Контактообразующие пленки боридов и нитридов титана в арсенидгаллиевых СВЧ-приборах

The thermal stability of ohmic and rectifying contact systems AuGe—Ta—Au, AuGe—TaNₓ—Au, AuGe—TiBₓ—Au, AuGe—TiBₓ—Mo—Au, and Ti—Au, TiNₓ—Au, TiBₓ—Au to n-type gallium arsenide epitaxial structures with a thickness of 3–5 μm and a carrier concentration of (5...6)·1015 cm–3 is considered. I...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Технологія та конструювання в електронній апаратурі
Datum:2002
Heft:6
Сторінки:54-56
ISSN:3083-6549
Автори та афіліації:
  • V. N. Ivanov — Research Institute «Orion», Kyiv, Ukraine
  • R. V. Konakova — V. Ye. Lashkaryov Institute of Semiconductor Physics, NAS of Ukraine, Kyiv, Ukraine
  • V. V. Milenin — V. Ye. Lashkaryov Institute of Semiconductor Physics, NAS of Ukraine, Kyiv, Ukraine
  • M. A. Stovpovoi — Research Institute «Orion», Kyiv, Ukraine
Hauptverfasser: Ivanov, V. N., Konakova, R. V., Milenin, V. V., Stovpovoi, M. A.
Format: Artikel
Sprache:Vietnamesisch
Veröffentlicht: PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2002
Schlagworte:
Online Zugang:https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2002.6.54
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Technology and design in electronic equipment
Завантажити файл: Pdf

Institution

Technology and design in electronic equipment
_version_ 1873277338732462080
author Ivanov, V. N.
Konakova, R. V.
Milenin, V. V.
Stovpovoi, M. A.
author_facet Ivanov, V. N.
Konakova, R. V.
Milenin, V. V.
Stovpovoi, M. A.
author_institution_txt_mv [ { "author": "V. N. Ivanov", "institution": "Research Institute «Orion», Kyiv, Ukraine", "orcid": "" }, { "author": "R. V. Konakova", "institution": "V. Ye. Lashkaryov Institute of Semiconductor Physics, NAS of Ukraine, Kyiv, Ukraine", "orcid": "" }, { "author": "V. V. Milenin", "institution": "V. Ye. Lashkaryov Institute of Semiconductor Physics, NAS of Ukraine, Kyiv, Ukraine", "orcid": "" }, { "author": "M. A. Stovpovoi", "institution": "Research Institute «Orion», Kyiv, Ukraine", "orcid": "" } ]
author_sort Ivanov, V. N.
baseUrl_str https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/oai
collection OJS
container_end_page 56
container_issue 6
container_start_page 54
container_title Технологія та конструювання в електронній апаратурі
container_volume
datestamp_date 2026-08-11T15:29:27Z
description The thermal stability of ohmic and rectifying contact systems AuGe—Ta—Au, AuGe—TaNₓ—Au, AuGe—TiBₓ—Au, AuGe—TiBₓ—Mo—Au, and Ti—Au, TiNₓ—Au, TiBₓ—Au to n-type gallium arsenide epitaxial structures with a thickness of 3–5 μm and a carrier concentration of (5...6)·1015 cm–3 is considered. It is shown that contacts with TiNₓ, TaNₓ, and TiBₓ layers slightly change their parameters after heat treatment at 550°C for 1 hour. Contacts with Ti and Ta layers change their characteristics sharply during heat treatment at 550°C.
