Модернизация установки фотонного отжига полупроводниковых пластин "Оникс"
The modernization of the "Onyx" industrial photonic annealing system for semiconductor wafers was carried out to ensure the repeatability and reproducibility of short-duration annealing temperature-time cycles at high heating rates. The control program allows forming the temperatur...
Saved in:
| Published in: | Технологія та конструювання в електронній апаратурі |
|---|---|
| Date: | 2002 |
| Issue: | 6 |
| Pages: | 45-47 |
| ISSN: | 3083-6549 |
| Author Affiliations: |
|
| Main Authors: | , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Welsh |
| Published: |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
2002
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2002.6.45 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Technology and design in electronic equipment |
| Download file: |
|
Institution
Technology and design in electronic equipment| _version_ | 1873277340885188608 |
|---|---|
| author | Savytskyi, H. V. Bonchyk, A. Yu. Izhnin, I. I. Kyyak, S. H. Mohyliak, I. A. Trostinskyi, I. P. |
| author_facet | Savytskyi, H. V. Bonchyk, A. Yu. Izhnin, I. I. Kyyak, S. H. Mohyliak, I. A. Trostinskyi, I. P. |
| author_institution_txt_mv | [
{
"author": "H. V. Savytskyi",
"institution": "SPA «Karat», Lviv, Ukraine",
"orcid": ""
},
{
"author": "A. Yu. Bonchyk",
"institution": "Ya. S. Pidstrygach Institute of Problems of Microelectronics and Design of NASU, Lviv, Ukraine",
"orcid": ""
},
{
"author": "I. I. Izhnin",
"institution": "SPA «Karat», Lviv, Ukraine",
"orcid": ""
},
{
"author": "S. H. Kyyak",
"institution": "Ya. S. Pidstrygach Institute of Problems of Microelectronics and Design of NASU, Lviv, Ukraine",
"orcid": ""
},
{
"author": "I. A. Mohyliak",
"institution": "Ya. S. Pidstrygach Institute of Problems of Microelectronics and Design of NASU, Lviv, Ukraine",
"orcid": ""
},
{
"author": "I. P. Trostinskyi",
"institution": "SPA «Karat», Lviv, Ukraine",
"orcid": ""
}
] |
| author_sort | Savytskyi, H. V. |
| baseUrl_str | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/oai |
| collection | OJS |
| container_end_page | 47 |
| container_issue | 6 |
| container_start_page | 45 |
| container_title | Технологія та конструювання в електронній апаратурі |
| container_volume | |
| datestamp_date | 2026-08-11T15:29:27Z |
| description | The modernization of the "Onyx" industrial photonic annealing system for semiconductor wafers was carried out to ensure the repeatability and reproducibility of short-duration annealing temperature-time cycles at high heating rates. The control program allows forming the temperature-time diagram of the wafer annealing process according to a preset one with a time setting accuracy of ~0.01 seconds and visual monitoring. |
| first_indexed | 2026-08-12T01:01:26Z |
| format | Article |
| fulltext |
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
��
�������������
���
�������������
�������
�����
����
��������
���
�� ������ ���������
����� � ��������� ����������������
�� ������������������������ �
����
����������
����������� �����
�� ����
������ �!
