Buchumschlag

Учет механических напряжений в комбинированных диэлектриках для конденсаторов СБИС

A variant of a combined capacitor dielectric based on tantalum pentoxide for VLSI capacitors is proposed. To find the optimal combination of layers in which the Si—SiO₂—Ta₂O₅ system does not undergo elastic mechanical deformation, a stress model was constructed. Calculations showed that when the thi...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Datum:	2003
Hauptverfasser:	Pilipenko, V. A., Ponomar, V. N., Petlitskaya, T. V.
Format:	Artikel
Sprache:	Ukrainisch
Veröffentlicht:	PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2003
Schlagworte:	комбинированный диэлектрик конденсаторы СБИС пентаоксид тантала
Online Zugang:	https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2003.1.19
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Technology and design in electronic equipment
Завантажити файл:

Institution

Technology and design in electronic equipment

Ähnliche Einträge

Учет механических напряжений в комбинированных диэлектриках для конденсаторов СБИС
von: Пилипенко, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2003)

Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD
von: Glushko, A. A., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Оценка технологического процесса изготовления СБИС по стабильности элементов ее структуры
von: Vanteev, A. M., et al.
Veröffentlicht: (2003)

СБИС для микроэлектронного координатно-чувствительного детектора приборов элементного анализа материалов
von: Sidorenko, V. P., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Схемотехника СБИС для микроэлектронного координатно-чувствительного детектора для элементного анализа материалов
von: Sidorenko, V. P., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Прогнозирование параметров стеклокерамики со стеклокристаллической матрицей для разных соотношений компонентов и режимов спекания
von: Dmitriev, M. V., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Прогнозирование диэлектрических свойств некристаллизующейся моноармированной полиматричной стеклокерамики
von: Dmitriev, M. V., et al.
Veröffentlicht: (2008)

ПРОЦЕССЫ ПЕРЕРАСПРЕДЕЛЕНИЯ ЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ЭНЕРГИИ МЕЖДУ ПАРАЛЛЕЛЬНО СОЕДИНЕННЫМИ КОНДЕ
von: Супруновская, Н.И., et al.
Veröffentlicht: (2015)

ПРОЦЕССЫ ПЕРЕРАСПРЕДЕЛЕНИЯ ЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ЭНЕРГИИ МЕЖДУ ПАРАЛЛЕЛЬНО СОЕДИНЕННЫМИ КОНДЕ
von: Супруновская, Н.И., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Зависимость диэлектрической проницаемости кристаллизующейся фазы стеклокерамики от времени спекания
von: Dmitriyev, M. V., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Оценка параметров компонентов моноармированой стеклокерамики со стеклокристаллической матрицей
von: Dmitriev, M. V., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Способ определения доли кристаллов в стеклокерамическом диэлектрике
von: Dmitriev, M. V., et al.
Veröffentlicht: (2009)

ОЦЕНКА РЕСУРСА ВЫСОКОВОЛЬТНЫХ КОНДЕНСАТОРОВ ПО РЕЗУЛЬТАТАМ ИСПЫТАНИЙ НА ПЕРЕМЕННОМ НАПРЯЖЕНИИ
von: Бутко, С.М., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Оценка ресурса высоковольтных конденсаторов по результатам испытаний на переменном напряжении
von: Бутко, С.М., et al.
Veröffentlicht: (2012)

ОЦЕНКА РЕСУРСА ВЫСОКОВОЛЬТНЫХ КОНДЕНСАТОРОВ ПО РЕЗУЛЬТАТАМ ИСПЫТАНИЙ НА ПЕРЕМЕННОМ НАПРЯЖЕНИИ
von: Бутко, С.М., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Получение тонких пленок Si3N4 при пониженном давлении на пластинах диаметром до 200 мм
von: Nalivaiko, O. Yu., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Неразрушающий экспресс контроль механических напряжений
von: Безотосный, В.Ф., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Особенности ферромагнитного упорядочения в разбавленных магнитных диэлектриках
von: Кикоин, К.
Veröffentlicht: (2009)

Особенности структуры и физико-механических свойств гибридных и комбинированных покрытий
von: Погребняк, А.Д., et al.
Veröffentlicht: (2003)

Специализированные сети на основе твердотельных датчиков
von: Kostenko, V. L., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Влияние сдвиговых напряжений на процессы структурообразования при комбинированных пластических деформациях
von: Пашинская, Е.Г.
Veröffentlicht: (2004)

ЗАВИСИМОСТЬ ВОЗМУЩЕНИЙ ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО ПОЛЯ В ДИЭЛЕКТРИКЕ ОТ ДИСПЕРСНОСТИ БЛИЗКО РАСПОЛОЖЕННЫХ ВОДНЫХ МИКРОВКЛЮЧЕНИЙ
von: Щерба , М.А., et al.
Veröffentlicht: (2014)

ЗАВИСИМОСТЬ ВОЗМУЩЕНИЙ ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО ПОЛЯ В ДИЭЛЕКТРИКЕ ОТ ДИСПЕРСНОСТИ БЛИЗКО РАСПОЛОЖЕННЫХ ВОДНЫХ МИКРОВКЛЮЧЕНИЙ
von: Щерба , М.А., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Учет остаточных напряжений при поверхностном упрочнении титановых сплавов
von: Павленко, В.Н.
Veröffentlicht: (2011)

Исследование механических напряжений в приводном валу вакуумного выключателя средних напряжений
von: Байда, Е.И., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Оценки емкостей плоских конденсаторов
von: Зорий, Н.В.
Veröffentlicht: (1991)

О емкостных характеристиках конденсаторов
von: Зорий, Н.В.
Veröffentlicht: (1996)

Экситоны в слоистых диэлектриках ZnI₂ и CdI₂:Zn
von: Юнакова, О.Н., et al.
Veröffentlicht: (2002)

Влияние кремниевой подложки на пробивное напряжение разветвленного n++–p+-перехода
von: Sidorenko, V. P., et al.
Veröffentlicht: (2003)

Расчет упругих механических напряжений в неоднородных полупроводниковых структурах
von: Касимов, Ф.Д., et al.
Veröffentlicht: (2002)

Оценка механических напряжений в металле контактно-резистивным методом
von: Кислицын, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Оценка снизу суммы емкостей конденсаторов
von: Митюк, И.П.
Veröffentlicht: (1990)

Исследование механических напряжений в эпитаксиальных датчиках Холла различной конфигурации
von: Касимов, Ф.Д., et al.
Veröffentlicht: (2001)

Экстремальные длины и гриновы емкости конденсаторов
von: Зорий, Н.В.
Veröffentlicht: (1990)

Модули семейств поверхностей и гриновы емкости конденсаторов
von: Зорий, Н.В.
Veröffentlicht: (1990)

Влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния
von: Kulinich, O. A., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Оценка технологического процесса изготовления СБИС по стабильности элементов ее структуры
von: Вантеев, А.М., et al.
Veröffentlicht: (2003)

Минимизация площади заказных СБИС на этапе топологического проектирования цифровых схем
von: Черемисинова, Л.Д., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD
von: Глушко, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2007)

СБИС для микроэлектронного координатно-чувствительного детектора приборов элементного анализа материалов
von: Сидоренко, В.П., et al.
Veröffentlicht: (2009)