Комплексный подход к получению высокочистых материалов для микроэлектроники
The paper presents the results of numerical simulation of the electrophysical properties of GaAs depending on the content of residual impurities, and describes physical refining methods for obtaining high-purity Ga, Zn, Cd, Te, Nb, Ta, Zr, and other metals. The results of research on the stability o...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Технологія та конструювання в електронній апаратурі |
|---|---|
| Datum: | 2002 |
| Heft: | 6 |
| Сторінки: | 3-6 |
| ISSN: | 3083-6549 |
| Автори та афіліації: |
|
| Hauptverfasser: | , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Somali |
| Veröffentlicht: |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
2002
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2002.6.03 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Technology and design in electronic equipment |
| Завантажити файл: |
|
Institution
Technology and design in electronic equipment| _version_ | 1873277323692736512 |
|---|---|
| author | Azhazha, V. M. Kovtun, G. P. Nekljudov, I. M. |
| author_facet | Azhazha, V. M. Kovtun, G. P. Nekljudov, I. M. |
| author_institution_txt_mv | [
{
"author": "V. M. Azhazha",
"institution": "National Science Center «Kharkiv Institute of Physics and Technology», NAS of Ukraine, Ukraine",
"orcid": ""
},
{
"author": "G. P. Kovtun",
"institution": "National Science Center «Kharkiv Institute of Physics and Technology», NAS of Ukraine, Ukraine",
"orcid": ""
},
{
"author": "I. M. Nekljudov",
"institution": "National Science Center «Kharkiv Institute of Physics and Technology», NAS of Ukraine, Ukraine",
"orcid": ""
}
] |
| author_sort | Azhazha, V. M. |
| baseUrl_str | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/oai |
| collection | OJS |
| container_end_page | 6 |
| container_issue | 6 |
| container_start_page | 3 |
| container_title | Технологія та конструювання в електронній апаратурі |
| container_volume | |
| datestamp_date | 2026-08-11T15:29:27Z |
| description | The paper presents the results of numerical simulation of the electrophysical properties of GaAs depending on the content of residual impurities, and describes physical refining methods for obtaining high-purity Ga, Zn, Cd, Te, Nb, Ta, Zr, and other metals. The results of research on the stability of coated quartz crucibles in GaAs and Ga melts, as well as the results of the development of getter materials based on Zr alloys for process gas purification, are provided. The importance of an integrated approach to the problem of high-purity raw materials is demonstrated. |
| first_indexed | 2026-08-12T01:01:09Z |
| format | Article |
| fulltext |
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
�
���������
�� ����
������
����
��
�
���
������
�
��������
�� ��
����
�
!������
����������������
��
��
"!#$%�
�
!�����&
�������������������������������������������
�����
��������������������
��� �
%�������
##'
()��*�������
+�,���-
����.�����
���
�
�
/
0-12345
6789:;<:1= 6>2?678 :2
@!A$BC@D#EF
$!�)!�
@
$!B%GC#HI
JED!@!GHD�E)
AK�CLHKB!J
�BM
AH@L!NBC@�L!#H@H
���� !�"��!#���$"!�$!�%�&�'�"�#���
(�!#)'�$'�$'*���#��)+,�'��"-�)�(��%.!�
�/!�� +")�#�./)�"-� (��%($�+���/#�+�
�!�'���+���/0!�&�"-��'�!$/'��+�/��!-�
����0/.!)#/-� 0'��+�
J
���
� O��
���P
���
����
�Q�����
������*
.��
�
Q
P�����
���������������Q�
P�
�������
RST
����
��PP�����
�����U����
������Q�
���P���Q�
���P��
��
�
��.V��
�W��,���
���P��� �
���P��
��
����QV��
S�SSXS�S�
�
Y�P��
�
��������
�����
Z
S�S[XS�S\
�
Y�P�
#��P�
�
��
��
.