������������
���������
�
���
���
!"#
��$��
$������
����������
���
�%��
�������
��%��&���
���������'�������
���(�����
�
&��
���
��
)*+
���
�����
���%��
����
�
(��,����
-�
��
./01
2�����
���
������3��
��
�����,%�����
����
�
���
��
�� %����
���4'�
������
�
�������
�'����'���
,5
����
��&�����
������
���
��
���3�'�
6��
��4�
/7
�89�
�������
���
�� ����
,5
������
���
�
�'����
��������&������
:����
�
'�������
�
����
��,���
����
�
��
���:����
�
�������
����%��'�
��,���
,5�
&
�
�(����&����
�
�����������
���
��
�
��53���
��������&������
�(���'����� 1
2'����
������'
�����
�
��������&�����
�
���
$����
�� �
�
(����
���4���
��
�������
��
�����
����5
�
��������1
;��
�������
������
����
����
����'�
��%��4����
��
������
%�
�&�
��������
"#
�
���������
�1
<
�
��%'��
'������
��,���
��'���
�
�
���
�����'����
�����������
�:�������
�
4���
�
���
��
�
��%����
���(��'����
,
%�3�
�
�������
���
�
���
�(�&���
����&�����
�
4���
���
�����,�
%�����
��
�'��
�����,�����
�
4���1
;���������
�����,����
��
�&�����
�������
'�
�
4���
������������������
�
���
��
'��
� '
������3��
�
��
��������5
�
��'�:������
���
��&�����
�
4����1
=��(����
�������
���������
���
�'���
�� �
�
�����,����
��%�����
�
���������
�
���
6>�
�����9
�
4��1
?������
��
�
��&�
%���5&��
5
�
�
��%��&���
�
�����
���������
�&���
�
���
��
��%��&���
���
���
�
��
���
��������
��%��&���
'���
��,���
�
�����,���
.�01
@�����%�
��%������
�����,�����
�
4���
�� %����
�
�
���
�
����������
�
�����'�53��
����
����%�:���
����'��������
���
��
������
6
�������
�
4��9
.A0�
���
�
�(��%�������
����
������'���&���
���%��
�������
���
���
�
.�01
B��
�
�&��
�����
����
���:����
6���
� '��
/�C�
�9
����
�
���
%��&�
��,����
�����������
'�����5
������
���������
������
&
�
�(����������
�(��%������
��%���
���>����1
���
��
�����
��'��
�
�
���
��%������
�
4���
�� �
�
��
&
�
&��%��&����
���
����
������
,
>�%����
����(��%������
�����'�
�
@2BDE=�FGH�I
J)�G=2*K�
L2�2==2?2
2�M�?G
;2NJ;E2*2B=�K2*OP
;NG)��=
Q2=�K)R
"!��!��!��!�#!� !�$% &'"&()��!��!��!��!�%!�*!�+,-.&")
�!��!��!��!�&!�&!�&/-&-)��!��!��!��!�$!�#!�"&0")
&!�%!��,#&10")�&!��!�23,$2&-$"&(
J�������
�1
N,����
�;;
@@
=G=J�
=;;
SK���
S
T�U!VWX
YZ![!\]^!Z!\1W_V_1`!
B�
�
���
������
�
��'��:�5
/�1�a
����
�1
2������
�!��!��!� !�#!� 43+&'"&(
6=��
@;�
�1
K���9
�(��%�����5
���,��
�������������
���
����
����'�
�
���
&���
��%����5
%��&�
��,���
�������
'�>�����
:��1
;��
���
���
�����
����&�����
�(��(�
��
(�'�
�����'�
,
�
�����
�����������
����������'�����5
��������1
;��
�����,����
���������
���
6>�
�����9
�
4��
���
�
�
��&��
�
��%�������
���:���
�
4���
�������'�
�
���'��
>�%�
���
�����
������
'��
��,���
�
�����,�
����
����'�
���
&���
�(��%�:
���������
�
��
��5
���
3���1
���
��
������
��
��������5
�
�(�&���
�����
&�����
�
4�����
���:���
�����
�����
'�>��
���
�
����
���
�����'�
%��&�
��,��
(��
���
6��� '��
'��
��
�����'9�
���
���
>�
�����
�
4��
��
�������4'��
�
'�>>�%���
��%��������
���>��
������
���������
�������1
2(3��
������3��
���
'�
�(���
����
�����,�
�����
�
4���
���
�����
��
�����
�� �
�
������
�
����,
��
���:��
���������
��
���
���(��4��
�
�
/1
;��
���
�
��(�
��
���������
�����,������
�
���(�����
�
>�
�������
�
4���
�� �
�
��
���,���
%�'�&��
�
������
��%��(�
��
�(3���
��������&���
����
���:����
��%'���
������������
���������
!"#��
���
��1
J&�
���
����5
'��
��,���
,
���:����
�
�����
���
������
�
�����
���
������
����
�������%���
'����
�
:����
�
:����
��%��,
�
�
��4��
����&�
,
��$,
���
�����,%������
��
���
�%���������
����
��
>�
������
�
4���
�
����,5
�����
����������
��1
E�%��(�
��
����
���
���
�
(���
��������
:��
�,5
'�����
��(�
�1
J�
������
>�
������
�
4���
S2����S
���'���
%��&���
'�
���
������������
�
4���
�����
�����'�������
����
��
'����
���
'�
a�
��1
2
4��
�������'�
�
�������
6'�
/�C�
��
�
1
�
19
���
�
%��
3�
���
���
�&���
�
���>���
6$
�
���
��4��9
���
�� �
�������
�%�
�
6���
�����
'���
��%��91
