Модернизация установки фотонного отжига полупроводниковых пластин "Оникс"

The modernization of the "Onyx" industrial photonic annealing system for semiconductor wafers was carried out to ensure the repeatability and reproducibility of short-duration annealing temperature-time cycles at high heating rates. The control program allows forming the temperatur...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Технологія та конструювання в електронній апаратурі
Datum:2002
Heft:6
Сторінки:45-47
ISSN:3083-6549
Автори та афіліації:
  • H. V. Savytskyi — SPA «Karat», Lviv, Ukraine
  • A. Yu. Bonchyk — Ya. S. Pidstrygach Institute of Problems of Microelectronics and Design of NASU, Lviv, Ukraine
  • I. I. Izhnin — SPA «Karat», Lviv, Ukraine
  • S. H. Kyyak — Ya. S. Pidstrygach Institute of Problems of Microelectronics and Design of NASU, Lviv, Ukraine
  • I. A. Mohyliak — Ya. S. Pidstrygach Institute of Problems of Microelectronics and Design of NASU, Lviv, Ukraine
  • I. P. Trostinskyi — SPA «Karat», Lviv, Ukraine
Hauptverfasser: Savytskyi, H. V., Bonchyk, A. Yu., Izhnin, I. I., Kyyak, S. H., Mohyliak, I. A., Trostinskyi, I. P.
Format: Artikel
Sprache:Walisisch
Veröffentlicht: PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2002
Schlagworte:
Online Zugang:https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2002.6.45
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Technology and design in electronic equipment
Завантажити файл: Pdf

Institution

Technology and design in electronic equipment
_version_ 1873277340885188608
author Savytskyi, H. V.
Bonchyk, A. Yu.
Izhnin, I. I.
Kyyak, S. H.
Mohyliak, I. A.
Trostinskyi, I. P.
author_facet Savytskyi, H. V.
Bonchyk, A. Yu.
Izhnin, I. I.
Kyyak, S. H.
Mohyliak, I. A.
Trostinskyi, I. P.
author_institution_txt_mv [ { "author": "H. V. Savytskyi", "institution": "SPA «Karat», Lviv, Ukraine", "orcid": "" }, { "author": "A. Yu. Bonchyk", "institution": "Ya. S. Pidstrygach Institute of Problems of Microelectronics and Design of NASU, Lviv, Ukraine", "orcid": "" }, { "author": "I. I. Izhnin", "institution": "SPA «Karat», Lviv, Ukraine", "orcid": "" }, { "author": "S. H. Kyyak", "institution": "Ya. S. Pidstrygach Institute of Problems of Microelectronics and Design of NASU, Lviv, Ukraine", "orcid": "" }, { "author": "I. A. Mohyliak", "institution": "Ya. S. Pidstrygach Institute of Problems of Microelectronics and Design of NASU, Lviv, Ukraine", "orcid": "" }, { "author": "I. P. Trostinskyi", "institution": "SPA «Karat», Lviv, Ukraine", "orcid": "" } ]
author_sort Savytskyi, H. V.
baseUrl_str https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/oai
collection OJS
container_end_page 47
container_issue 6
container_start_page 45
container_title Технологія та конструювання в електронній апаратурі
container_volume
datestamp_date 2026-08-11T15:29:27Z
description The modernization of the "Onyx" industrial photonic annealing system for semiconductor wafers was carried out to ensure the repeatability and reproducibility of short-duration annealing temperature-time cycles at high heating rates. The control program allows forming the temperature-time diagram of the wafer annealing process according to a preset one with a time setting accuracy of ~0.01 seconds and visual monitoring.