first_indexed 2026-08-12T01:01:25Z
format Article
fulltext �� �������� � ��� �� ������������������ �������� ������� �� � ������ ����� ������� ����������������������������� �������������� �������� � � �� !�� ����� "����������������������� �� � �� � #$%�����&' ��$�� � ( ��) ����������������������������� ��� ���� ������������������ �������� ����� �������� * �� ���� �( ����+,,�-"� ��.��,/0�+1+* 2&34567�839:5 ;5<= >4 ("+�1(�""?@1A*BC,D 0ED+(,�?"@,�"F�,�+,�@,�"F��,�1+1 F�1@%D+,�G1EE,DFHI�%FJ&0@,?"@1I ��������������������� !"����"��� � #��� $� �%&'�(�!()* $���������&$�� � �����+,-./01/+,��+,-./012$/+,� +,-./034$/+,��+,-./034$/56/+,� 03/+,��032$/+,��034$/+,���7' ���� �!"� �&�����8��8��������� ��� 9�!! (� +��K���������L�� ��������M�������� �����& � � ��� ��L��� � ����L��%FJ&�� N����� � ��� ���M& �L�����K������ ���������������K���� ������O�� K ���N��K�K ���P������������������� O�� ��Q���O� ���Q���L����R��K ����� �K��K O�� �� �N��M���L� ���� ���� �S4T9�������U�� �� ����L��Q�� ���� �O�& ����� �����V����M����K�������N�QL�������N������& ��N����M��� ����LU��������K��������� ���� ����& K��M�L������� ���� �������� �G������� Q�� ��W �������� ��K������������� �R�Q��N��Q���� �����K & O�� �� �N��M���L�� ���� �������N���� ���N�O ����K& ��������%FJ&�� N����#���O���K��� ��M�� ������ ��& ������ �� �- ���O �.���O ���� � �����K���������K�V�� ��!��X����Q������LU��M���N�O��) �@�U�� �������Q�& ��O ������P������Q��O ���M���� �� O������R Q �& ������� O�� �� ��������� �� � ������� O�� � ��Q��N��� ���N�NP���L����������NQ�����Y!WZ[ (� � Q���������������� ���� ���O��� ���� ���N��& Q��P ��K���� ��L�� � ����� ���������������� � & ����� O�� K �����������K���� QK��� ����� �����& �� ���� �����N���������Q���� ��� O����� RR�Q & ���W���KLK�NL���LK���������K���� ����P K� ���Q& ��U�� ���� N��� �?��MU���O���M���N������ ���� & ��K����������������������� ����� ��K���� QK� �"�& �� ��� �Q����M��O������������M������V�����������& O�� ���Q���O��� ��������M�������� �M���V������M& �L���RR� �L������LK �K�����K ����������� ��� �� �& ���MQ���� ���� �O������ ���� �����K��R�L��K����& ����� ��� O ������������ ���M���� Q �����K������& ����R�Q��� ����������\��� K���� ����� � ����� � R& R�Q ���� �������� ��� �� ��#���� K���]5^ � )����& N�����L�� �����O���� �������� O�� � ����������� ��Q�����P� ����Q�����M��O��M���� ��#≤���Å)�����& ����L����� �]5^ � \���Q��� �� ���� ��L��� ���K�����& K�PM��� � � ��L�� �� �� ��L��R�Q��� ����� � K���������� V�����N�����L�� ���O�L��������� O��& ������������R��K ����� ����������L����������& ��� ����� ���������� F�������P�K����NP�� �����Q���O����U����������& K�PM���K��R�L������� �N�� ���� �� �� ����� ���� F� �O������ ������ ��K���� ��������R��K ��& ��� ���K O�� �� �N��M���L�� ���� ���� �& ���MQ���� �M� �� �� � ��M�L�� ���� ���L� ����� �� ��� �����P ����_���W`�K K�:&� ����� ��������� & ������ ������ #� �)a!�!