�����,��
���
������
���
�������
�(b���
��(�&��
������
�
'��4�
����
����
��
�������'�
�
����3,5
��������
���
����
��3���
,5
/
�*
�
��
����������
��
'��
�
,
�
��4'��
�
�����
������
6�(3�
��3���
,
��
�*
91
K�����
����4'��
�
���
�&���
��'��1
B�
�(����&���
������������
���������
����
:�����
�
4���
����
��
��
��
������
S2����S
(���
��%��(�
���
�
�%��
������
���:���,��
���
���
��
(�%�
c*@
������
�����
����,5
���1
)��
���
���
��
�%
�%����
��,����
(����
�
���
�������
���'����
����(��%���
�� ��
6PG�
�����
��
�������������
���
�������������
�������
�����
����
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
����
�
�����
�
���������
����'���
�����
�
>�
��
'��'9
�
������ �
�
����,5
����
5�6������91
E�%��,�
�
�
��(�
�
�
���
���,��
�����,
���������
�
��
(��4�5
�
��
������
'�����
561
*
���
��
�%����
��,����
(����
���'
>���:���
���,��
%����&�����
��'����
��(������
��
��&�
���
���
��
��%������
/��×/��
��X
��'��,
'����':�
��
��%� '����
���,�������,����
��������:�>������
����(��%���
��
55�
�
���'��
��
�����
��'��5&���
�����
��,
���
� �����
���
57�'�
�%������
�1
'1
�1
PG�
���������
�����
��,
���
� �����
���
58
'�
�������
�������
>�
����������
59d
��'���
:�>���
�����������
����(��%���
��
:�'� ����������
>��
%������,����
����
�����
�����
����
��3���
�d
��������
�
;1
*��
��'���
���5
��%���
>�������
������
(�%����
�'����
�
������ 5
�
�����'���
�
����,5
���
��
�(3��
���,����%� '���
$����
�'�
�����
7�
'�����
6
�
�����'
<� 6ef�
ge�
eThTi9�
��
����
>������5
�
��
��>������
��'����
81
=��(��'����
���� 4���
��
���
���
���5
��
�(�
3��
$����
=
�
(����
5>1
��
��>���
��4'�
����,5
����
�
�%����
��,���
(�����
������%����
�
����3,5
'���
��'����
9
�
8�
�'��
�%
��
����
6G/9
��
��� �
�
�
���(�'���
���
jh"
$���
����,5
����
�
�
����
6G�9
7
�
�'��
�%
���
��
���$�����
�%����
��,����
(����
.�01
@��
'���
G/
�
G�
���'�� 5
�
��(����
'�����
'�
/�
�
�
�(��%�5
'��������������
���,����%� '���
��
��
&����
��%� %�����
��������,���
�����
�(����
�
����
�����,���
������
,5
����'�&�
���
�(��
k�1
F�
����
��
��
��>�������
��'��
G/
�
jlm
no
%���%�����
������
�'����
A��pTq7A�rpTq1
2(��3����
��
�'�
����
A��=DP
>�������
�
�����
G�
�'���
>���:���
���,����
��'��
��
�'������
$���
7��%����
��,���
��
(����1
;�����,���
,
�
��
�����:��
��4��
����
���
��������
,
&
�����
��
�'����
A�/=DP1
;�
�'���
��
A��=DP
�������'�
�(���
'������
��
$���
'���
���
6�
���
� ���
��
����
��4��
������
��������
,
&
�����
��
�'����
A�A=DP1
*
�����
��
��>����
'������
��,��
���'��
����
��������������
�����
���
�s�*��A
6(�%����
�'�
���
A�s=DP9
'�
���������
��������%�:��
��%��&�
���
�
�'��
���:����
�
4���
�
�%������
�������
�
'��
�
�&���
��%'�� 53��
�����(���
,5
�
>�����
�������
������
����
%������
��
����������
��
���
���
jet/�1
G�����
��
&��
,
��%��(�
�����
���
���
�(�����
&����
X
7
��4��
��������
���������
��3���
,5
����
�����
��
���
����������
����
�
����3,5
�����
������
>�%������,�����
�����
���d
7
�%�������
������
���
���>�
�����
'��4�
��
�
�
����
����
�
����3,5
����(��������
�������
��
�
�����
�
����������
����'����
���:���
�
�
���'����
��,���
�����
����
���
� �����
���1
7
�%�������
�����
���
�����
��
���
�
��(�&��
������
�
����3,5
>�
�'��'�
LB���Kd
7
��������5
��������%�:�5
���:�����
�%�����
��
������
���
�
������������
��3���
�
����
6'�����
���
,
�%�������
7
/��k��
��%'�� 53�
����
��(���
,
7
/�
��%� '��9d
7
���
���,
���
� ��
���
��
��
������
6�������
����&��
��'��
���
��
��%��
(���������
�
'�����91
J���������
���:�����
�
4���
��4�
(�
,
������%�����
��
'���
��%��&���
������
�
���1
*
������
������
�
������ 53�
���������
�
��
�������
���/
�
��&��� �
�4�'�����
%��&����
������
���
���>�
�����
'��4�
��
�
�
4�������
����
����
�
���
��
�
���
�
%�'�����
������
�����
���������
��4����
�
4���
6������91
��>����:�
�
1
IBM PC
ISA
����
15
�����
2
��
����
��
3
��
���
��
14
����
12
����
��
��-���
7 ���
10
����
�������
4
5
6
9
11 ����� �������!"