first_indexed 2026-08-12T01:01:26Z
format Article
fulltext ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ������������� ��� ������������� ������� ����� ���� �������� ��� �� ������ ��������� ����� � ��������� ���������������� �� ������������������������ � ���� ���������� ����������� ����� �� ���� ������ �! ������������ ��������� � ��� ��� !"# ��$�� $������ ���������� ��� �%�� ������� ��%��&��� ���������'������� ���(����� � &�� ��� �� )*+ ��� ����� ���%�� ���� � (��,���� -� �� ./01 2����� ��� ������3�� �� �����,%����� ���� � ��� �� �� %���� ���4'� ������ � ������� �'����'��� ,5 ���� ��&����� ������ ��� �� ���3�'� 6�� ��4� /7 �89� ������� ��� �� ���� ,5 ������ ��� � �'���� ��������&������ :���� � '������� � ���� ��,��� ���� � �� ���:���� � ������� ����%��'� ��,��� ,5� & � �(����&���� � ����������� ��� �� � ��53��� ��������&������ �(���'����� 1 2'���� ������' ����� � ��������&����� � ��� $���� �� � � (���� ���4��� �� ������� �� ����� ����5 � ��������1 ;�� ������� ������ ���� ���� ����'� ��%��4���� �� ������ %� �&� �������� "# � ��������� �1 < � ��%'�� '������ ��,��� ��'��� � � ��� �����'���� ����������� �:������� � 4��� � ��� �� � ��%���� ���(��'���� , %�3� � ������� ��� � ��� �(�&��� ����&����� � 4��� ��� �����,� %����� �� �'�� �����,����� � 4���1 ;��������� �����,���� �� �&����� ������� '� � 4��� ������������������ � ��� �� '�� � ' ������3�� � �� ��������5 � ��'�:������ ��� ��&����� � 4����1 =��(���� ������� ��������� ��� �'��� �� � � �����,���� ��%����� � ��������� � ��� 6>� �����9 � 4��1 ?������ �� � ��&� %���5&�� 5 � � ��%��&��� � ����� ��������� �&��� � ��� �� ��%��&��� ��� ��� � �� ��� �������� ��%��&��� '��� ��,��� � �����,��� .�01 @�����%� ��%������ �����,����� � 4��� �� %���� � � ��� � ���������� � �����'�53�� ���� ����%�:��� ����'�������� ��� �� ������ 6 ������� � 4��9 .A0� ��� � �(��%������� ���� ������'���&��� ���%�� ������� ��� ��� � .�01 B�� � �&�� ����� ���� ���:���� 6��� � '�� /�C� �9 ���� � ��� %��&� ��,���� ����������� '�����5 ������ ��������� ������ & � �(���������� �(��%������ ��%��� ���>����1 ��� �� ����� ��'�� � � ��� ��%������ � 4��� �� � � �� & � &��%��&���� ��� ���� ������ , >�%���� ����(��%������ �����'� � @2BDE=�FGH�I J)�G=2*K� L2�2==2?2 2�M�?G ;2NJ;E2*2B=�K2*OP ;NG)��= Q2=�K)R "!��!��!��!�#!� !�$% &'"&()��!��!��!��!�%!�*!�+,-.&") �!��!��!��!�&!�&!�&/-&-)��!��!��!��!�$!�#!�"&0") &!�%!��,#&10")�&!��!�23,$2&-$"&( J������� �1 N,���� �;; @@ =G=J� =;; SK��� S T�U!VWX YZ![!\]^!Z!\1W_V_1`! B� � ��� ������ � ��'��:�5 /�1�a ���� �1 2������ �!��!��!� !�#!� 43+&'"&( 6=�� @;� �1 K���9 �(��%�����5 ���,�� ������������� ��� ���� ����'� � ��� &��� ��%����5 %��&� ��,��� ������� '�>����� :��1 ;�� ��� ��� ����� ����&����� �(��(� �� (�'� �����'� , � ����� ����������� ����������'�����5 ��������1 ;�� �����,���� ��������� ��� 6>� �����9 � 4�� ��� � � ��&�� � ��%������� ���:��� � 4��� �������'� � ���'�� >�%� ��� ����� ������ '�� ��,��� � �����,� ���� ����'� ��� &��� �(��%�: ��������� � �� ��5 ��� 3���1 ��� �� ������ �� ��������5 � �(�&��� ����� &����� � 4����� ���:��� ����� ����� '�>�� ��� � ���� ��� �����'� %��&� ��,�� (�� ��� 6��� '�� '�� �� �����'9� ��� ��� >� ����� � 4�� �� �������4'�� � '�>>�%��� ��%�������� ���>�� ������ ��������� �������1 2(3�� ������3�� ��� '� �(��� ���� �����,� ����� � 4��� ��� ����� �� ����� �� � � ������ � ����, �� ���:�� ��������� �� ��� ���(��4�� � � /1 ;�� ��� � ��(� �� ��������� �����,������ � ���(����� � >� ������� � 4��� �� � � �� ���,��� %�'�&�� � ������ ��%��(� �� �(3��� ��������&��� ���� ���:���� ��%'��� ������������ ��������� !"#�� ��� ��1 J&� ��� ����5 '�� ��,��� , ���:���� � ����� ��� ������ � ����� ��� ������ ���� �������%��� '���� � :���� � :���� ��%��, � � ��4�� ����&� , ��$, ��� �����,%������ �� ��� �%��������� ���� �� >� ������ � 4��� � ����,5 ����� ���������� ��1 E�%��(� �� ���� ��� ��� � (��� �������� :�� �,5 '����� ��(� �1 J� ������ >� ������ � 4��� S2����S ���'��� %��&��� '� ��� ������������ � 4��� ����� �����'������� ���� �� '���� ��� '� a� ��1 2 4�� �������'� � ������� 6'� /�C� �� � 1 � 19 ��� � %�� 3� ��� ��� �&��� � ���>��� 6$ � ��� ��4��9 ��� �� � ������� �%� � 6��� ����� '��� ��%��91 �����,�� ��� ������ ��� ������� �(b��� ��(�&�� ������ � '��4� ���� ���� �� �������'� � ����3,5 �������� ��� ���� ��3��� ,5 / �* � �� ���������� �� '�� � , � ��4'�� � ����� ������ 6�(3� ��3��� , �� �* 91 K����� ����4'�� � ��� �&��� ��'��1 B� �(����&��� ������������ ��������� ���� :����� � 4��� ���� �� �� �� ������ S2����S (��� ��%��(� ��� � �%�� ������ ���:���,�� ��� ��� �� (�%� c*@ ������ ����� ����,5 ���1 )�� ��� ��� �� �% �%���� ��,���� (���� � ��� ������� ���'���� ����(��%��� �� �� 6PG� ����� �� ������������� ��� ������������� ������� ����� ���� ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � ���� � ����� � ��������� ����'��� ����� � >� �� '��'9 � ������ � � ����,5 ���� 5�6������91 E�%��,� � � ��(� � � ��� ���,�� �����, ��������� � �� (��4�5 � �� ������ '����� 561 * ��� �� �%���� ��,���� (���� ���' >���:��� ���,�� %����&����� ��'���� ��(������ �� ��&� ��� ��� �� ��%������ /��×/�� ��X ��'��, '����':� �� ��%� '���� ���,�������,���� ��������:�>������ ����(��%��� �� 55� � ���'�� �� ����� ��'��5&��� ����� ��, ��� � ����� ��� 57�'� �%������ �1 '1 �1 PG� ��������� ����� ��, ��� � ����� ��� 58 '� ������� ������� >� ���������� 59d ��'��� :�>��� ����������� ����(��%��� �� :�'� ���������� >�� %������,���� ���� ����� ����� ���� ��3��� �d �������� � ;1 *�� ��'��� ���5 ��%��� >������� ������ (�%���� �'���� � ������ 5 � �����'��� � ����,5 ��� �� �(3�� ���,����%� '��� $���� �'� ����� 7� '����� 6 � �����' <� 6ef� ge� eThTi9� �� ���� >������5 � �� ��>������ ��'���� 81 =��(��'���� ���� 4��� �� ��� ��� ���5 �� �(� 3�� $���� = � (���� 5>1 �� ��>��� ��4'� ����,5 ���� � �%���� ��,��� (����� ������%���� � ����3,5 '��� ��'���� 9 � 8� �'�� �% �� ���� 6G/9 �� ��� � � � ���(�'��� ��� jh" $��� ����,5 ���� � � ���� 6G�9 7 � �'�� �% ��� �� ���$����� �%���� ��,���� (���� .