��KX` �b� ����� ���L��L��& P ��� �M�����������P �� ����� Q�� ���P �����& ��V �� '����� O�� �� ���� �L������ � �M�K�����K�K� & �������� ������L��� ������K��R������ �������K�& ���� Q ��������� ������� �� *F+&Z�@� � F� ��N�O�� �K��������������� �� ���� ����NL���������������� K� �������� ���������������� K���M�����R������� �O �� �#,/")����������� ��N��Q��� "N��Q�L��������L��� �� ��� � �M�������� �� �& ���L���������� ���������� ������M��� �K��� �#+�� �& �����M�K�V����������� ���M���������� �� )�(���& ���M���Q�������R � �����M����� �������������M& ���������NLK�K� �������LK� ���� ����K� ������& � ��,/" +��L��� �� ���� ��������N��Q������ Q��� ���M ������������M�����K� �������L�� ���� ����������& ������Q��������������������M���� ���������� ���M& �����O �� ������������� �,/"�������K�������� & O�� �K�� ���N�Q�����U�� ���� ��K� @�N�O��� �K����������� ���M����� ��K �������M �L�� ��� ��K�LK� K��� �����LK� ������K� ��� ���& ��� �������V���a!�XZKK��� ��� ��� ���� ����������c% A���K� �K��������V�����M���� �K���������K������& �L����� Q��� ��������� �Td���������� ���a!�X`�KK �� ��� � ���� Q��� ���M����L��� �� ���� ��� ,��������� �M�������P �� ���� ��L��� ���KL7 ���� �K O�� �� ���� ����T>S<We4WT>�� T>S<W e�f$WT>��T>S<We5g$WT>��T>S<We5g$WhiWT>� ����L�����L��� �M������ �� � ��M�L������ ���L��� ���� Q�� ���P��������V � ����P ���T>� �S<�!j�� �̀ ���Å����������������\����P ���e4��e�f$��e5g$����& ���!����Å��hiW����Å��T>W�����Å �@�V K�����L& ��� ��e�f$��e5g$�NL���LN������ ��O���R��K �������M �K��R�������� � �0������������ �� ���� �����N��Q& �L������� �� �M����K��N��N�� ���� ����c%�����O�& � ��!�K ������������ �'�����K�R���� �� ��R � Q& ������� �M�������L���N��Q�L����� QK���� �� ���� & ��� �������� ���� ��K�����K��������P���� � 0����� QK���� �K� ���� ��L�������� ���� �������& ��� �� �������M� �� KK��� O����M�F1I �"N��Q�L�� �K O�� K � ���� ��K ������� �� �M����K O�� �� �N��N�� ����� ���K������������������� ����c%�����O�& � ��O��� ������� �� � ������ ����� ������� ����������������������������� �� �������� � ��� �� ������������������ �������� ����R��K ����� ��N��M���L�� ���� �����LN ��& � �M��� �� � ��M�L������ ���L�S4T9�����������P�� �����V � �F� �O�������L���K���P �� ���� ���� �& ���MQ���� �M��� ���KL�e5WT>��e5f;WT>��e5g k WT> �e5g;WhiWT>�� ����L������� � �M��������������M �� �� � ��M�������� ����P �������� �e5��e5f;� e5g;���������M�!����Å��hiW����Å��T>W�����Å %��������L������V� ����L�������K O�� �� ��& �� ��T>S<We5g$WT>�� ����L�������� ��������K�& �N��N�� �����������������O�� ��!�K � 0�����R��K ����� �� ���� ���� Q ����� ��� �M K�Q����� ���L�� �K����K�!���K K� � ��N ������K K K�����K�R���� �� ��R � �������� � �0�� Q��� ���M QK���� ��F1I� �lWm&���� ��� �� �� Q� ����L� ��������� �M��L�����N��M����n��� � �R� ���� ��& ��M���� � � �� QK���� �������K�������L����K��N��& N�� �����O�� ��!�O��� F� ������ �� �� �����L� ��Q��M���L� QK���� � ����M�� �������� ���� ���K O�� �� ���� & ���� �:&S4T9���R��K ������L�����������L������ ��& �������� ����������K��N��N�� ����� ��K���� ���K& ������������������� ����c%�����O�� ��!�O��� �,Q��� & ������L������L��� �����O�������M���������� ���& � ���K O�� �� ���� ����� �R��K ������L�� T>S<� ��� � O�� ��� �� ������������� �����L������ ��� "�V ��� ��o���c%���� QK��������� O �L�ρ �"��� � ���K��N��N�� ���� ��o���c%������������� ������ & O �����ρ� ���� ��L������ ������N�R���LK�����K��� ���������� � ����� O�� ������� ������������������& K�� � ��K��R�L����� �e4f;� �e5g;�����������������& � ����� �����K���Q������ Q������������� ������ K����� Q�� �� ��NM� ���� ��������� ���L� ��� ��& �� ��L�������S4T9 "�V ��� ��o���c%�����U��������K���L������ ��& �� ��L������ ��� �0� ����K����N��Q������N�R���LK ����K �e4f;� �e5g;���N������������� ��� ���������& � ��K���� O�� �������V�� ����������V���P���� ������� ��� �K�K����� Q�� ��O����������V������ QK���� �K ���� ���� � � Q�L�<� �����L�� ����& ��� ���L�����K��N��N�� ���� ��o����c%� ���� ��L� ���� ������N�R���LK �����K �e4f;� �e5g; �" �Q�& ���M��O������ ��� � � Q�L������VV���L�� ���� ��L� ���� ����NL��`�W`��K�������Q�L���N��Q���\������ ���K��N��N�� ����� �Q���������LK���WZ��K b� ���Q��M���L������������� V�������������� �� ���M�&�K����LK ����� ��� �� �K �� �����G������� ����������K��N��N�� �� � O����F1I�� ����G���� ���K O�� K � ���� ��K �����������T>We4WT>S<W S4T9&���� ������� ���������V ���� ��o����c%�� ��O�� ��!�O������ ����������� �� � �F �����O���� ��Q��M������� ����� � ���� ����F1I������ ���f&�N& ��Q�L���O���� �F����V�����K��F1I�� �����G������ K����� Q�� ����� ��O��P���N�R���L����� �e4f;� � e5g;������������f&�N��Q�L��� ���� ���Q��O ���M��K �K��MU�� ��� ����� ���Q�������KL���K�P�� ��!W��F F����������� �����L���Q��M���L� QK���� ���L& ���L�N��M����n��� � �R� ����� ����M���� � ���L������ ����T>We5WS4T9��T>We5f;WS4T9� T>We5g;WS4T9� �T>WhiWe5g;WS4T9���� ������ ���K��N��N�� �������V������� �� �F �����O���N��M& ���L���������������Q��M��������K��N��N�� ������& �������������� �������KL������ ��� �"��� ��N��M�& �L� n��� �� �R��K ������L�� �K��R�LK � ����K e5f;� �e5g;��� �QL�������N��������K����� K ��O�K ���� �L�T>We5WS4T9��O�������� ���������������� ������LK �����������"V�&��� ����������� ���� �& � ������O���LK ��� ���� ����T>We5g;WS4T9� e5f;W#e5g;)WS4T9�����N�����Yj��p[ 0� ������L������N� �������L����Q�������������M Q� ��O�� �����������O����L�� ������N �M���� � ��& � �L���Q�����$K�����WS4T9$� ������� � ����� � �& ���MQ���� ������N�L�� ���� ��L������ ����������& Q��� �����K����N �M�L���� N�������N��M���K�n��& � �+�N�����K������� ��� ���������� ��K���� O��& �������V�� ����N��M���L������ ��������� ����& P�����������V ���� ��o���c%� �������� ��� � K����� Q�� ������LQL���������� �����P��������� �� ����� �����K������N��M����n��� qqq �� K��N��Q�K�� � ��� �Q�� ���U � ��������� �� K�� ������L���K O�� �� ���� �L�T>We�f;#e5g$)W T>S<WS4T9� � �L���K���P �� ���� �L� T>W e5f;#e5g;)WS4T9�K� ������N �M�����N����M��� ���K& ����������������c%�N�Q� QK���� ����� �� O�� ����& ��K����� ��N� ���! =��!"������'��� %!�� ��ρ��� #��� $���������%���:�-1+> ρ,����� 2 ���� �� ��� �� ������ ��� �- � � 500°� 550°� 600°� Au—Ta—AuGe—GaAs 10–5 10–5 10–3 7·10–3 Au—T�Nx—AuGe—GaAs 10–5 10–5 10–5 3·10–5 Au—TiBx—AuGe—GaAs 10–5 10–5 10–5 3·10–5 Au—Mo—TiBx—AuGe—GaAs 10–5 10–5 10–5 2·10–5 ��N� ���� �&��������"����ϕ � � �������� ���!"���� �:�� ���&$ ���8��8�� ��� � '��!��������������� ��� �- ��� 500º� 550º� 600º� ������������� � ����� � ��, �� n ��, �� n ��, �� n ��, �� n Au—Ti—GaAs 0,70 1,18 0,75 1,10 0,72 1,22 0,57 2,45 Au—TiNx—GaAs 0,60 1,08 0,60 1,08 0,67 1,15 0,68 1,37 Au—TiBx—GaAs 0,78 1,23 0,78 1,23 0,78 1,25 0,76 1,30 Au—Mo—TiBx—GaAs 0,78 1,20 0,78 1,20 0,78 1,23 0,76 1,30 ?