��# ���
���$�% ��$�&
13
����
8���&����%% �'
E��1
/1
u���������
���
���
����,5
������
���������
��
�������
�
4���
/���
s��
���
���
���
�
�
s
/�
/�
��
*��� �
�
�
��
�
��
�
�
�
��
v
)
E��1
�1
;�����
������
��������������
'�������
��
���:����
>�
������
�
4���
!"#
����������
���
���������
�
���
���
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
�a
�������������
���
�������������
�������
�����
����
���������
���
����
��������
����������
�
�
����,���
������
���
'��4�
��
���'�
�
�
����,5�
��
��
������
wP�
��������
7
���'����
��,���
����
��
��,
J;�/
7
GH;x
�
���������
�
�
��&������
���
%��&�����
%�'��� 1
E�%��:�
�
��
����&��
�����
'��
������,
���
� �����
���� 4���
��
����'�
HG;�
������
�
��
�����
���
����
��
>�%������,��
���
����
�����
�����
��
���
�����
��
���
�����
������
����1
;�����:�����,�����
�����'�>>�����
:���,���
%����
���������
��3���
,5
>�
������
�������
��
>�������
�
�����������
����'
�%
���
��,���
'�����&�����
�����
����
��
��(�&��
�����
��
��
������
S2����S1
*�
�
����
���&��
�����%��
�
�
4��
����(������
���
���
����
�����,���1
;��
�
��
����������
�%�
��� �
�
�
�
�(���%����
�
��3���
,
>�
������
���
�����
�� �
������,
��
����
�%��� �
�
�
����3,5
>�
�'��'��
J;��
�
GH;�
�
����,��
������
���
'���
4�
��
����
�
���
�������
�
�������
��������1
J����� 53�
���������
��%��� �
>��������
,
������
�������������5
'��������
���:����
�
4��
��
����
��
��
%�'�����
�
�&���
,5
��
��������
�������
y���/
�
���
�����
�����
�������
�
4���
'�
/��
�
�
������
���
�
4���
'�
/���v)
�
��%���,���
���
�����
����������
��'�
%�'���
�
����,���
���
����
���
'��4�
��
��
������
'����� 1
E�%��,
�
�
������
����
����������
�
����
(�
,
���������
��
4��
���
'����
6pff9
�
�����,%�����
�
'��,���$��
���:�����
���
�
�������1
zzz
;����'����
��'����%�:�
��
������
�����,����
��
>�
������
�
4���
w2����x
��%��� �
�
�������
�&���
,5
�
�������%��'����
,5
�����%�����
,
���
�(��'����
������
��������������
��4���
�����,�
�����
�
4���
���������'�������
����
���
�
&��
�
���
��
�
���:����
���������
����%��'�
��
������
������
���������
!"#��
���
��
'�
�%��
������
��
��
������
���������
������
���(����1
K����
����
��
������
��%��� �
����%��'�
,
���:�%����
���
�
4��
���
��
��
���
�%��
�������
�����'����
��,����
�(��%:��1
�);2N{F2*G==OD
�)�2+=�K�
/1
p`[#|}ZY}Z
e1
1�
pVZ#^~
�1
!"#
�V}W��}��}^\
\Z![#V#�
\�Z#
�V\~
V�[
VU|W![\}�
^~![[}W#
kk
TW}^\Z�[1
�}\\1C
/�aA1C
��W1
��
�
��1C
n1
�aaC�as1