�01 @�� '��� G/ � G� ���'�� 5 � ��(���� '����� '� /� � � �(��%�5 '�������������� ���,����%� '��� �� �� &���� ��%� %����� ��������,��� ����� �(���� � ���� �����,��� ������ ,5 ����'�&� ��� �(�� k�1 F� ���� �� �� ��>������� ��'�� G/ � jlm no %���%����� ������ �'���� A��pTq7A�rpTq1 2(��3���� �� �'� ���� A��=DP >������� � ����� G� �'��� >���:��� ���,���� ��'�� �� �'������ $��� 7��%���� ��,��� �� (����1 ;�����,��� , � �� �����:�� ��4�� ���� ��� �������� , & ����� �� �'���� A�/=DP1 ;� �'��� �� A��=DP �������'� �(��� '������ �� $��� '��� ��� 6� ��� � ��� �� ���� ��4�� ������ �������� , & ����� �� �'���� A�A=DP1 * ����� �� ��>���� '������ ��,�� ���'�� ���� �������������� ����� ��� �s�*��A 6(�%���� �'� ��� A�s=DP9 '� ��������� ��������%�:�� ��%��&� ��� � �'�� ���:���� � 4��� � �%������ ������� � '�� � �&��� ��%'�� 53�� �����(��� ,5 � >����� ������� ������ ���� %������ �� ���������� �� ��� ��� jet/�1 G����� �� &�� , ��%��(� ����� ��� ��� �(����� &���� X 7 ��4�� �������� ��������� ��3��� ,5 ���� ����� �� ��� ���������� ���� � ����3,5 ����� ������ >�%������,����� ����� ���d 7 �%������� ������ ��� ���>� ����� '��4� �� � � ���� ���� � ����3,5 ����(�������� ������� �� � ����� � ���������� ����'���� ���:��� � � ���'���� ��,��� ����� ���� ��� � ����� ���1 7 �%������� ����� ��� ����� �� ��� � ��(�&�� ������ � ����3,5 >� �'��'� LB���Kd 7 ��������5 ��������%�:�5 ���:����� �%����� �� ������ ��� � ������������ ��3��� � ���� 6'����� ��� , �%������� 7 /��k�� ��%'�� 53� ���� ��(��� , 7 /� ��%� '��9d 7 ��� ���, ��� � �� ��� �� �� ������ 6������� ����&�� ��'�� ��� �� ��%�� (��������� � '�����91 J��������� ���:����� � 4��� ��4� (� , ������%����� �� '��� ��%��&��� ������ � ���1 * ������ ������ � ������ 53� ��������� � �� ������� ���/ � ��&��� � �4�'����� %��&���� ������ ��� ���>� ����� '��4� �� � � 4������� ���� ���� � ��� �� � ��� � %�'����� ������ ����� ��������� ��4���� � 4��� 6������91 ��>����:� � 1 IBM PC ISA ���� 15 ����� 2 �� ���� �� 3 �� ��� �� 14 ���� 12 ���� �� ��-��� 7 ��� 10 ���� ������� 4 5 6 9 11 ����� �������!" ��# ��� ���$�% ��$�& 13 ���� 8���&����%% �' E��1 /1 u��������� ��� ��� ����,5 ������ ��������� �� ������� � 4��� /��� s�� ��� ��� ��� � � s /� /� �� *��� � � � �� � �� � � � �� v ) E��1 �1 ;����� ������ �������������� '������� �� ���:���� >� ������ � 4��� !"# ���������� ��� ��������� � ��� ��� ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �a ������������� ��� ������������� ������� ����� ���� ��������� ��� ���� �������� ���������� � � ����,��� ������ ��� '��4� �� ���'� � � ����,5� �� �� ������ wP� �������� 7 ���'���� ��,��� ���� �� ��, J;�/ 7 GH;x � ��������� � � ��&������ ��� %��&����� %�'��� 1 E�%��:� � �� ����&�� ����� '�� ������, ��� � ����� ���� 4��� �� ����'� HG;� ������ � �� ����� ��� ���� �� >�%������,�� ��� ���� ����� ����� �� ��� ����� �� ��� ����� ������ ����1 ;�����:�����,����� �����'�>>����� :���,��� %���� ��������� ��3��� ,5 >� ������ ������� �� >������� � ����������� ����' �% ��� ��,��� '�����&����� ����� ���� �� ��(�&�� ����� �� �� ������ S2����S1 *� � ���� ���&�� �����%�� � � 4�� ����(������ ��� ��� ���� �����,���1 ;�� � �� ���������� �%� ��� � � � � �(���%���� � ��3��� , >� ������ ��� ����� �� � ������, �� ���� �%��� � � � ����3,5 >� �'��'�� J;�� � GH;� � ����,�� ������ ��� '��� 4� �� ���� � ��� ������� � ������� ��������1 J����� 53� ��������� ��%��� � >�������� , ������ �������������5 '�������� ���:���� � 4�� �� ���� �� �� %�'����� � �&��� ,5 �� �������� ������� y���/ � ��� ����� ����� ������� � 4��� '� /�� � � ������ ��� � 4��� '� /���v) � ��%���,��� ��� ����� ���������� ��'� %�'��� � ����,��� ��� ���� ��� '��4� �� �� ������ '����� 1 E�%��, � � ������ ���� ���������� � ���� (� , ��������� �� 4�� ��� '���� 6pff9 � �����,%����� � '��,���$�� ���:����� ��� � �������1 zzz ;����'���� ��'����%�:� �� ������ �����,���� �� >� ������ � 4��� w2����x ��%��� � � ������� �&��� ,5 � �������%��'���� ,5 �����%����� , ��� �(��'���� ������ �������������� ��4��� �����,� ����� � 4��� ���������'������� ���� ��� � &�� � ��� �� � ���:���� ��������� ����%��'� �� ������ ������ ��������� !"#�� ��� �� '� �%�� ������ �� �� ������ ��������� ������ ���(����1 K���� ���� �� ������ ��%��� � ����%��'� , ���:�%���� ��� � 4�� ��� �� �� ��� �%�� ������� �����'���� ��,���� �(��%:��1 �);2N{F2*G==OD �)�2+=�K� /1 p`[#|}ZY}Z e1 1� pVZ#^~ �1 !"# �V}W��}��}^\ \Z![#V#� \�Z# �V\~ V�[ VU|W![\}� ^~![[}W# kk TW}^\Z�[1 �}\\1C /�aA1C ��W1 �� � ��1C n1 �aaC�as1 �1 ?� �� F1 �1� 2����',�� )1 G1� u�(�:��� I1 *1 ��� ���,���� ��%����� � 4�� ������������ ��������� ��� �������'������� �� ������� kk F���(�4�� ���� ���� �� ������1C /�sA1C � �1C )1 AC�s1 A1 g��� e1 n1� VW}# 1 T1 m!^Z�#^�|V^ \~}�Z� �� |`W#}� W!#}Z ![[}!WV[Y1 /1 i~}ZU!W \Z![#|�Z\ ![� U}W\V[Y kk n~�#1 e}_1 6l91C /�s/1C ��W1 �A� � �1C n1 ��AC��a1 �1g![\}W}\ p1� �![ �}^~\}[ �1 "1 o!ZZV}Z �V��`#V�[ V[ #}UV^�[�`^\�Z #`r�}^\ \� W!ZY} YZ!�V}[\# �� }�V\}� ^!ZZV}Z �}[#V\� kk jrV�1C /�s/1C ��W1 �A� � /�1C E1 ���/C���a1 �1 u��&�� 21 �1� c4��� c1 c1� K� � )1 ?1 � ��1 G� ��� �� %������ �������� '� '����'4��� ���� ��>�%�&��� ���� � ���� �� ����������'������� �� ������� kk F(1 ����1 ���:, L�%����������&���� ��� � ��1 ?1 *1 K������� =G=J� )��1 wL�%�&�� �� �'� � %���(� ��� ���5 ����'���3� �� ������� � ����(��x1C ����1C *��1 a1C )1 �A�C���1 �������� ��� � ���� ��� ��������� �������� ������ ������ ����������������������� � ��� ������� ���������� �� ��!�� � � ��!������ �������� ������ ���� �� �� ���� "���!��" ������ ��#�������������������"���� ��$�����"���!��" ������ � ���� ����%���� "����� &��×&'(���� �������� ������������ ���������������������� � ��� ����������� �����!� )�����!�*�������� ��� � � �� �+���������������� ��� !���� �����,����������� � ���� ��������������� ���� ��� �� ������ ����� � �&�� ��� � �� ������� ��� � �$�������� �� ��� � ������� � �� ����� ��� ��� ����$�����������-�!�� ���� ���������� ����� ��� ��� ��� ������������. � ��� �������������� �/��0����� � � � �� � ���1 �������������� ������ �� ����� �������-����� ��� !����������������������� ��������234567689�:65;� -���������� ���� ������ ��$�������&���$� �������� �� ������ �������������+<� =���� ��������� ���$��� ��$�� �������� ������� � ���� ���� ��������������� ���������� �����������$�� �� ���� ���" !