�
��
������-
���
���W����
�.��
��
��O��
�
�����
���Q
�Q�����
�����-
�
����
����P���
*
"���.�P
P�
�����*�Q�
,�
-
��
Q
���
�
���������
�
���QV����P
�
�����
�.��
-
��
R�T&�
���QV����
.��
�
Q
P�
�������
��
P����-
����
������
������U��
��
���
*�
��
���*�QP
JQ-
����
�
����*
.��
�
Q
P�
�������
����������� �
���
�����P�.�����
�++��
�����
�
��
�����*,���-
�� 5
���V�� �
�
+���������*�Q�
��,P�U���
��
���.V��
�
�������
������Q�
�����
����
����
���-
��.����
�
�Q���
������
���������
�
�
#�U�
�,��U��Q
����
��Q�
��,��*
�
Q
��P������
��,��W�
��
#�������*����
���.����
���
��
])^�H]�
�� ,���Q�
�
����.����P
�Q����.��
Q�
����������-
������
P�
������
����*�Q�
P�
�������
�
��������-
.�����
��,��
���P���
��*��
�
,���.�P
P��������
-
������
����������
����
����
�
����
J
����
�Q-
������
�����
.��
�
Q
P�����
����������-
�����Q�
P�
�������
���*���V�
��
�.��
��
���� -
U���
�
��������.����P�
������
P�
$��
�P�
��
���
����,����
+����Q�
���P����
�
���
�U���
��-
�P��*�Q�
�����
�
P�
�������
������
���W����
�
��P��������
P�����
�������
��
�
�.�Q�
���P����
��
�P
�������
���W����
���
���
R�T�
�
+��
�.��-
��
�����,��
�
����
�,
���������
P��������
����-
��
_
(�.��
�
*�
.
�WQ
,��� ,��
*/
R�T
�����
������
��,��� �
����������*��
���.V�
*
�
���*�Q�
����
��+�,�.�����
����P�
�Q
�������-
��������
����
�
���.��
`2a=
�������P
����.���
�����,������O��
�����
�
�� �
�
�Q��������
��-
������
��
R�T
1bb
c
"12
Z
1b&
c
��
���
1bb
_
������
����
���W����
�������
"�
������-
�������P
�����,������O�P
`2a=
�
��.��
��
��P-
��������O���
���W�����
������
�Q�
����
������*
0d�&e
12Z1b
_
��,���
��
������
����
P�����
��-
�
�.�Q�
�����
����
�
�������
J��*���
���
��V����
������
�����
1bb
�
"12Z1b&�
P�U��
��W���
*�
��
�P�,����
����
��+�,�.�����
�����
�
#�P�
R[T
����W�Q�
������
WQ�
�����*,����
��
.��-
�������
P�����������
����
��+�,�.�����
�����
�
`2a=
�
,�����P��
�
�
�����U���
�
��P
P�����
��-
���
����
�
�������
�
���W�����
������
$����,���-
���O��
�����
��
���������������
`2a=
,����
�
�����U���
�
��P
P�����
�����
����
"��������
fg�
h;�
ib
�
�� &�
P�����
"j3�
j�
jk�
j;�
lk
�
�� &
�
���W�-
���
"���������
��+��
���
0d�&
�������
��
������
mSnS�S�
�
Y�P�
D����U����
���P�����
��
��Q�
P�-
��
����
*
���*
���W����
�����
����
"i?�
ok�
i:
�
�� &�
���,Q���
��� ���
�U�
��
������
S⋅S�S\
�
Y�P�
#�
�
�� �
�
��.��
��
���P���
�
����
���P��-
����
���+�.������
�����
������
����,���
�,P���-
���
����
�������
������
"ρ&
�
�����U���
�
"µ&
��-
����Q�
����
����
,�� ��
̀ 2a=
�
,�����P��
�
�
���-
���
�����
P�����
�����
����
12
�
�������
1b
���
+�����������P
�����U����
���W�����
������
1bb
�
�
��
�
���
���W�����
�����
���
1b2
H,
�������
������
.
�
ρ �
µ �
,�����P��
�
�
��-
�
��V���
+����Q�
�
��P��������O��
���P����
�,-
P�� �
�
�
V������
��������
N
�
��,��*
�
Q
��-
,��� �
�
��
�������
P���
��.��
������
����������-
�
*
�����
��
�Q��O����PQ�
P�������
�����
�
���-
���P�
����
*
�
�
�
��������.����P
��������
!�����
��P�������
+����Q�
���P����
������-
�O�P�
��W����P�
�P��
�
����
���Q�
P�P��
Q
$�-
�������
���P���Q�
���P��
��
��
������
WQ���
��-
p�����P��
* ρ
� µ
�
�����U���
�
`2a=
P�����
�����-
���Q�
12
�
������Q�
1b
���P����
�
�
��
�
���
���W�-
����
�����
���
1b2
���
������
�����
���W�����
������
1bb
q
\nS�S\
�PZ�
�
\
S�
�
[
�
S�
\
�r
b �
S� S\
s1
Z�
r 2
�
S
�
S\
s1
Z
�
ρ�
S
��
Ω
ns
1
S�
\
�
r 2
�
S
�
S\
s1
Z
�
�
\
S�
r
b �
S� S\
s1
Z�
ρ�
S
��
Ω
ns
1 �
t
�
[
���������
�� ����
������
����
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
��,��.�QP
�
������� �
�
W��*V�P
.����P
+��
�-
���
J
��W�P
���.��
����.��
���P���Q�
���P��
��
�
���������������
Z
�
�
��
�.���
��W�
����Q�
�-
.�.�Q�
��+��
���
.