�1
?�
��
F1
�1�
2����',��
)1
G1�
u�(�:���
I1
*1
���
���,����
��%�����
�
4��
������������
���������
���
�������'�������
��
�������
kk
F���(�4��
����
����
��
������1C
/�sA1C
�
�1C
)1
AC�s1
A1
g���
e1
n1�
VW}#
1
T1
m!^Z�#^�|V^
\~}�Z�
��
|`W#}�
W!#}Z
![[}!WV[Y1
/1
i~}ZU!W
\Z![#|�Z\
![�
U}W\V[Y
kk
n~�#1
e}_1
6l91C
/�s/1C
��W1
�A�
�
�1C
n1
��AC��a1
�1g![\}W}\
p1�
�![
�}^~\}[
�1
"1
o!ZZV}Z
�V��`#V�[
V[
#}UV^�[�`^\�Z
#`r�}^\
\�
W!ZY}
YZ!�V}[\#
��
}�V\}�
^!ZZV}Z
�}[#V\�
kk
jrV�1C
/�s/1C
��W1
�A�
�
/�1C
E1
���/C���a1
�1
u��&��
21
�1�
c4���
c1
c1�
K� �
)1
?1
�
��1
G�
���
��
%������
��������
'�
'����'4���
����
��>�%�&���
����
�
����
��
����������'�������
��
�������
kk
F(1
����1
���:,
L�%����������&����
���
�
��1
?1
*1
K�������
=G=J�
)��1
wL�%�&��
��
�'�
�
%���(�
���
���5
����'���3�
��
�������
�
����(��x1C
����1C
*��1
a1C
)1
�A�C���1
��������
���
�
����
���
���������
��������
������
������
�����������������������
�
��� �������
����������
�� ��!�� �
� ��!������
��������
������
����
��
��
���� "���!��"
������
��#�������������������"����
��$�����"���!��"
������
�
���� ����%���� "�����
&��×&'(����
��������
������������
����������������������
�
��� �����������
�����!�
)�����!�*�������� ��� �
�
��
�+���������������� ���
!����
�����,�����������
�
����
��������������� ����
���
��
������ �����
�
�&�� ��� �
��
�������
��� �
�$�������� ��
���
�
�������
�
��
�����
���
���
����$�����������-�!��
����
����������
����� ���
���
��� ������������.
�
���
��������������
�/��0�����
�
� �
��
�
���1
��������������
������
��
�����
�������-����� ���
!�����������������������
��������234567689�:65;�
-����������
����
������
��$�������&���$� ��������
��
������
�������������+<�
=����
���������
���$���
��$��
��������
�������
�
����
���� ���������������
����������
�����������$��
��
����
���" !� !#!���!�$ ��
��
�
�$����
������������>?@�
A936B�%��� �&��!��!'����)��
�� ���
����
�����
�������
����
������"����
*��C�
��$����������:65;���������
�����+��� �����������$����
�������
�
���������
D
������
���
��������
�������
������(!�$ )*�
�������
�������������
EF������
���G���
���������/(
+�"��*����
�����
$�"�����
����HIJ+�KHL+�MNO+�:2O+
IPQ��R��"
�
�
�������
��
��
������� �
�������,!� ��&!�
��*�-&�����*.��!#�*!�
,
��������������
������
��
� ������ �� ���
��� �
S�TA3UV�/0123451662781/
�W��X����
�������
��
��
������
�������
��
���
��������)"��
�+�
��+����
������+����������� ���*+��
����������.
