Комплексный подход к получению высокочистых материалов для микроэлектроники

The paper presents the results of numerical simulation of the electrophysical properties of GaAs depending on the content of residual impurities, and describes physical refining methods for obtaining high-purity Ga, Zn, Cd, Te, Nb, Ta, Zr, and other metals. The results of research on the stability o...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Технологія та конструювання в електронній апаратурі
Datum:2002
Heft:6
Сторінки:3-6
ISSN:3083-6549
Автори та афіліації:
  • V. M. Azhazha — National Science Center «Kharkiv Institute of Physics and Technology», NAS of Ukraine, Ukraine
  • G. P. Kovtun — National Science Center «Kharkiv Institute of Physics and Technology», NAS of Ukraine, Ukraine
  • I. M. Nekljudov — National Science Center «Kharkiv Institute of Physics and Technology», NAS of Ukraine, Ukraine
Hauptverfasser: Azhazha, V. M., Kovtun, G. P., Nekljudov, I. M.
Format: Artikel
Sprache:Somali
Veröffentlicht: PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2002
Schlagworte:
Online Zugang:https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2002.6.03
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Technology and design in electronic equipment
Завантажити файл: Pdf

Institution

Technology and design in electronic equipment
_version_ 1873277323692736512
author Azhazha, V. M.
Kovtun, G. P.
Nekljudov, I. M.
author_facet Azhazha, V. M.
Kovtun, G. P.
Nekljudov, I. M.
author_institution_txt_mv [ { "author": "V. M. Azhazha", "institution": "National Science Center «Kharkiv Institute of Physics and Technology», NAS of Ukraine, Ukraine", "orcid": "" }, { "author": "G. P. Kovtun", "institution": "National Science Center «Kharkiv Institute of Physics and Technology», NAS of Ukraine, Ukraine", "orcid": "" }, { "author": "I. M. Nekljudov", "institution": "National Science Center «Kharkiv Institute of Physics and Technology», NAS of Ukraine, Ukraine", "orcid": "" } ]
author_sort Azhazha, V. M.
baseUrl_str https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/oai
collection OJS
container_end_page 6
container_issue 6
container_start_page 3
container_title Технологія та конструювання в електронній апаратурі
container_volume
datestamp_date 2026-08-11T15:29:27Z
description The paper presents the results of numerical simulation of the electrophysical properties of GaAs depending on the content of residual impurities, and describes physical refining methods for obtaining high-purity Ga, Zn, Cd, Te, Nb, Ta, Zr, and other metals. The results of research on the stability of coated quartz crucibles in GaAs and Ga melts, as well as the results of the development of getter materials based on Zr alloys for process gas purification, are provided. The importance of an integrated approach to the problem of high-purity raw materials is demonstrated.
first_indexed 2026-08-12T01:01:09Z
format Article