�
�������
�
�����.����
���-
���
�����
���
���
,����
�
����
����
,�� ���
�
���-
���������
�
�
���
�W��*���
�
�����
�
����������-
�����Q�
P�
�������
N������
���
�,�����
���
��-
�QV���Q�
�P����
����
�������
�
����������
��
�����
�
������
���
P�������
���P���Q�
�����
$�-
�
�P�
�Q����
.��
�
�
������Q�
�
����P���
��*�Q�
��O��
�
��
����
�
��� �
����.���
������������-
���Q�
P�
�������
��
��
�
��
���*���
J������
���
��
������
J
)^�H
��
���
-
U����
���
��*����
���P���
��,�����
�
+�-
,�.�����
P�
��Q
����.���
�Q����.��
Q�
P�
�����
"���
��� �� �
����
�����-��.���
�������
,����
�������
����
���������
�
�� &
�
���P������P
����-
�P���
�
������Q���������P���
������
R\�
�T
$�-
��.���
W����
��
�Q����.��
Q�
P�
�����
"uk�
h?�
rv�
l2�
f7�
w�
i?�
xk�
x:�
y=�
i2�
`2�
h;�
ib�
lk�
z�
js�
LpA
�
�� &�
��
��Q�
�����*,��
�
���
��
���.�Q�
�������������
��
�
��
��,��.�Q�
�W���
��
�����
�������
�
.
�
P��������
������
JQW��
P�
���
��+���������
������
����
P�
��-
��
������� �
�
���
+�,���-��P�.����P�
�����
��-
P�
JP��
�
�
�P
��
����.���
�����.��
Q�
P�
��-
���
�++��
�����
��.�
����
��,��.�Q�
��
�������
P�
�����
.�P
P�������
���
���
������
������
�
���
U��
��U�
��P���
�++��
������
N
�
�� ,���
�
��,-
��.���
+�,�.�����
��������
��,������
���P���Q�
���P��
��
�
��,�Q�
P�
����
����
���
������
�
���-
��� ���
�
�����P�
���++�����
��,������
���P�-
��
�
�����Q
"β&
������� �
�
��,��.��P
��
�������-
�
�����
J
������ �
���������
A
B
BBB
AAA
M
M
NP
NP
γ
γ=β
0
0
�
���
0
AP �
0
BP �
12�
13�
�
�
���
��
Z
�������
*
�����
P��*��
��� �
���++�����
��
�����
�
�
P������ �-
�Q�
���
���������
��O��
��
"�&
�
���P���
"�&�
��-
�
��
�
�����
J
����
����,������Q�
P�
����
��+���������
��-
����QP
����,�
���P
�.��
��
��O��
��
�
���P��-
�Q�
���P��
��
�� �
�
���������Q�
���++�����
������������
��
�����
��� �O��
��W��
�
��V�-
���
������
�����
���P���
�
������
�
U�����
+�,��
"
�q4
�Y4U&
L�,�������
���P����
�
P�
�����
���
����
���P
���
� �����
����
��.������
���
"����
-
���������&
��������
��
��,��.���
�����U���
�
���-
P���Q�
�����
�
���������
��O��
��
#�
������
�����������
��������
�
���*�Q�
���P����
���
��
�����
���
��+����������
P�
�����
��,��.�QP�
+�,�.����P�
P�
���P�
�
)^�H
��,��-
W�
��Q
�
�����,����Q
�Q�����++��
���Q�
P�
��Q
��+��������� 5
_
�����P��
���
��� ��
"�
.