����
��������
����%�
��������������$��
�
��� ������!��
������+
������
������
��������� ��
����
+���TA3U+���
�"���+
��
�"������
�����$
+�����
������
��
�<��C�
�������.�.��
�+
������!�����$�
�������� �
������������!������������
���������+��� �����
�������
����1�� �������$��
����
�
�������$�������
���� ��
�
���
������������ ����
�
|
| id | oai:tkea.com.ua:article-1336 |
| institution | Technology and design in electronic equipment |
| issn | 3083-6549 |
| keywords_txt_mv | |
| language | Welsh |
| last_indexed | 2026-08-12T01:01:26Z |
| publishDate | 2002 |
| publisher | PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers |
| record_format | ojs |
| resource_txt_mv | wwwtkeacomua/c3/b1334bcce02f12f79e9fb73eebf220c3.pdf |
| spelling | oai:tkea.com.ua:article-13362026-08-11T15:29:27Z Modernization of the "Onyx" photonic annealing system for semiconductor wafers Модернизация установки фотонного отжига полупроводниковых пластин "Оникс" Savytskyi, H. V. Bonchyk, A. Yu. Izhnin, I. I. Kyyak, S. H. Mohyliak, I. A. Trostinskyi, I. P. photonic annealing semiconductor wafers system modernization temperature-time cycles control program фотонный отжиг полупроводниковые пластины модернизация установки температурно-временные циклы, управляющая программа The modernization of the "Onyx" industrial photonic annealing system for semiconductor wafers was carried out to ensure the repeatability and reproducibility of short-duration annealing temperature-time cycles at high heating rates. The control program allows forming the temperature-time diagram of the wafer annealing process according to a preset one with a time setting accuracy of ~0.01 seconds and visual monitoring. Проведена модернизация промышленной установки фотонного отжига полупроводниковых пластин "Оникс" для обеспечения повторяемости и воспроизводимости температурно-временных циклов отжига малой длительности при высоких скоростях нарастания температуры. Управляющая программа позволяет формировать температурно-временную диаграмму процесса отжига пластин по заданной с точностью установления времени ~0,01 секунды с визуальным контролем. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2002-12-30 Article Article Peer-reviewed Article application/pdf https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2002.6.45 Technology and design in electronic equipment; No. 6 (2002): Tekhnologiya i konstruirovanie v elektronnoi apparature; 45-47 Технологія та конструювання в електронній апаратурі; № 6 (2002): Технология и конструирование в электронной аппаратуре; 45-47 3083-6549 3083-6530 uk https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2002.6.45/1236 Copyright (c) 2002 Savytskii G. V., Bonchyk A. Yu., Izhnin I. I., Kyjak S. G., Mogyljak I. A., Trostynskii I.A. http://creativecommons.org/licenses/by/4.0/ |
| spellingShingle | фотонный отжиг полупроводниковые пластины модернизация установки температурно-временные циклы управляющая программа Savytskyi, H. V. Bonchyk, A. Yu. Izhnin, I. I. Kyyak, S. H. Mohyliak, I. A. Trostinskyi, I. P. Модернизация установки фотонного отжига полупроводниковых пластин "Оникс" |
| title | Модернизация установки фотонного отжига полупроводниковых пластин "Оникс" |
| title_alt | Modernization of the "Onyx" photonic annealing system for semiconductor wafers |
| title_full | Модернизация установки фотонного отжига полупроводниковых пластин "Оникс" |
| title_fullStr | Модернизация установки фотонного отжига полупроводниковых пластин "Оникс" |
| title_full_unstemmed | Модернизация установки фотонного отжига полупроводниковых пластин "Оникс" |
| title_short | Модернизация установки фотонного отжига полупроводниковых пластин "Оникс" |
| title_sort | модернизация установки фотонного отжига полупроводниковых пластин "оникс" |
| topic | фотонный отжиг полупроводниковые пластины модернизация установки температурно-временные циклы управляющая программа |
| topic_facet | photonic annealing semiconductor wafers system modernization temperature-time cycles control program фотонный отжиг полупроводниковые пластины модернизация установки температурно-временные циклы управляющая программа |
| url | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2002.6.45 |
| work_keys_str_mv | AT savytskyihv modernizationofthequotonyxquotphotonicannealingsystemforsemiconductorwafers AT bonchykayu modernizationofthequotonyxquotphotonicannealingsystemforsemiconductorwafers AT izhninii modernizationofthequotonyxquotphotonicannealingsystemforsemiconductorwafers AT kyyaksh modernizationofthequotonyxquotphotonicannealingsystemforsemiconductorwafers AT mohyliakia modernizationofthequotonyxquotphotonicannealingsystemforsemiconductorwafers AT trostinskyiip modernizationofthequotonyxquotphotonicannealingsystemforsemiconductorwafers AT savytskyihv modernizaciâustanovkifotonnogootžigapoluprovodnikovyhplastinquotoniksquot AT bonchykayu modernizaciâustanovkifotonnogootžigapoluprovodnikovyhplastinquotoniksquot AT izhninii modernizaciâustanovkifotonnogootžigapoluprovodnikovyhplastinquotoniksquot AT kyyaksh modernizaciâustanovkifotonnogootžigapoluprovodnikovyhplastinquotoniksquot AT mohyliakia modernizaciâustanovkifotonnogootžigapoluprovodnikovyhplastinquotoniksquot AT trostinskyiip modernizaciâustanovkifotonnogootžigapoluprovodnikovyhplastinquotoniksquot |