fulltext ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � � ��������� �� ���� ������ ���� �� � ��� ������ � �������� �� �� ���� � !������ ���������������� �� �� "!#$%� � !�����& ������������������������������������������� ����� �������������������� ��� � %������� ##' ()��*������� +�,���- ����.����� ��� � � / 0-12345 6789:;<:1= 6>2?678 :2 @!A$BC@D#EF $!�)!� @ $!B%GC#HI JED!@!GHD�E) AK�CLHKB!J �BM AH@L!NBC@�L!#H@H ���� !�"��!#���$"!�$!�%�&�'�"�#��� (�!#)'�$'�$'*���#��)+,�'��"-�)�(��%.!� �/!�� +")�#�./)�"-� (��%($�+���/#�+� �!�'���+���/0!�&�"-��'�!$/'��+�/��!-� ����0/.!)#/-� 0'��+� J ��� � O�� ���P ��� ���� �Q����� ������* .�� � Q P����� ���������������Q� P� ������� RST ���� ��PP����� �����U���� ������Q� ���P���Q� ���P�� �� � ��.V�� �W��,��� ���P��� � ���P�� �� ����QV�� S�SSXS�S� � Y�P�� � �������� ����� Z S�S[XS�S\ � Y�P� #��P� � �� �� . � �� ������- ��� ���W���� �.�� �� ��O�� � ����� ���Q �Q����� �����- � ���� ����P��� * "���.�P P� �����*�Q� ,� - �� Q ��� � ��������� � ���QV����P � ����� �.�� - �� R�T&� ���QV���� .�� � Q P� ������� �� P����- ���� ������ ������U�� �� ��� *� �� ���*�QP JQ- ���� � ����* .�� � Q P� ������� ����������� � ��� �����P�.����� �++�� ����� � �� �����*,���- �� 5 ���V�� � � +���������*�Q� ��,P�U��� �� ���.V�� � ������� ������Q� ����� ���� ���� ���- ��.���� � �Q��� ������ ��������� � � #�U� �,��U��Q ���� ��Q� ��,��* � Q ��P������ ��,��W� �� #�������*���� ���.���� ��� �� ])^�H]� �� ,���Q� � ����.����P �Q����.�� Q� ����������- ������ P� ������ ����*�Q� P� ������� � ��������- .����� ��,�� ���P��� ��*�� � ,���.�P P�������� - ������ ���������� ���� ���� � ���� J ���� �Q- ������ ����� .�� � Q P����� ����������- �����Q� P� ������� ���*���V� �� �.�� �� ���� - U��� � ��������.����P� ������ P� $�� �P� �� ��� ����,���� +����Q� ���P���� � ��� �U��� ��- �P��*�Q� ����� � P� ������� ������ ���W���� � ��P�������� P����� ������� �� � �.�Q� ���P���� �� �P ������� ���W���� ��� ��� R�T� � +�� �.��- �� �����,�� � ���� �, ��������� P�������� ����- �� _ (�.�� � *� . �WQ ,��� ,�� */ R�T ����� ������ ��,��� � ����������*�� ���.V� * � ���*�Q� ���� ��+�,�.����� ����P� �Q �������- �������� ���� � ���.�� `2a= �������P ����.��� �����,������O�� ����� � �� � � �Q�������� ��- ������ �� R�T 1bb c "12 Z 1b& c �� ��� 1bb _ ������ ���� ���W���� ������� "� ������- �������P �����,������O�P `2a= � ��.�� �� ��P- ��������O��� ���W����� ������ �Q� ���� ������* 0d�&e 12Z1b _ ��,��� �� ������ ���� P����� ��- � �.�Q� ����� ���� � ������� J��*��� ��� ��V���� ������ ����� 1bb � "12Z1b&� P�U�� ��W��� *� �� �P�,���� ���� ��+�,�.����� ����� � #�P� R[T ����W�Q� ������ WQ� �����*,���� �� .��- ������� P����������� ���� ��+�,�.����� ����� � `2a= � ,�����P�� � � �����U��� � ��P P����� ��- ��� ���� � ������� � ���W����� ������ $����,���- ���O�� ����� �� ��������������� `2a= ,���� � �����U��� � ��P P����� ����� ���� "�������� fg� h;� ib � �� &� P����� "j3� j� jk� j;� lk � �� & � ���W�- ��� "��������� ��+�� ��� 0d�& ������� �� ������ mSnS�S� � Y�P� D����U���� ���P����� �� ��Q� P�- �� ���� * ���* ���W���� ����� ���� "i?� ok� i: � �� &� ���,Q��� ��� ��� �U� �� ������ S⋅S�S\ � Y�P� #� � �� � � ��.�� �� ���P��� � ���� ���P��- ���� ���+�.������ ����� ������ ����,��� �,P���- ��� ���� ������� ������ "ρ& � �����U��� � "µ& ��- ����Q� ���� ���� ,�� �� ̀ 2a= � ,�����P�� � � ���- ��� ����� P����� ����� ���� 12 � ������� 1b ��� +�����������P �����U���� ���W����� ������ 1bb � � �� � ��� ���W����� ����� ��� 1b2 H, ������� ������ . � ρ � µ � ,�����P�� � � ��- � ��V��� +����Q� � ��P��������O�� ���P���� �,- P�� � � � V������ �������� N � ��,��* � Q ��- ,��� � � �� ������� P��� ��.�� ������ ����������- � * ����� �� �Q��O����PQ� P������� ����� � ���- ���P� ���� * � � � ��������.����P �������� !