�
������������
����
��
�������
�
�������
�P
�P����
��Q
�
,�P���-
�P
�W{�P�&�
�������
�
���������
P�
����
�
����P
�����
��+���������
�
��
��.�
����
�
������������
���������
��*���
�e
_
������
�
,����
��������
����,���
�
�����-
�Q����P
�����P�
�
�
���
�������PQ�
"��
���Q�&
���-
���
�
���P������P
����
�����-��.�����
�������e
_
����
���������
�
������
+�,�e
_
,����
������
�
��.�
����
�
����
����������Pe
_
��,��.�Q�
��.�
���
�QV�����.������Q�
P�-
����
$��P���
��*��
�
��
��W���
P
����
������
�
P��-
������
������
WQ�
����.��
���Q�
� �
�Q����.��-
Q�
P�
�����
����
P�
���P�
��������
�
���
��� -
���
�
�����P�
WQ��
����.��Q
�����
���P��
�
�����
�
�����U����P
���������
��P�����
�
��
P����
||�|||}~ �
�
�����
_
||�||||}
RtT
$�������O��
���P������
����
����,������Q�
P�
����
��+�����-
����
��,������
����.�
*
�����
���P��
�
�����
.��
�
��
||�||||}�
�
������
_
||�|||||}
N
�
P�-
��Q
WQ��
�����*,����Q
��
���
�,�
�
��������O�-
��
�Q��O�����
P�������
�����
��������������-
�Q�
����������
`2a=�
iblk�
h;lk�
ibh;lk
A���-
����
���Q
̀ 2a=
������,��.����*
��
����.���
��-
���,������O��
�����U��
���P�
��P
��
��
PP
�
���
���
*�
����������
"SX�&nS�[�PZ�
#�
������
��-
�������������Q�
����������
iblk�
ibh;lk
��.�
Q
��,��W�
��
��
��
����
������
��������
!
U��
����V���
���W�
�
��
���
�
��
���Q�
���-
���
�
������Q����P
�����P�
��,�����
���,�
*
��-
���U����
����������
�,�
�
�
��������
�
��PP�
��
\nS�Z�
}
�
�����*,���
*
����V��
��
��,����
��.�-
�
����Q�
��������
����
�
��
�,�����
����
������
D�����
�
P�
�
*�
.
�
�
�Q����.��
Q�
P�
�����
�������
�W����U����
�
���Q�
�����
���
��
��Q�
P���
WQ
*
�����*,����Q
��
��,����
���Q�
���-
W����
�
��
����
�
#��W����
�
.�
����
�
�
���Q�
�����
��
��� �� �
�
���
��,���
�P����
����
#�-
���P���
W�������
.��
�
��
||�||}
�
�W���
�
�P��-
��
��Q
tt
@
�W�����
����*�QP
����
�������
����-
���P
���P����
��
��� ���
��U��
.�P
�Q����.��
Q�
P��*
�
����W��
R�T
N
�
��,������
��,��
*
��������-
��� O��
P����
�Q�
���
�PQ
�
P��QP�
��,P���P�
�
P�����
%���*���
�����
�������
�Q����.��
Q�
P�-
������
�����
���*+��P�
"||�||||\}&
�
P����
��P
����
���
�q[��
@
�
�����������P
����
�������+�-
.����P
�����������
��,���
��
�
������*��
P����-
����
��,
R�T�
���W��U� �*
��
����.���
�
�������-
��������QP
P�
������P
%
�Q����.��
Q�
P������-
�
�����
��
���
"||�|||}&
���
�q[��
@
�W����U��
P����
�Q�
���W��
R�T
J
������ �
P����
����
���-
W�
���������
�,P������
���++�����
�
)����
_
�
������*��
��,�
�������P��
�
_
��
��� ����
��,��-
���
�����
����
������ ���
��P�-����
�P���
���
��-
��Q�
����������
������.�����
��
���
��� ���
$���W�Q�
�����
��W�������*
�
�
�Q����.��
Q�
P�������
�����
����
"||�||||}&
N
�
�
������
�+-
+��
Q
P���
WQ
*
�����*,����Q
��
��,��W�
��
����-
������*��
���Q�
��
����
�
��������
������
R|T
���*���V��
���QV����
.��
�
Q
P�
�����
P�U�
�����W�
����
*
��V����
� ��
��������Q�
,���.�
�
.
�
���W��PQ
(P�
����.�����
����
������/
R|T
@�����
����
����
�����
�������P��
�
�
P�
�����
���
��� �
�S���
�� Y�P��
.
