðè÷åñêîìó ñîñòàâó, ïëåíîê À2Â6 ñîîòâåòñòâîâàëà ýôôåêòèâíîé äëèíå ïîãëîùåíèÿ âîç- áóæäàþùåãî èçëó÷åíèÿ (d~1/k~1 ìêì, ãäå k � êî- ýôôèöèåíò ïîãëîùåíèÿ). Äëÿ ñîãëàñîâàíèÿ ðåøå- òîê ìåæäó îðèåíòèðóþùåé ïîäëîæêîé è ôîòî÷óâ- ñòâèòåëüíîé ñîñòàâëÿþùåé âûðàùèâàëèñü íàíîìåò- ðîâûå (d~30�50 íì) ïðîìåæóòî÷íûå ñëîè ìíîãî- êîìïîíåíòíûõ òâåðäûõ ðàñòâîðîâ. Èçãîòîâëåíèå ÃÑ çàâåðøàëîñü òåðìè÷åñêèì îñàæäåíèåì â âàêóóìå íà ðàíåå âûðàùåííûé ôîòîàêòèâíûé ñëîé áàðüåðî- îáðàçóþùåé ïëåíêè âûðîæäåííîãî õàëüêîãåíèäà ìåäè (Cu1,8S) ð-òèïà ïðîâîäèìîñòè (d~30 íì). ÌÍÎÃÎÑËÎÉÍÛÅ ÃÅÒÅÐÎÑÒÐÓÊÒÓÐÛ ÍÀ ÎÑÍÎÂÅ ÏÎËÈÊÐÈÑÒÀËËÈ×ÅÑÊÈÕ ÏËÅÍÎÊ ÑÎÅÄÈÍÅÍÈÉ À2Â6
id oai:tkea.com.ua:article-1291
institution Technology and design in electronic equipment
keywords_txt_mv keywords
language Ukrainian
last_indexed 2026-07-01T01:00:52Z
publishDate 2003
publisher PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
record_format ojs
resource_txt_mv wwwtkeacomua/d4/b3a35d2a26b372d35464588f302835d4.pdf
spelling oai:tkea.com.ua:article-12912026-06-30T17:51:02Z Optoelectronic short‑distance rangefinder for dynamic systems Оптикоэлектронный дальномер малых дистанций для динамических систем Vaksman, Yu. F. Santoniy, V. I. Yanko, V. V. Ivanchenko, I. A. Budiyanskaya, L. M. optoelectronic rangefinder short distances phase method phase difference meter dynamic systems оптикоэлектронный дальномер малые дистанции фазовый метод измеритель разности фаз динамические системы The paper discusses the application of the phase method for measuring short distances in optoelectronic rangefinding. An analytical dependence of measurement accuracy on the dynamics of the measuring system is determined. Frequency characteristics of the phase difference meter are calculated. Structural diagrams of the measurement method and the phase difference meter are presented, on the basis of which an optoelectronic rangefinder (OER) was developed. Technical and calibration characteristics of the OER are also provided. Рассмотрено применение в оптикоэлектронной дальнометрии фазового метода измерения малых дистанций. Определена аналитическая зависимость точности измерений от динамики измерительной системы. Рассчитаны частотные характеристики измерителя разности фаз. Представлены структурные схемы метода измерений и измерителя разности фаз, на основе которых создан оптико-электронный дальномер (ОЭД). Представлены технические и градуировочная характеристики ОЭД. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2003-04-30 Article Article Peer-reviewed Article application/pdf https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2003.2.44 Technology and design in electronic equipment; No. 2 (2003): Tekhnologiya i konstruirovanie v elektronnoi apparature; 44-49 Технологія та конструювання в електронній апаратурі; № 2 (2003): Технология и конструирование в электронной аппаратуре; 44-49 3083-6549 3083-6530 uk https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2003.2.44/1191 Copyright (c) 2003 Yu. F. Vaksman, V. I. Santoniy, V. V. Yanko, I. A. Ivanchenko, L. M. Budiyanskaya http://creativecommons.org/licenses/by/4.0/
spellingShingle оптикоэлектронный дальномер
малые дистанции
фазовый метод
измеритель разности фаз
динамические системы
Vaksman, Yu. F.
Santoniy, V. I.
Yanko, V. V.
Ivanchenko, I. A.
Budiyanskaya, L. M.
Оптикоэлектронный дальномер малых дистанций для динамических систем
title Оптикоэлектронный дальномер малых дистанций для динамических систем
title_alt Optoelectronic short‑distance rangefinder for dynamic systems
title_full Оптикоэлектронный дальномер малых дистанций для динамических систем
title_fullStr Оптикоэлектронный дальномер малых дистанций для динамических систем
title_full_unstemmed Оптикоэлектронный дальномер малых дистанций для динамических систем
title_short Оптикоэлектронный дальномер малых дистанций для динамических систем
title_sort оптикоэлектронный дальномер малых дистанций для динамических систем
topic оптикоэлектронный дальномер
малые дистанции
фазовый метод
измеритель разности фаз
динамические системы
topic_facet optoelectronic rangefinder
short distances
phase method
phase difference meter
dynamic systems
оптикоэлектронный дальномер
малые дистанции
фазовый метод
измеритель разности фаз
динамические системы
url https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2003.2.44
work_keys_str_mv AT vaksmanyuf optoelectronicshortdistancerangefinderfordynamicsystems
AT santoniyvi optoelectronicshortdistancerangefinderfordynamicsystems
AT yankovv optoelectronicshortdistancerangefinderfordynamicsystems
AT ivanchenkoia optoelectronicshortdistancerangefinderfordynamicsystems
AT budiyanskayalm optoelectronicshortdistancerangefinderfordynamicsystems
AT vaksmanyuf optikoélektronnyjdalʹnomermalyhdistancijdlâdinamičeskihsistem
AT santoniyvi optikoélektronnyjdalʹnomermalyhdistancijdlâdinamičeskihsistem
AT yankovv optikoélektronnyjdalʹnomermalyhdistancijdlâdinamičeskihsistem
AT ivanchenkoia optikoélektronnyjdalʹnomermalyhdistancijdlâdinamičeskihsistem
AT budiyanskayalm optikoélektronnyjdalʹnomermalyhdistancijdlâdinamičeskihsistem