����� ��P������� +����Q� ���P���� ������- �O�P� ��W����P� �P�� � ���� ���Q� P�P�� Q $�- ������� ���P���Q� ���P�� �� �� ������ WQ��� ��- p�����P�� * ρ � µ � �����U��� � `2a= P����� �����- ���Q� 12 � ������Q� 1b ���P���� � � �� � ��� ���W�- ���� ����� ��� 1b2 ��� ������ ����� ���W����� ������ 1bb q \nS�S\ �PZ� � \ S� � [ � S� \ �r b � S� S\ s1 Z� r 2 � S � S\ s1 Z � ρ� S �� Ω ns 1 S� \ � r 2 � S � S\ s1 Z � � \ S� r b � S� S\ s1 Z� ρ� S �� Ω ns 1 � t � [ ��������� �� ���� ������ ���� ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � ��,��.�QP � ������� � � W��*V�P .����P +�� �- ��� J ��W�P ���.�� ����.�� ���P���Q� ���P�� �� � ��������������� Z � � �� �.��� ��W� ����Q� �- .�.�Q� ��+�� ��� . � ������� � �����.���� ���- ��� ����� ��� ��� ,���� � ���� ���� ,�� ��� � ���- ��������� � � ��� �W��*��� � ����� � ����������- �����Q� P� ������� N������ ��� �,����� ��� ��- �QV���Q� �P���� ���� ������� � ���������� �� ����� � ������ ��� P������� ���P���Q� ����� $�- � �P� �Q���� .�� � � ������Q� � ����P��� ��*�Q� ��O�� � �� ���� � ��� � ����.��� ������������- ���Q� P� ������� �� �� � �� ���*��� J������ ��� �� ������ J )^�H �� ��� - U���� ��� ��*���� ���P��� ��,����� � +�- ,�.����� P� ��Q ����.��� �Q����.�� Q� P� ����� "��� ��� �� � ���� �����-��.��� ������� ,���� ������� ���� ��������� � �� & � ���P������P ����- �P��� � ������Q���������P��� ������ R\� �T $�- ��.��� W���� �� �Q����.�� Q� P� ����� "uk� h?� rv� l2� f7� w� i?� xk� x:� y=� i2� `2� h;� ib� lk� z� js� LpA � �� &� �� ��Q� �����*,�� � ��� �� ���.�Q� ������������� �� � �� ��,��.�Q� �W��� �� ����� ������� � . � P�������� ������ JQW�� P� ��� ��+��������� ������ ���� P� ��- �� ������� � � ��� +�,���-��P�.����P� ����� ��- P� JP�� � � �P �� ����.��� �����.�� Q� P� ��- ��� �++�� ����� ��.� ���� ��,��.�Q� �� ������� P� ����� .�P P������� ��� ��� ������ ������ � ��� U�� ��U� ��P��� �++�� ������ N � �� ,��� � ��,- ��.��� +�,�.����� �������� ��,������ ���P���Q� ���P�� �� � ��,�Q� P� ���� ���� ��� ������ � ���- ��� ��� � �����P� ���++����� ��,������ ���P�- �� � �����Q "β& ������� � � ��,��.��P �� �������- � ����� J ������ � ��������� A B BBB AAA M M NP NP γ γ=β 0 0 � ��� 0 AP � 0 BP � 12� 13� γ�� γ�� ��� �� Z ������� * ����� P��*�� ��� � ���++����� �� ����� � � P������ �- �Q� ��� ��������� ��O�� �� "�& � ���P��� "�&� ��- � �� � ����� J ���� ����,������Q� P� ���� ��+��������� ��- ����QP ����,� ���P �.�� �� ��O�� �� � ���P��- �Q� ���P�� �� �� � � ���������Q� ���++����� ������������ �� ����� ��� �O�� ��W�� � ��V�- ��� ������ ����� ���P��� � ������ � U����� +�,�� " �q4 �Y4U& L�,������� ���P���� � P� ����� ��� ���� ���P ��� � ����� ���� ��.������ ��� "���� - ���������& �������� �� ��,��.��� �����U��� � ���- P���Q� ����� � ��������� ��O�� �� #� ������ ����������� �������� � ���*�Q� ���P���� ��� �� ����� ��� ��+���������� P� ����� ��,��.�QP� +�,�.����P� P� ���P� � )^�H ��,��- W� ��Q � �����,����Q �Q�����++�� ���Q� P� ��Q ��+��������� 5 _ �����P�� ��� ��� �� "� . � ������������ ���� �� ������� � ������� �P �P���� ��Q � ,�P���- �P �W{�P�&� ������� � ��������� P� ���� � ����P ����� ��+��������� � �� ��.� ���� � ������������ ��������� ��*��� �e _ ������ � ,���� �������� ����,��� � �����- �Q����P �����P� � � ��� �������PQ� "�� ���Q�& ���- ��� � ���P������P ���� �����-��.����� �������e _ ���� ��������� � ������ +�,�e _ ,���� ������ � ��.� ���� � ���� ����������Pe _ ��,��.�Q� ��.� ��� �QV�����.