�
��
������*��
��� ����
~
p���*
�
�����
.��
�
�
P�
�����
����
�
P��
}
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
\
���������
�� ����
������
����
�QV�
��
���������
�
��������������P�
#���.��
P�
����.�����
P�������
�����
�
���
�
�.��
W��*-
V��
������
���W������
���W���
����
�����
"�����-
.��
Q�
�
�
���
����
�����V���Q�
P�������
���&
�
�����W��
���������
����
����P�
�������P��
�
�
����
�����
����������*��
��,��� �
��,��
*
����-
����
����Q�
���W��Q�
�++��
�����
*
��
��Q�
WQ��
WQ
��O��
�����
�QV�
��
���������
�
����������-
�����QP�
�
�
�� �
����
�
����
A�
�����
���
������
�� �Q��O�����
�Q����.��
Q�
����������-
�����Q�
P�������
�����
�� �
�
����P
�,
��U���-
V��
��������.�����
+��
�����
������� �O��
��-
.��
��
P�������
�����
J
.��
���
��
��
�Q��O���-
��
P�������
�����
̀ 2a=
�
�������P
�����*,��
�
����
�,
������
�
������
�.������
��
����
W���
"ur&
!�������
�����
�
��
�������Q�
�����
_
��,P�U-
���
*
,��� ,����
`2a=
���P���P�
������
��U���-
��*���
��������
���P��*�
A�����
���W��PQ�
�� -
,���Q�
�
,��� ,�����P
`2a=�
��
��� �
�
���
��-
���*,������
�����
�,
�Q����.��
���
ur
J
�
U�
���-
P
����
�,
������
��P����
��V����
�
�
����
��*��
����+���
�Q
$��
�P�
��
���*�QP�
�� �
�
���Q
-
��
����.�
*
�������Q�
����
�
,�O�
�QP�
����Q
� -
P��
����
�QP�
��
�
��V����
�
��������
̀ 2a=
J
)^�H
WQ��
�Q������Q
�������Q�
���������-
��
��
�,�.����
�
�����
�
�������Q�
�����
�
��-
��Q
� P�
�,
ur�
l3r
�
a4r
�
��,����
���
������-
���
`2a=
�
.��
���
�����
@��
��� P�
��
�QW���
P�
�������
�
��.��
��
����Q
��
���U���
�P����
�-
��
�������� �
��P��
�����
*�
U����
�����
*�
��P�-
.����
�
�����
*
�
���������
$��
�QW���
����Q
��
�.�
Q�����*
��
�P����
���Q�
���++�����
Q
���-
V����� �
�
��U�
��,P�U���
�
P�
����
��
����.�-
���
���
�Q�
�
�Q����.��
Q�
,�O�
�Q�
����Q
��
$���Q
�
�,
ur
���������*
��,�+�,�QP
P�
���P
RS�T�
����
�,
���
����
�
��
�����
���
��
�
�P�
.
�
������Q�
��O��
���
�����*,��PQ�
��
+��P�����-
��
����Q
���
P���
WQ
*
��������
��*��
�.�O��Q
��
�P
���
��� ���
���
���
�+������
$���Q
�
�,
l3r
�
a4r
���������*
�����-���,P���QP
P�
���P
RSST
J�
����
���.� �
��O���
����Q
��
��
����Q-
V���
�_�
P�P
H��Q
���
�������Q�
������
����Q
Q�
ur�
���-
�������*
�
������ ��
���W��U���Q�
�
������ P
����.���
������������Q�
P�������
�����
̀ 2a=
��
�
�����
���
���������
�����
�
����Q
� P�
l3r
�
a4r
���Q
Q�����*
�
�����*,������P
��������
.��-
���
�����
���
�P����
���
�S����i
�
�.����
�\
.
!�����
,�O�
����
����
��
����Q
��
���
���
��
�
����*�Q�
P�
�������
�
��������P
`2a=
���O��
�-
� ���*
��
�P
���
���
���P����
j3�
u
�
�Q��O���Q�
P�������
�����
�
�,P�����
����.��
����
�������-
������
�
�����U���
�
J
���.��
���
��
�
�����
�
.��
QP
������P
������� ���*
�����U����
���P����
j3�
l3�
a4
�
������
H,
����.���Q�
��,��*
�
��
���*,
WQ��
����.�
*
����,��.����
�
��
�
�W
�++��
�����
�
,�O�
����
����
��
����Q
��
�,-,�
��,W����
,��.����
����
��-
+�,�.�����
����P�
���
P�������
�����
`2a=�
��-
��.��Q
��
��Q�
P����
,�����
*
�
�
������
�������
�Q��O�����
P�������
�����
JP��
�
�
�P
�����-
U����
j3
�
`2a=
�P���
���
�
�.��
��,���
������*
"�SnS�Z\
}�
��U���
������
�W����U���
P���-����
-
��P�
��&�
������PQ�
�
����.���P��
���
����PQP�
���
�����*,������
�����
�,
ur
D����U����
j3
�
�������
�Q���U����P
���
�P����
���
�S����i
�
��-
� �
�
����Q
� P�
�,
l3r
�
a4r�
���
�����
����.���
��
���
��� ���
��U�
��
���������
�
������P�
�W��-
W�
���QP
�
��� �
W�,
����Q
�
D����U����
l3
�
a4
�
������
�
�W���
���.� �
��
�,P������*
����P
�W��,�P�
���P�
�
��
�
��
�
���
������ -
�������
,�����P��
�
�,P�����
����
��+�,�.�����
�����
�
̀ 2a=
���
�����*,������
�������Q�
�����
�
����Q
� P�
�
W�,
����
�����������
��W�
��
����.�-
���
�������Q�
���
�������
�
,�O�
�QP�
����Q
� -
P�
�� �
�
�������
���QP
�
,����U����
������U�-
��
J
������
�.����*
�
�
�
����
�
�
�����V���
��-
�����
���������
��������
����Q
��
��
�����
J������
���
� ������ ���������.�����
��,Q
"a?�
�k�
r��
��
�
�� &
�����*,��
�
�
����-
���� �
����,����
��
�Q����.��
Q�
������������-
���Q�
P�
��������
��
�����*�Q�
P�������P�
���
�-
��������
��
���
�
�
�������
��W������
�
��,�P
_
�Q�����
������*
��
.��
�
Q
%.�
Q�� �
.