� !#!���!�$ �� �� � �$���� ������������>?@� A936B�%��� �&��!��!'����)�� �� ��� ���� ����� ������� ���� ������"���� *��C� ��$����������:65;��������� �����+��� �����������$���� ������� � ��������� D ������ ��� �������� ������� ������(!�$ )*� ������� ������������� EF������ ���G��� ���������/( +�"��*���� ����� $�"����� ����HIJ+�KHL+�MNO+�:2O+ IPQ��R��" � � ������� �� �� ������� � �������,!� ��&!� ��*�-&�����*.��!#�*!� , �������������� ������ �� � ������ �� ��� ��� � S�TA3UV�/0123451662781/ �W��X���� ������� �� �� ������ ������� �� ��� ��������)"�� �+� ��+���� ������+����������� ���*+�� ����������. ���� �������� ����%� ��������������$�� � ��� ������!�� ������+ ������ ������ ��������� �� ���� +���TA3U+��� �"���+ �� �"������ �����$ +����� ������ �� �<��C� �������.�.�� �+ ������!�����$� �������� � ������������!������������ ���������+��� ����� ������� ����1�� �������$�� ���� � �������$������� ���� �� � ��� ������������ ���� �
id oai:tkea.com.ua:article-1336
institution Technology and design in electronic equipment
issn 3083-6549
keywords_txt_mv
language Welsh
last_indexed 2026-08-12T01:01:26Z
publishDate 2002
publisher PE &quot;Politekhperiodika&quot;, Book and Journal Publishers
record_format ojs
resource_txt_mv wwwtkeacomua/c3/b1334bcce02f12f79e9fb73eebf220c3.pdf
spelling oai:tkea.com.ua:article-13362026-08-11T15:29:27Z Modernization of the &quot;Onyx&quot; photonic annealing system for semiconductor wafers Модернизация установки фотонного отжига полупроводниковых пластин &quot;Оникс&quot; Savytskyi, H. V. Bonchyk, A. Yu. Izhnin, I. I. Kyyak, S. H. Mohyliak, I. A. Trostinskyi, I. P. photonic annealing semiconductor wafers system modernization temperature-time cycles control program фотонный отжиг полупроводниковые пластины модернизация установки температурно-временные циклы, управляющая программа The modernization of the &quot;Onyx&quot; industrial photonic annealing system for semiconductor wafers was carried out to ensure the repeatability and reproducibility of short-duration annealing temperature-time cycles at high heating rates. The control program allows forming the temperature-time diagram of the wafer annealing process according to a preset one with a time setting accuracy of ~0.01 seconds and visual monitoring. Проведена модернизация промышленной установки фотонного отжига полупроводниковых пластин &quot;Оникс&quot; для обеспечения повторяемости и воспроизводимости температурно-временных циклов отжига малой длительности при высоких скоростях нарастания температуры. Управляющая программа позволяет формировать температурно-временную диаграмму процесса отжига пластин по заданной с точностью установления времени ~0,01 секунды с визуальным контролем. PE &quot;Politekhperiodika&quot;, Book and Journal Publishers 2002-12-30 Article Article Peer-reviewed Article application/pdf https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2002.6.45 