������Q� P�- ���� $��P��� ��*�� � �� ��W��� P ���� ������ � P��- ������ ������ WQ� ����.�� ���Q� � � �Q����.��- Q� P� ����� ���� P� ���P� �������� � ��� ��� - ��� � �����P� WQ�� ����.��Q ����� ���P�� � ����� � �����U����P ��������� ��P����� � �� P���� ||�|||}~ � � ����� _ ||�||||} RtT $�������O�� ���P������ ���� ����,������Q� P� ���� ��+�����- ���� ��,������ ����.� * ����� ���P�� � ����� .�� � �� ||�||||}� � ������ _ ||�|||||} N � P�- ��Q WQ�� �����*,����Q �� ��� �,� � ��������O�- �� �Q��O����� P������� ����� ��������������- �Q� ���������� `2a=� iblk� h;lk� ibh;lk A���- ���� ���Q ̀ 2a= ������,��.����* �� ����.��� ��- ���,������O�� �����U�� ���P� ��P �� �� PP � ��� ��� *� ���������� "SX�&nS�[�PZ� #� ������ ��- �������������Q� ���������� iblk� ibh;lk ��.� Q ��,��W� �� �� �� ���� ������ �������� ! U�� ����V��� ���W� � �� ��� � �� ���Q� ���- ��� � ������Q����P �����P� ��,����� ���,� * ��- ���U���� ���������� �,� � � �������� � ��PP� �� \nS�Z� } � �����*,��� * ����V�� �� ��,���� ��.�- � ����Q� �������� ���� � �� �,����� ���� ������ D����� � P� � *� . � � �Q����.�� Q� P� ����� ������� �W����U���� � ���Q� ����� ��� �� ��Q� P��� WQ * �����*,����Q �� ��,���� ���Q� ���- W���� � �� ���� � #��W���� � .� ���� � � ���Q� ����� �� ��� �� � � ��� ��,��� �P���� ���� #�- ���P��� W������� .�� � �� ||�||} � �W��� � �P��- �� ��Q tt @ �W����� ����*�QP ���� ������� ����- ���P ���P���� �� ��� ��� ��U�� .�P �Q����.�� Q� P��* � ����W�� R�T N � ��,������ ��,�� * ��������- ��� O�� P���� �Q� ��� �PQ � P��QP� ��,P���P� � P����� %���*��� ����� ������� �Q����.�� Q� P�- ������ ����� ���*+��P� "||�||||\}& � P���� ��P ���� ��� �q[�� @ � �����������P ���� �������+�- .����P ����������� ��,��� �� � ������*�� P����- ���� ��, R�T� ���W��U� �* �� ����.��� � �������- ��������QP P� ������P % �Q����.�� Q� P������- � ����� �� ��� "||�|||}& ��� �q[�� @ �W����U�� P���� �Q� ���W�� R�T J ������ � P���� ���� ���- W� ��������� �,P������ ���++����� � )���� _ � ������*�� ��,� �������P�� � _ �� ��� ���� ��,��- ��� ����� ���� ������ ��� ��P�-���� �P��� ��� ��- ��Q� ���������� ������.����� �� ��� ��� ��� $���W�Q� ����� ��W�������* � � �Q����.�� Q� P������� ����� ���� "||�||||}& N � � ������ �+- +�� Q P��� WQ * �����*,����Q �� ��,��W� �� ����- ������*�� ���Q� �� ���� � �������� ������ R|T ���*���V�� ���QV���� .�� � Q P� ����� P�U� �����W� ���� * ��V���� � �� ��������Q� ,���.� � . � ���W��PQ (P� ����.����� ���� ������/ R|T @����� ���� ���� ����� �������P�� � � P� ����� ��� ��� � �S��� �� Y�P�� . � �� ������*�� ��� ���� ~ p���* � ����� .�� � � P� ����� ���� � P�� } ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � \ ��������� �� ���� ������ ���� �QV� �� ��������� � ��������������P� #���.�� P� ����.����� P������� ����� � ��� � �.�� W��*- V�� ������ ���W������ ���W��� ���� ����� "�����- .�� Q� � � ��� ���� �����V���Q� P������� ���& � �����W�� ��������� ���� ����P� �������P�� � � ���� ����� ����������*�� ��,��� � ��,�� * ����- ���� ����Q� ���W��Q� �++�� ����� * �� ��Q� WQ�� WQ ��O�� ����� �QV� �� ��������� � ����������- �����QP� � � �� � ���� � ���� A� ����� ��� ������ �� �Q��O����� �Q����.�� Q� ����������- �����Q� P������� ����� �� � � ����P �, ��U���- V�� ��������.����� +�� ����� ������� �O�� ��- .�� �� P������� ����� J .�� ��� �� �� �Q��O���- �� P������� ����� ̀ 2a= � �������P �����*,�� � ���� �, ������ � ������ �.