�
����-
���
������
�Q����.��
Q�
��,��
�
P��
�
��
�����*-
,�����
���,W�U��
�������
�
,��� ,�����
��,���
�������
���QP
�����������P
�� �
�
��,�����
��-
���*�Q�
��
����
�
��
�.��
��
��,���
P����P��*��
���W��U���Q�
�
�W{��
�P
��
��W����
#�
������
.��
Q�
P�
�����
�
)^�H
WQ�
��,��-
W�
��
� �
P�
����.�����
��
���Q�
P�
�������
RS�T
H����
�,
�����,�
���W�����Q�
�����
�
��P�.����
��
���Q�
P�
�����
�
��.��
��
P�
������
��
���
WQ��
�QW���Q
�����Q
��
������
�������
�
��+��
"h?_
a4�
h?_a4_LpA�
h?_ok�
h?_ok_LpA�
f7_ok&
N
�
P�
�����Q
�P��
��W�.��
�P����
���
���X[���i
�
P���
���������
��
�����*,���
*�
�����
���
��
-
�
���O��
��P�.�����
��
������
H,
�����,�
P���-����
��P�
��.�����
���������-
���
��
���Q�
�����
�
��,��.�Q�
P�
�������
WQ�
������
�Q����
.
�
���W����
����P��PQP
P�
����-
��P
��
�����*,�����
�
��
����
���
�.��
��
��,��
�� �
�
�����
h?
"�[}&_a4
"S�}&
����Q�
�����
�
��
������
�P����
��
���X[���i
�����O��
V���-
���
����
�
��,��Q�
���P����
"��
�
y�
�
r�
�
��y�
iy�
iy�
�
i�[&
�
�.�O��PQ�
��,��
�
��,��� �
���
���
*
�Q�����
�
�����
��
�.��
��
����
���
��.��*��P
��-
���U����
���P����
�
����.����P
������
�S�Z�
}
��
��
�
�.��
������
����
�����
�.��
��
���U��
-
�
��
�S�Z\
}
H����������
����,����
.
�
��
���
�U���
,�-
�����PQ�
����P�
���
��
���W���
�.��
��
�
�������
��W�
Q
��
���Q�
���P��
Q
P���
�P�
*
������
��*-
��
��W��*V��
��,P��Q
_
��W�.��
�����
����
PP
�
���P�
�
�\_[�
PP
$��
�P�
�
�.�
�P
�,P���
��*-
���
������
��Q
�
����P���
��*����
�W���������
��-
����
��
��
�.��
��
��,��
P�U�
��,P�O�
*�
� ��P
�
��WQP
�W{��
�P
��
��W����
.��
���
��,�
D
��-
���*,������P
�������Q�
��
���Q�
���P��
��
WQ��
��,��W�
��Q
��
������
��
�.��
��
��,���
�����*,�-
�PQ�
��
����.���
�Q����.��
Q�
��O��
��
������
��
���Q�
P�
�����
�
��
�����
�
���������
�� ����
������
����
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
�������������
��
������ ��� ������������
��
���� �������� �����������������
�
��
�������������������
������ �������
����� �����
������ �
���
�� ��������
�
�����������
�
����������
�
��� !����"�����������#��$$��
�������������� ������� ����
��� ���
������� �������
� ����
��������!����
��������
������� �������������� ������
���� "�
��� ����������%�
�$��������&���'��
���"�����
������������
"��
������ ���
��
��
������ �������
���������������(���������������()�*�����
�
#�����(+����
�
����
$$�,�����������
��
#��
����� �
����� �����
��� � ��������������� �
��
���� ��
�����
������ �
����
-��.�����
�!�������/����$���
��������/
�$),�
���������0����$�����#�����(
�
� ��
�"������������1��$
���#��$$��
#
�������� ���������� ���$��� ��� ������� ����� $ ���
%�$ �����
����
���������
��!