Technology and design in electronic equipment; No. 6 (2002): Tekhnologiya i konstruirovanie v elektronnoi apparature; 45-47 Технологія та конструювання в електронній апаратурі; № 6 (2002): Технология и конструирование в электронной аппаратуре; 45-47 3083-6549 3083-6530 uk https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2002.6.45/1236 Copyright (c) 2002 Savytskii G. V., Bonchyk A. Yu., Izhnin I. I., Kyjak S. G., Mogyljak I. A., Trostynskii I.A. http://creativecommons.org/licenses/by/4.0/
spellingShingle фотонный отжиг
полупроводниковые пластины
модернизация установки
температурно-временные циклы
управляющая программа
Savytskyi, H. V.
Bonchyk, A. Yu.
Izhnin, I. I.
Kyyak, S. H.
Mohyliak, I. A.
Trostinskyi, I. P.
Модернизация установки фотонного отжига полупроводниковых пластин &quot;Оникс&quot;
title Модернизация установки фотонного отжига полупроводниковых пластин &quot;Оникс&quot;
title_alt Modernization of the &quot;Onyx&quot; photonic annealing system for semiconductor wafers
title_full Модернизация установки фотонного отжига полупроводниковых пластин &quot;Оникс&quot;
title_fullStr Модернизация установки фотонного отжига полупроводниковых пластин &quot;Оникс&quot;
title_full_unstemmed Модернизация установки фотонного отжига полупроводниковых пластин &quot;Оникс&quot;
title_short Модернизация установки фотонного отжига полупроводниковых пластин &quot;Оникс&quot;
title_sort модернизация установки фотонного отжига полупроводниковых пластин &quot;оникс&quot;
topic фотонный отжиг
полупроводниковые пластины
модернизация установки
температурно-временные циклы
управляющая программа
topic_facet photonic annealing
semiconductor wafers
system modernization
temperature-time cycles
control program
фотонный отжиг
полупроводниковые пластины
модернизация установки
температурно-временные циклы
управляющая программа
url https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2002.6.45
work_keys_str_mv AT savytskyihv modernizationofthequotonyxquotphotonicannealingsystemforsemiconductorwafers
AT bonchykayu modernizationofthequotonyxquotphotonicannealingsystemforsemiconductorwafers
AT izhninii modernizationofthequotonyxquotphotonicannealingsystemforsemiconductorwafers
AT kyyaksh modernizationofthequotonyxquotphotonicannealingsystemforsemiconductorwafers
AT mohyliakia modernizationofthequotonyxquotphotonicannealingsystemforsemiconductorwafers
AT trostinskyiip modernizationofthequotonyxquotphotonicannealingsystemforsemiconductorwafers
AT savytskyihv modernizaciâustanovkifotonnogootžigapoluprovodnikovyhplastinquotoniksquot
AT bonchykayu modernizaciâustanovkifotonnogootžigapoluprovodnikovyhplastinquotoniksquot
AT izhninii modernizaciâustanovkifotonnogootžigapoluprovodnikovyhplastinquotoniksquot
AT kyyaksh modernizaciâustanovkifotonnogootžigapoluprovodnikovyhplastinquotoniksquot
AT mohyliakia modernizaciâustanovkifotonnogootžigapoluprovodnikovyhplastinquotoniksquot
AT trostinskyiip modernizaciâustanovkifotonnogootžigapoluprovodnikovyhplastinquotoniksquot