������ �� ���� W��� "ur& !������� ����� � �� �������Q� ����� _ ��,P�U- ��� * ,��� ,���� `2a= ���P���P� ������ ��U���- ��*��� �������� ���P��*� A����� ���W��PQ� �� - ,���Q� � ,��� ,�����P `2a=� �� ��� � � ��� ��- ���*,������ ����� �, �Q����.�� ��� ur J � U� ���- P ���� �, ������ ��P���� ��V���� � � ���� ��*�� ����+��� �Q $�� �P� �� ���*�QP� �� � � ���Q - �� ����.� * �������Q� ���� � ,�O� �QP� ����Q � - P�� ���� �QP� �� � ��V���� � �������� ̀ 2a= J )^�H WQ�� �Q������Q �������Q� ���������- �� �� �,�.���� � ����� � �������Q� ����� � ��- ��Q � P� �, ur� l3r � a4r � ��,���� ��� ������- ��� `2a= � .�� ��� ����� @�� ��� P� �� �QW��� P� ������� � ��.�� �� ����Q �� ���U��� �P���� �- �� �������� � ��P�� ����� *� U���� ����� *� ��P�- .���� � ����� * � ��������� $�� �QW��� ����Q �� �.� Q�����* �� �P���� ���Q� ���++����� Q ���- V����� � � ��U� ��,P�U��� � P� ���� �� ����.�- ��� ��� �Q� � �Q����.�� Q� ,�O� �Q� ����Q �� $���Q � �, ur ���������* ��,�+�,�QP P� ���P RS�T� ���� �, ��� ���� � �� ����� ��� �� � �P� . � ������Q� ��O�� ��� �����*,��PQ� �� +��P�����- �� ����Q ��� P��� WQ * �������� ��*�� �.�O��Q �� �P ��� ��� ��� ��� ��� �+������ $���Q � �, l3r � a4r ���������* �����-���,P���QP P� ���P RSST J� ���� ���.� � ��O��� ����Q �� �� ����Q- V��� �_� P�P H��Q ��� �������Q� ������ ����Q Q� ur� ���- �������* � ������ �� ���W��U���Q� � ������ P ����.��� ������������Q� P������� ����� ̀ 2a= �� � ����� ��� ��������� ����� � ����Q � P� l3r � a4r ���Q Q�����* � �����*,������P �������� .��- ��� ����� ��� �P���� ��� �S����i � �.���� �\ . !����� ,�O� ���� ���� �� ����Q �� ��� ��� �� � ����*�Q� P� ������� � ��������P `2a= ���O�� �- � ���* �� �P ��� ��� ���P���� j3� u � �Q��O���Q� P������� ����� � �,P����� ����.�� ���� �������- ������ � �����U��� � J ���.�� ��� �� � ����� � .�� QP ������P ������� ���* �����U���� ���P���� j3� l3� a4 � ������ H, ����.���Q� ��,��* � �� ���*, WQ�� ����.� * ����,��.���� � �� � �W �++�� ����� � ,�O� ���� ���� �� ����Q �� �,-,� ��,W���� ,��.���� ���� ��- +�,�.����� ����P� ��� P������� ����� `2a=� ��- ��.��Q �� ��Q� P���� ,����� * � � ������ ������� �Q��O����� P������� ����� JP�� � � �P �����- U���� j3 � `2a= �P��� ��� � �.�� ��,��� ������* "�SnS�Z\ }� ��U��� ������ �W����U��� P���-���� - ��P� ��&� ������PQ� � ����.���P�� ��� ����PQP� ��� �����*,������ ����� �, ur D����U���� j3 � ������� �Q���U����P ��� �P���� ��� �S����i � ��- � � � ����Q � P� �, l3r � a4r� ��� ����� ����.��� �� ��� ��� ��� ��U� �� ��������� � ������P� �W��- W� ���QP � ��� � W�, ����Q � D����U���� l3 � a4 � ������ � �W��� ���.� � �� �,P������* ����P �W��,�P� ���P� � �� � �� � ��� ������ - ������� ,�����P�� � �,P����� ���� ��+�,�.����� ����� � ̀ 2a= ��� �����*,������ �������Q� ����� � ����Q � P� � W�, ���� ����������� ��W� �� ����.�- ��� �������Q� ��� ������� � ,�O� �QP� ����Q � - P� �� � � ������� ���QP � ,����U���� ������U�- �� J ������ �.����* � � � ���� � � �����V��� ��- ����� ��������� �������� ����Q �� �� ����� J������ ��� � ������ ���������.����� ��,Q "a?� �k� r�� �� � �� & �����*,�� � � ����- ���� � ����,���� �� �Q����.�� Q� ������������- ���Q� P� �������� �� �����*�Q� P�������P� ��� �- �������� �� ��� � � ������� ��W������ � ��,�P _ �Q����� ������* �� .�� � Q %.� Q�� � . � ����- ��� ������ �Q����.�� Q� ��,�� � P�� � �� �����*- ,����� ���,W�U�� ������� � ,��� ,����� ��,��� ������� ���QP �����������P �� � � ��,����� ��- ���*�Q� �� ���� � �� �.