� $ �
����������(���
����%
������-��2���$)���
$$�,�����(���)�/�)�������
&������$�������� ����� ����������� ���
���������$
��������� 3�����.� ��
���"�����
�������#��$$��
'���
����
������� �$��� ��������� �
�����
� �� ������ ()!
��
����� �
�� ���!
���� ���-����
%�����"��������������+�
+�)�
�$��
#���
$����� � ������ �����
��� $ �����������* ����������� �������������� ������4���
!����"����������������
������
��� � ��
��������� �
����� ����
���� �����
����
����
�������5���
������4��#6�� ��.�����#6�� ��"�����������7���
�8'�
+���������� ����
����� ��
��� $ �������
������$ ������ ��!
� $ ��
������� ��� ��� �
��$����� ��� ���/�$�
��� �"�������
���1�� �
��
�������
�
��
����
����������
�
��
����
����������
�
��
����
����������
�
��
����
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�������
�
��
����
�����������
�
��
����
�����������
�
��
����
�����������
�
��
����
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
����P
�W��,�P�
���W��P�
����.���
�Q����.��-
Q�
������Q�
P�
�������
P��������
������
����-
�������
��V����
��P������
,���.
_
�
��
������-
��
����
��+�,�.�����
�����
�
P�
�������
�
�� ,�
�
�����U����P
���P���Q�
���P��
���
�
���������-
��
���Q�
�����
�
.��
Q�
P�
�����
_
��
�����V��-
�
������
��������.������
�W���������
�
��
-
����
�
�.��
��
��������.�����
��,��
H����*,������
��,��*
�
���
����.���Q�
�
)^�H�
��,��� �
�U�
��
��.��*�Q�
�
��� �
����,����
��
�,�����
P��������
������
,���U�
*
�����Q
�����-
P�.�����
�++��
�����
�
��������.�����
���������
�
+���������*����
�����
�Q������P��
���������
HD$!B�p!JK##EC
HD�!G#H@H
S ���
Q�
�
�
L�,��W�
��
�Q����.��
Q�
P�
����-
���
��
J
�W 5
D�.����
P�
������,����
��
���
�
���.. _
@���5
#���
��P���
S||�
� #����*���
B
K �
@�������
G
J
$��W��P�
.��
�-
Q
P�
�������
�
����
������
��
JQ����.��
Q�
��O�-
�
�� _
S||� _
�
� _
D
��_��
� A�����
K
J �
���*V���
I
# �
!��������
J
�
#�-
��
��Q�
�����
Q
����.���
P�������
�����
�����,�-
�����O���
��������
�����
�Q�����
.��
�
Q
%�
����-
�����
���
�����
���W����P��
.��
�
Q
P�
������
��
��P
U� _
S||� _
�
S _
D
��_�|
[ @��
��
�
$ �
@�
���
J
C
L�,��W�
���
���������-
���
�
���P������
���Q�
���������������Q�
P�
����-
���
��
JK#�
D��
J����P�
.��
Q�
P�
�����Q�
��������-
������� _
S||| _
�
S _
D
[�_\�
\ ���������
�
^ �
@��
��
�
$ �
KU�U�
J
A
$���.�-
���
�����.��
Q�
������
P�
����� _
A 5
A�
������� �
S|��
� KU�U�
J
A �
@��
��
�
$ �
���������
�
^
$���-
.����
�
P�
����+�,���
���W�
.��
Q�
P�
�����
��
A�-
����+�,
�
�����V��
����� _
���� _
�
���
�
� _
D
�S_�\
t @��
��
�
$ �
@���.����
K
H �
���W��*
K
$
$���-
.����
�Q����.��
Q�
����� �
������
���P�
�
������
��
P��������
������
��
���������
�
����
����������
�
����
������
������
��� _
���S _
�
� _
D
�_�
� $��
�������
�
C �
���������
�
^ �
@�V�����
�
D
J�� ���
.��
�
Q
��
����
��.�����
�����
��
W������
��
JK#�
D��
!WO�
�
�����
+�,��� _
S|�� _
�
S _
D
\\_\�
| D
�����
J
C �
@��
��
�
$
N���
����Q�
�����
��
���W�
.��
Q�
P�������
�����
��������Q�
P�
�����
��
JQ����.��
Q�
��O��
�� _
S|�� _
�
[ _
D
S�[_S�\
S�
H�����
J
C �
#�.��������
C
$ �
@������.��
J
A �
D�������.
