Учет механических напряжений в комбинированных диэлектриках для конденсаторов СБИС
A variant of a combined capacitor dielectric based on tantalum pentoxide for VLSI capacitors is proposed. To find the optimal combination of layers in which the Si—SiO₂—Ta₂O₅ system does not undergo elastic mechanical deformation, a stress model was constructed. Calculations showed that when the thi...
Збережено в:
| Дата: | 2003 |
|---|---|
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Українська |
| Опубліковано: |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
2003
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2003.1.19 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Technology and design in electronic equipment |
| Завантажити файл: |  |
Репозитарії
Technology and design in electronic equipmentСхожі ресурси
Учет механических напряжений в комбинированных диэлектриках для конденсаторов СБИС
за авторством: Пилипенко, В.А., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Пилипенко, В.А., та інші
Опубліковано: (2003)
Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD
за авторством: Glushko, A. A., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Glushko, A. A., та інші
Опубліковано: (2007)
Оценка технологического процесса изготовления СБИС по стабильности элементов ее структуры
за авторством: Vanteev, A. M., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Vanteev, A. M., та інші
Опубліковано: (2003)
СБИС для микроэлектронного координатно-чувствительного детектора приборов элементного анализа материалов
за авторством: Sidorenko, V. P., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Sidorenko, V. P., та інші
Опубліковано: (2009)
Схемотехника СБИС для микроэлектронного координатно-чувствительного детектора для элементного анализа материалов
за авторством: Sidorenko, V. P., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Sidorenko, V. P., та інші
Опубліковано: (2012)
Прогнозирование параметров стеклокерамики со стеклокристаллической матрицей для разных соотношений компонентов и режимов спекания
за авторством: Dmitriev, M. V., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Dmitriev, M. V., та інші
Опубліковано: (2009)
Прогнозирование диэлектрических свойств некристаллизующейся моноармированной полиматричной стеклокерамики
за авторством: Dmitriev, M. V., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Dmitriev, M. V., та інші
Опубліковано: (2008)
ПРОЦЕССЫ ПЕРЕРАСПРЕДЕЛЕНИЯ ЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ЭНЕРГИИ МЕЖДУ ПАРАЛЛЕЛЬНО СОЕДИНЕННЫМИ КОНДЕ
за авторством: Супруновская, Н.И., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Супруновская, Н.И., та інші
Опубліковано: (2015)
ПРОЦЕССЫ ПЕРЕРАСПРЕДЕЛЕНИЯ ЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ЭНЕРГИИ МЕЖДУ ПАРАЛЛЕЛЬНО СОЕДИНЕННЫМИ КОНДЕ
за авторством: Супруновская, Н.И., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Супруновская, Н.И., та інші
Опубліковано: (2015)
Зависимость диэлектрической проницаемости кристаллизующейся фазы стеклокерамики от времени спекания
за авторством: Dmitriyev, M. V., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Dmitriyev, M. V., та інші
Опубліковано: (2010)
Оценка параметров компонентов моноармированой стеклокерамики со стеклокристаллической матрицей
за авторством: Dmitriev, M. V., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Dmitriev, M. V., та інші
Опубліковано: (2009)
Способ определения доли кристаллов в стеклокерамическом диэлектрике
за авторством: Dmitriev, M. V., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Dmitriev, M. V., та інші
Опубліковано: (2009)
ОЦЕНКА РЕСУРСА ВЫСОКОВОЛЬТНЫХ КОНДЕНСАТОРОВ ПО РЕЗУЛЬТАТАМ ИСПЫТАНИЙ НА ПЕРЕМЕННОМ НАПРЯЖЕНИИ
за авторством: Бутко, С.М., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Бутко, С.М., та інші
Опубліковано: (2012)
Оценка ресурса высоковольтных конденсаторов по результатам испытаний на переменном напряжении
за авторством: Бутко, С.М., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Бутко, С.М., та інші
Опубліковано: (2012)
ОЦЕНКА РЕСУРСА ВЫСОКОВОЛЬТНЫХ КОНДЕНСАТОРОВ ПО РЕЗУЛЬТАТАМ ИСПЫТАНИЙ НА ПЕРЕМЕННОМ НАПРЯЖЕНИИ
за авторством: Бутко, С.М., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Бутко, С.М., та інші
Опубліковано: (2012)
Получение тонких пленок Si3N4 при пониженном давлении на пластинах диаметром до 200 мм
за авторством: Nalivaiko, O. Yu., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Nalivaiko, O. Yu., та інші
Опубліковано: (2012)
Неразрушающий экспресс контроль механических напряжений
за авторством: Безотосный, В.Ф., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Безотосный, В.Ф., та інші
Опубліковано: (2013)
Особенности ферромагнитного упорядочения в разбавленных магнитных диэлектриках
за авторством: Кикоин, К.