�� �� ��,��� P����P��*�� ���W��U���Q� � �W{�� �P �� ��W���� #� ������ .�� Q� P� ����� � )^�H WQ� ��,��- W� �� � � P� ����.����� �� ���Q� P� ������� RS�T H���� �, �����,� ���W�����Q� ����� � ��P�.���� �� ���Q� P� ����� � ��.�� �� P� ������ �� ��� WQ�� �QW���Q �����Q �� ������ ������� � ��+�� "h?_ a4� h?_a4_LpA� h?_ok� h?_ok_LpA� f7_ok& N � P� �����Q �P�� ��W�.�� �P���� ��� ���X[���i � P��� ��������� �� �����*,��� *� ����� ��� �� - � ���O�� ��P�.����� �� ������ H, �����,� P���-���� ��P� ��.����� ���������- ��� �� ���Q� ����� � ��,��.�Q� P� ������� WQ� ������ �Q���� . � ���W���� ����P��PQP P� ����- ��P �� �����*,����� � �� ���� ��� �.�� �� ��,�� �� � � ����� h? "�[}&_a4 "S�}& ����Q� ����� � �� ������ �P���� �� ���X[���i �����O�� V���- ��� ���� � ��,��Q� ���P���� "�� � y� � r� � ��y� iy� iy� � i�[& � �.�O��PQ� ��,�� � ��,��� � ��� ��� * �Q����� � ����� �� �.�� �� ���� ��� ��.��*��P ��- ���U���� ���P���� � ����.����P ������ �S�Z� } �� �� � �.�� ������ ���� ����� �.�� �� ���U�� - � �� �S�Z\ } H���������� ����,���� . � �� ��� �U��� ,�- �����PQ� ����P� ��� �� ���W��� �.�� �� � ������� ��W� Q �� ���Q� ���P�� Q P��� �P� * ������ ��*- �� ��W��*V�� ��,P��Q _ ��W�.�� ����� ���� PP � ���P� � �\_[� PP $�� �P� � �.� �P �,P��� ��*- ��� ������ ��Q � ����P��� ��*���� �W��������� ��- ���� �� �� �.�� �� ��,�� P�U� ��,P�O� *� � ��P � ��WQP �W{�� �P �� ��W���� .�� ��� ��,� D ��- ���*,������P �������Q� �� ���Q� ���P�� �� WQ�� ��,��W� ��Q �� ������ �� �.�� �� ��,��� �����*,�- �PQ� �� ����.��� �Q����.�� Q� ��O�� �� ������ �� ���Q� P� ����� � �� ����� � ��������� �� ���� ������ ���� ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � ������������� �� ������ ��� ������������ �� ���� �������� ����������������� � �� ������������������� ������ ������� ����� ����� ������ � ��� �� �������� � ����������� � ���������� � ��� !����"�����������#��$$�� �������������� ������� ���� ��� ��� ������� ������� � ���� ��������!���� �������� ������� �������������� ������ ���� "� ��� ����������%� �$��������&���'�� ���"����� ������������ "�� ������ ��� �� �� ������ ������� ���������������(���������������()�*����� � #�����(+���� � ���� $$�,����������� �� #�� ����� � ����� ����� ��� � ��������������� � �� ���� �� ����� ������ � ���� -��.����� �!�������/����$��� ��������/ �$),� ���������0����$�����#�����( � � �� �"������������1��$ ���#��$$�� # �������� ���������� ���$��� ��� ������� ����� $ ��� %�$ ����� ���� ��������� ��! � $ � ����������(��� ����% ������-��2���$)��� $$�,�����(���)�/�)������� &������$�������� ����� ����������� ��� ���������$ ��������� 3�����.� �� ���"����� �������#��$$�� '��� ���� ������� �$��� ��������� � ����� � �� ������ ()! �� ����� � �� ���! ���� ���-���� %�����"��������������+� +�)� �$�� #��� $����� � ������ ����� ��� $ �����������* ����������� �������������� ������4��� !����"���������������� ������ ��� � �� ��������� � ����� ���� ���� ����� ���� ���� �������5��� ������4��#6�� ��.�����#6�� ��"�����������7��� �8'� +���������� ���� ����� �� ��� $ ������� ������$ ������ ��! � $ �� ������� ��� ��� � ��$����� ��� ���/�$� ��� �"������� ���1�� � �� ������� � �� ���� ���������� � �� ���� ���������� � �� ���� ���������� � �� ���� � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � ������� � �� ���� ����������� � �� ���� ����������� � �� ���� ����������� � �� ���� � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � ����P �W��,�P� ���W��P� ����.