J
J
@���
����,���
����������
P�-
�����
�,
��,����
+�,Q _
A 5
K
�P�,��
�
S|t[
SS
�����
J
� �
$������
J
�
L�,��W�
��
�
���������
���Q�
P�
����
�����P-���,P�����
���������
�Q�����
�������
��
J��
���
K#
%DDL _
S|t| _
�
[ _
D
[�_\�
S�
@����*
A
B �
KU�U�
J
A �
�������
A
H
�����-
����
����.���
��
���Q�
����V���
��
���W����
�.�-
�
��
��,��
��
JQ����.��
Q�
��O��
�� _
S||� _
�
[ _
D
S��_SS�
|
| id | oai:tkea.com.ua:article-1315 |
| institution | Technology and design in electronic equipment |
| issn | 3083-6549 |
| keywords_txt_mv | |
| language | Somali |
| last_indexed | 2026-08-12T01:01:09Z |
| publishDate | 2002 |
| publisher | PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers |
| record_format | ojs |
| resource_txt_mv | wwwtkeacomua/11/deaa89a19ae36d1f345707da5544ae11.pdf |
| spelling | oai:tkea.com.ua:article-13152026-08-11T15:29:27Z Integrated approach to obtaining high-purity materials for microelectronics Комплексный подход к получению высокочистых материалов для микроэлектроники Azhazha, V. M. Kovtun, G. P. Nekljudov, I. M. high-purity materials GaAs getter materials process gas purification высокочистые материалы GaAs геттерные материалы очистка технологических газов The paper presents the results of numerical simulation of the electrophysical properties of GaAs depending on the content of residual impurities, and describes physical refining methods for obtaining high-purity Ga, Zn, Cd, Te, Nb, Ta, Zr, and other metals. The results of research on the stability of coated quartz crucibles in GaAs and Ga melts, as well as the results of the development of getter materials based on Zr alloys for process gas purification, are provided. The importance of an integrated approach to the problem of high-purity raw materials is demonstrated. Приведены результаты численного моделирования электрофизических свойств GaAs в зависимости от содержания остаточных примесей, изложены физические методы рафинирования для получения высокочистых Ga, Zn, Cd, Te, Nb, Ta, Zr и др. металлов. Приведены результаты исследований по стойкости кварцевых тиглей с покрытиями в расплавах GaAs и Ga и результаты разработок геттерных материалов на основе сплавов Zr для очистки технологических газов. Показана важность комплексного подхода к проблеме высокочистых исходных материалов. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2002-12-30 Article Article Peer-reviewed Article application/pdf https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2002.6.03 Technology and design in electronic equipment; No. 6 (2002): Tekhnologiya i konstruirovanie v elektronnoi apparature; 3-6 Технологія та конструювання в електронній апаратурі; № 6 (2002): Технология и конструирование в электронной аппаратуре; 3-6 3083-6549 3083-6530 uk https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2002.6.03/1214 Copyright (c) 2002 Azhazha V. M., Kovtun G. P., Nekljudov I. M. http://creativecommons.org/licenses/by/4.0/ |
| spellingShingle | высокочистые материалы GaAs геттерные материалы очистка технологических газов Azhazha, V. M. Kovtun, G. P. Nekljudov, I. M. Комплексный подход к получению высокочистых материалов для микроэлектроники |
| title | Комплексный подход к получению высокочистых материалов для микроэлектроники |
| title_alt | Integrated approach to obtaining high-purity materials for microelectronics |
| title_full | Комплексный подход к получению высокочистых материалов для микроэлектроники |
| title_fullStr | Комплексный подход к получению высокочистых материалов для микроэлектроники |
| title_full_unstemmed | Комплексный подход к получению высокочистых материалов для микроэлектроники |
| title_short | Комплексный подход к получению высокочистых материалов для микроэлектроники |
| title_sort | комплексный подход к получению высокочистых материалов для микроэлектроники |
| topic | высокочистые материалы GaAs геттерные материалы очистка технологических газов |
| topic_facet | high-purity materials GaAs getter materials process gas purification высокочистые материалы GaAs геттерные материалы очистка технологических газов |
| url | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2002.6.03 |
| work_keys_str_mv | AT azhazhavm integratedapproachtoobtaininghighpuritymaterialsformicroelectronics AT kovtungp integratedapproachtoobtaininghighpuritymaterialsformicroelectronics AT nekljudovim integratedapproachtoobtaininghighpuritymaterialsformicroelectronics AT azhazhavm kompleksnyjpodhodkpolučeniûvysokočistyhmaterialovdlâmikroélektroniki AT kovtungp kompleksnyjpodhodkpolučeniûvysokočistyhmaterialovdlâmikroélektroniki AT nekljudovim kompleksnyjpodhodkpolučeniûvysokočistyhmaterialovdlâmikroélektroniki |