Опубліковано: (2009)
за авторством: Кикоин, К.
Опубліковано: (2009)
Особенности структуры и физико-механических свойств гибридных и комбинированных покрытий
за авторством: Погребняк, А.Д., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Погребняк, А.Д., та інші
Опубліковано: (2003)
Специализированные сети на основе твердотельных датчиков
за авторством: Kostenko, V. L., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Kostenko, V. L., та інші
Опубліковано: (2008)
Влияние сдвиговых напряжений на процессы структурообразования при комбинированных пластических деформациях
за авторством: Пашинская, Е.Г.
Опубліковано: (2004)
за авторством: Пашинская, Е.Г.
Опубліковано: (2004)
ЗАВИСИМОСТЬ ВОЗМУЩЕНИЙ ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО ПОЛЯ В ДИЭЛЕКТРИКЕ ОТ ДИСПЕРСНОСТИ БЛИЗКО РАСПОЛОЖЕННЫХ ВОДНЫХ МИКРОВКЛЮЧЕНИЙ
за авторством: Щерба , М.А., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Щерба , М.А., та інші
Опубліковано: (2014)
ЗАВИСИМОСТЬ ВОЗМУЩЕНИЙ ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО ПОЛЯ В ДИЭЛЕКТРИКЕ ОТ ДИСПЕРСНОСТИ БЛИЗКО РАСПОЛОЖЕННЫХ ВОДНЫХ МИКРОВКЛЮЧЕНИЙ
за авторством: Щерба , М.А., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Щерба , М.А., та інші
Опубліковано: (2014)
Учет остаточных напряжений при поверхностном упрочнении титановых сплавов
за авторством: Павленко, В.Н.
Опубліковано: (2011)
за авторством: Павленко, В.Н.
Опубліковано: (2011)
Исследование механических напряжений в приводном валу вакуумного выключателя средних напряжений
за авторством: Байда, Е.И., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Байда, Е.И., та інші
Опубліковано: (2017)
Оценки емкостей плоских конденсаторов
за авторством: Зорий, Н.В.
Опубліковано: (1991)
за авторством: Зорий, Н.В.
Опубліковано: (1991)
О емкостных характеристиках конденсаторов
за авторством: Зорий, Н.В.
Опубліковано: (1996)
за авторством: Зорий, Н.В.
Опубліковано: (1996)
Экситоны в слоистых диэлектриках ZnI₂ и CdI₂:Zn
за авторством: Юнакова, О.Н., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Юнакова, О.Н., та інші
Опубліковано: (2002)
Влияние кремниевой подложки на пробивное напряжение разветвленного n++–p+-перехода
за авторством: Sidorenko, V. P., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Sidorenko, V. P., та інші
Опубліковано: (2003)
Расчет упругих механических напряжений в неоднородных полупроводниковых структурах
за авторством: Касимов, Ф.Д., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Касимов, Ф.Д., та інші
Опубліковано: (2002)
Оценка механических напряжений в металле контактно-резистивным методом
за авторством: Кислицын, В.М., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Кислицын, В.М., та інші
Опубліковано: (2017)
Оценка снизу суммы емкостей конденсаторов
за авторством: Митюк, И.П.
Опубліковано: (1990)
за авторством: Митюк, И.П.
Опубліковано: (1990)
Исследование механических напряжений в эпитаксиальных датчиках Холла различной конфигурации
за авторством: Касимов, Ф.Д., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Касимов, Ф.Д., та інші
Опубліковано: (2001)
Экстремальные длины и гриновы емкости конденсаторов
за авторством: Зорий, Н.В.
Опубліковано: (1990)
за авторством: Зорий, Н.В.
Опубліковано: (1990)
Модули семейств поверхностей и гриновы емкости конденсаторов
за авторством: Зорий, Н.В.
Опубліковано: (1990)
за авторством: Зорий, Н.В.
Опубліковано: (1990)
Влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния
за авторством: Kulinich, O. A., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Kulinich, O. A., та інші
Опубліковано: (2008)
Оценка технологического процесса изготовления СБИС по стабильности элементов ее структуры
за авторством: Вантеев, А.М., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Вантеев, А.М., та інші
Опубліковано: (2003)
Минимизация площади заказных СБИС на этапе топологического проектирования цифровых схем
за авторством: Черемисинова, Л.Д., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Черемисинова, Л.Д., та інші
Опубліковано: (2012)
Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD
за авторством: Глушко, А.А., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Глушко, А.А., та інші
Опубліковано: (2007)
СБИС для микроэлектронного координатно-чувствительного детектора приборов элементного анализа материалов
за авторством: Сидоренко, В.П., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Сидоренко, В.П., та інші
Опубліковано: (2009)