Учет механических напряжений в комбинированных диэлектриках для конденсаторов СБИС

• Datum: 2003
• Автори та афіліації: V. A. Pilipenko — «Integral» Scientific Production Association, Minsk, Belarus; V. N. Ponomar — «Integral» Scientific Production Association, Minsk, Belarus; T. V. Petlitskaya — «Integral» Scientific Production Association, Minsk, Belarus
• Ключові слова: keywords
• Hauptverfasser: Pilipenko, V. A., Ponomar, V. N., Petlitskaya, T. V.
• Format: Artikel
• Sprache: Ukrainisch
• Veröffentlicht: PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2003
• Schlagworte: комбинированный диэлектрик; конденсаторы СБИС; пентаоксид тантала
• Online Zugang: https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2003.1.19
• Назва журналу: Technology and design in electronic equipment

A variant of a combined capacitor dielectric based on tantalum pentoxide for VLSI capacitors is proposed. To find the optimal combination of layers in which the Si—SiO₂—Ta₂O₅ system does not undergo elastic mechanical deformation, a stress model was constructed. Calculations showed that when the thi...