��� �Q����.��- Q� ������Q� P� ������� P�������� ������ ����- ������� ��V���� ��P������ ,���. _ � �� ������- �� ���� ��+�,�.����� ����� � P� ������� � �� ,� � �����U����P ���P���Q� ���P�� ��� � ���������- �� ���Q� ����� � .�� Q� P� ����� _ �� �����V��- � ������ ��������.������ �W��������� � �� - ���� � �.�� �� ��������.����� ��,�� H����*,������ ��,��* � ��� ����.���Q� � )^�H� ��,��� � �U� �� ��.��*�Q� � ��� � ����,���� �� �,����� P�������� ������ ,���U� * �����Q �����- P�.����� �++�� ����� � ��������.����� ��������� � +���������*���� ����� �Q������P�� ��������� HD$!B�p!JK##EC HD�!G#H@H S ��� Q� � � L�,��W� �� �Q����.�� Q� P� ����- ��� �� J �W 5 D�.���� P� ������,���� �� ��� � ���.. _ @���5 #��� ��P��� S||� � #����*��� B K � @������� G J $��W��P� .�� �- Q P� ������� � ���� ������ �� JQ����.�� Q� ��O�- � �� _ S||� _ � � _ D ��_�� � A����� K J � ���*V��� I # � !�������� J � #�- �� ��Q� ����� Q ����.��� P������� ����� �����,�- �����O��� �������� ����� �Q����� .�� � Q %� ����- ����� ��� ����� ���W����P�� .�� � Q P� ������ �� ��P U� _ S||� _ � S _ D ��_�| [ @�� �� � $ � @� ��� J C L�,��W� ��� ���������- ��� � ���P������ ���Q� ���������������Q� P� ����- ��� �� JK#� D�� J����P� .�� Q� P� �����Q� ��������- ������� _ S||| _ � S _ D [�_\� \ ��������� � ^ � @�� �� � $ � KU�U� J A $���.�- ��� �����.�� Q� ������ P� ����� _ A 5 A� ������� � S|�� � KU�U� J A � @�� �� � $ � ��������� � ^ $���- .���� � P� ����+�,��� ���W� .�� Q� P� ����� �� A�- ����+�, � �����V�� ����� _ ���� _ � ��� � � _ D �S_�\ t @�� �� � $ � @���.���� K H � ���W��* K $ $���- .���� �Q����.�� Q� ����� � ������ ���P� � ������ �� P�������� ������ �� ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ��� _ ���S _ � � _ D �_� � $�� ������� � C � ��������� � ^ � @�V����� � D J�� ��� .�� � Q �� ���� ��.����� ����� �� W������ �� JK#� D�� !WO� � ����� +�,��� _ S|�� _ � S _ D \\_\� | D ����� J C � @�� �� � $ N��� ����Q� ����� �� ���W� .�� Q� P������� ����� ��������Q� P� ����� �� JQ����.�� Q� ��O�� �� _ S|�� _ � [ _ D S�[_S�\ S� H����� J C � #�.�������� C $ � @������.�� J A � D�������. J J @��� ����,��� ���������� P�- ����� �, ��,���� +�,Q _ A 5 K �P�,�� � S|t[ SS ����� J � � $������ J � L�,��W� �� � ��������� ���Q� P� ���� �����P-���,P����� ��������� �Q����� ������� �� J�� ��� K# %DDL _ S|t| _ � [ _ D [�_\� S� @����* A B � KU�U� J A � ������� A H �����- ���� ����.��� �� ���Q� ����V��� �� ���W���� �.�- � �� ��,�� �� JQ����.�� Q� ��O�� �� _ S||� _ � [ _ D S��_SS�
id oai:tkea.com.ua:article-1315
institution Technology and design in electronic equipment
issn 3083-6549
keywords_txt_mv
language Somali
last_indexed 2026-08-12T01:01:09Z
publishDate 2002
publisher PE &quot;Politekhperiodika&quot;, Book and Journal Publishers
record_format ojs
resource_txt_mv wwwtkeacomua/11/deaa89a19ae36d1f345707da5544ae11.pdf
spelling oai:tkea.com.ua:article-13152026-08-11T15:29:27Z Integrated approach to obtaining high-purity materials for microelectronics Комплексный подход к получению высокочистых материалов для микроэлектроники Azhazha, V. M. Kovtun, G. P. Nekljudov, I. M. high-purity materials GaAs getter materials process gas purification высокочистые материалы GaAs геттерные материалы очистка технологических газов The paper presents the results of numerical simulation of the electrophysical properties of GaAs depending on the content of residual impurities, and describes physical refining methods for obtaining high-purity Ga, Zn, Cd, Te, Nb, Ta, Zr, and other metals. The results of research on the stability of coated quartz crucibles in GaAs and Ga melts, as well as the results of the development of getter materials based on Zr alloys for process gas purification, are provided. The importance of an integrated approach to the problem of high-purity raw materials is demonstrated. Приведены результаты численного моделирования электрофизических свойств GaAs в зависимости от содержания остаточных примесей, изложены физические методы рафинирования для получения высокочистых Ga, Zn, Cd, Te, Nb, Ta, Zr и др. металлов. Приведены результаты исследований по стойкости кварцевых тиглей с покрытиями в расплавах GaAs и Ga и результаты разработок геттерных материалов на основе сплавов Zr для очистки технологических газов. Показана важность комплексного подхода к проблеме высокочистых исходных материалов. PE &quot;Politekhperiodika&quot;, Book and Journal Publishers 2002-12-30 Article Article Peer-reviewed Article application/pdf https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2002.6.03 Technology and design in electronic equipment; No. 6 (2002): Tekhnologiya i konstruirovanie v elektronnoi apparature; 3-6 Технологія та конструювання в електронній апаратурі; № 6 (2002): Технология и конструирование в электронной аппаратуре; 3-6 3083-6549 3083-6530 uk https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2002.6.03/1214 Copyright (c) 2002 Azhazha V. M., Kovtun G. P., Nekljudov I. M. http://creativecommons.org/licenses/by/4.0/
spellingShingle высокочистые материалы
GaAs
геттерные материалы
очистка технологических газов
Azhazha, V. M.
Kovtun, G. P.
Nekljudov, I. M.
Комплексный подход к получению высокочистых материалов для микроэлектроники
title Комплексный подход к получению высокочистых материалов для микроэлектроники
title_alt Integrated approach to obtaining high-purity materials for microelectronics
title_full Комплексный подход к получению высокочистых материалов для микроэлектроники
title_fullStr Комплексный подход к получению высокочистых материалов для микроэлектроники
title_full_unstemmed Комплексный подход к получению высокочистых материалов для микроэлектроники
title_short Комплексный подход к получению высокочистых материалов для микроэлектроники
title_sort комплексный подход к получению высокочистых материалов для микроэлектроники
topic высокочистые материалы
GaAs
геттерные материалы
очистка технологических газов
topic_facet high-purity materials
GaAs
getter materials
process gas purification
высокочистые материалы
GaAs
геттерные материалы
очистка технологических газов
url https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2002.6.03
work_keys_str_mv AT azhazhavm integratedapproachtoobtaininghighpuritymaterialsformicroelectronics
AT kovtungp integratedapproachtoobtaininghighpuritymaterialsformicroelectronics
AT nekljudovim integratedapproachtoobtaininghighpuritymaterialsformicroelectronics
AT azhazhavm kompleksnyjpodhodkpolučeniûvysokočistyhmaterialovdlâmikroélektroniki
AT kovtungp kompleksnyjpodhodkpolučeniûvysokočistyhmaterialovdlâmikroélektroniki
AT nekljudovim kompleksnyjpodhodkpolučeniûvysokočistyhmaterialovdlâmikroélektroniki