��T ��j ��� � X��� X! ������ �����! ���������������`���������������������@��g F1I�� ���� G����� �� �K O�� K � ���� ��K � T>We4W T>S<WS4T97 AW�������K��N��N�� \�BW����������K��N��N�� ��� ��o���c% �� �������� � ��� �� ������������������ �������� ������� �� � ������ ����� ������� ����������������������������� ,%0"ErA"F1++HD�,%�"J+,(, ! �1���� �� ��� ����K ����� ���� ����0������ �+ �1����& �� ���* �* ��K��� W�' 7�' ���!pjj � �n���' �%����K���L���� N��L���������������� ��� ��& � � W�' 7�' ���!pp! ` �G��M�N�� �B �1 �"K O�� �� ���� ��K�����W����������& � �1`F� �'�������Q��� �� �������������/�0 W!pp� W�� ��j� ��!� W�% �!�j!W!�pj � �G��M�N�� �B �1��0�����D �1 �"N��Q���� ���K O�� � �� ��& �� ��������������������L��� ���� ����� ��� �����n��� ��� �������S4T9� �S4s������K�V� W�!ppj W�� �`������ W�% ����W ��� � �ht8>du�S ��T>d<v�w �x ��h<t<d�y �2 ��zi>{�l �y �]>334dt�i| ]}~ivv;t�84dd5<d�~<5u~v��4v4�i��<�5v4k5466t�udi{��:&�4���C&S4T9��� e~5��]i65��w5639 W�!ppj W�mi6 �`�� W�s �!j!W!j� � �T~3<��h �h �2||<}v�i|�95�v<d5�u�i��T>�e5WS4T9�]}~ivv;t 84dd5<d� 9>835}di�� 3<v46&9<35}i��>}vid� |5<6�&<||<}v� vd4�959vid9 }~4d4}v<d59v5}9����� �m4} �]}5 �e<}~�i6 �g W�!ppj W�mi6 !���f�� W s � ��`�W��`Z Z � '�VR�Q�L�� �Q� K������� �� � K���� QKL� �� ����� � � ���� ������K�����W��s� �K�����WS4T9���0������ �@ �F �(��� �& ���� �G �% �(����O�� ��� W�( ��7�,,"�,/0�+1+*��!pp� j �gi6vi=<v9�f �] ���i�4;i=4�� �m ��h56<�5��m �m �<v�46 �si{<d ]}~ivv;t�84dd5<d��5i�<9�T>We5g;X:W:�WS4T9����l~<359vdt�|id ]>9v45�486<�x<=<6i�3<�v W����! Wmi6 �p W�s �Z�WZZ p �h56<�5��m �m ��2d3i6i=5}~�� �g ���i�4;i=4�� �m �<v �46 ��<4}v5i�9 8<v{<<���~49<9�4���<6<}vdi�5}��di}<99<9�4v� v~<�e5g;#e5f;)WS4T9 ~<v<di9vd>}v>d<9� 5�v<d|4}<9� ��� � � �id<4�� s~t9 � ]i} W� !ppp W mi6 �`���f�� W�s �9��ZW9��� ����������� ����������� ��������� ������ ������������ ���������� �� � ���� ���� ��� ������� �� ������� �������� ���� ������� � ��������� ������� ���� ��� � ������� ������� ������ �� � �� ����� ���� ��!� � �� ����� �������" �� ������ ��� � �������� � ! ���� ������ ��� ������ � �� ������� ������# $�� ������ �� � ���� �� ��� ����� ��� ������ � �� � � ���� �� � �� ���� �������� �� ! ���� � �������� �� ���� ��"!���� ��% ��� ����������# & � ��� �� ����� � ������� � ��� ' �� ������ �� � ��� � ����� ���������� ����� � ����� ����������� � ! ��� � ������������� ������� ��� � � �������� �������� ��� ��� ���� � � ������ � ����� � ��� � ������ # (����� �������� ���������� � � ���� ������� ��������# )� ! ��� �� � ����� � ���� �� ��� ��� � ���� ���� ������ �� ������ �� ���� �� ������� �� ���� � � ������ ���� ���� � ������ ��� *� ���� �� ���� � ���������� � �������� ���� ���� ���������� � �������� ��� ��� ������ � ���������# &���� �� �������� ����� +$��� �� ��� �������� � �� ������� + ,# -# , �������� ���� ���� ���� �� ���� ��� ������������ ��* � �� � ������� ���� � ���� ���� ������� ��������� �������� ���������� �������� � �� ����� ����� ���� ����� ������������� .$) � ����� �� ��� �������� �� ��������� �� ���� ���������� ������ � � ,# -# , �������# ������������� �� ����� �� ���������#' /� �0 1& 23 ��4� 5665#' 789 �# :���# 5;� ���# ;;<� ����# ;<8 ����# ��� ���� �������� � ������� �� ��������� ����� ������� � �������� ����� ���# , ���� �� ������ �� ���� * �� ������ � ����* ��� � ������� ����� � ������ ���� ������� � ! ��� � ��������� ���� � ����� ����� ��� ����� � � ������ ������ � ����� � ��� ������ � ����� � ������ �������� � ������ ����� � �� ���� ������# &��� � �� �������� �� ������ ����� � � � �� ��� ���� �� ������ ��� � ������� ������ ����� � � � ������������� � ��� ���� ���"� ��������� ��*�� � �� ��������� ������ ��� ! � �� � ��� �����* ��� ����� ��� ����� � �� ���� � �� � �� �� ����� # , � � ������ �� ���� ���� ������ � ���� ����� �� �� ����* �� ��� ����� � �� ���������" ���������� ����� � �# =������� � ����� ���� �������� �� ������� ������ �� ������ ' +�� ���� ��� ��� � ����! ��" � � �������� ���� � �������� � ����������� + ' ������� � �������� �� ��� � � ��� ����������� ��� � ���* ���� ������������# >����� ��������� �����0 ���� � ���� �� � �������� ���� � ����� ������ ����������� �� ���� � ������� ������� �� ����� � �� ����"��� � �������� ��� ��� � �� ����� ��� ��� ������ � �� � ���� � ������ �� �� ��������� � � ����� �� �� ��� ����� �� ���� � ���� ����� � � � ��� ���� # )� �� � ��� ����� ��� ��� ������ � ������� �� ������ ������" ����� � ����� ������� �� �� ����� �� � �� � ������� ��� ����� � � ��# /���� ,# -# , �������� ���� ��� � ���� �� ������� �� � ������� ��������� ��� �� ��� ��� ! �� ���� � � � � �����* ��� � ������� �� ��� �������� ����������� � �� � ������ � �� � � ������ ����� � � �� � ���� �� ����� �� �� � ��� ?7,<� ��� � �� � ��* � � ������� � � � �� ����� � �� �������������� ��� ������# /���� � ����� ������ ��� �� ��! ����"!�� ����� � ����� ��� ��� �����# @ �� �� � ��� � �� ������� � ����� � ��� �� ������ ���� � ����� ����� ��� � �������� ��� ��� ����� ������# 1�*�� � ��� ������� �� ���� ����� �������� �� �� � ��� ����� � � ��� �� �� ���� ����� � ���� ��� � �� ���� � ��" � ����� ��������# /���� ,# -# , �������� �� � � ����� ��*�� ��� �����*� ��� �� � ��� ���� ������� �� ������ ���� �� ������ � �� � � ��� ��� ��� ��* � ��� �� �������� � ������ ������� ��� � ���� ���� �� ������ �� ���������� ���� � ������� ������ ��� � �� ��������� �� � ���* ���� ����� ���������� � ��* � ���� ����� �����"� � �������� ��"� � �������� �� ���� ��������� ��� ���� � ��� ��� �����"� �� � � � � ��� ����������� � �� ����# ����������������� ���� �� A(:>> +/� ����� ����� ��� � ���� ��������+� �# /� �B
id oai:tkea.com.ua:article-1338
institution Technology and design in electronic equipment
issn 3083-6549
keywords_txt_mv
language Vietnamese
last_indexed 2026-08-12T01:01:25Z
publishDate 2002
publisher PE &quot;Politekhperiodika&quot;, Book and Journal Publishers
record_format ojs
resource_txt_mv wwwtkeacomua/80/86ef316bdc082aa2a97b7512d4f86f80.pdf
spelling oai:tkea.com.ua:article-13382026-08-11T15:29:27Z Contact-forming films of titanium borides and nitrides in gallium arsenide microwave devices Контактообразующие пленки боридов и нитридов титана в арсенидгаллиевых СВЧ-приборах Ivanov, V. N. Konakova, R. V. Milenin, V. V. Stovpovoi, M. A. gallium arsenide microwave devices titanium borides titanium nitrides thermal stability ohmic contacts rectifying contacts арсенид галлия СВЧ-приборы бориды титана нитриды титана термостабильность омические контакты выпрямляющие контакты The thermal stability of ohmic and rectifying contact systems AuGe—Ta—Au, AuGe—TaNₓ—Au, AuGe—TiBₓ—Au, AuGe—TiBₓ—Mo—Au, and Ti—Au, TiNₓ—Au, TiBₓ—Au to n-type gallium arsenide epitaxial structures with a thickness of 3–5 μm and a carrier concentration of (5...6)·1015 cm–3&amp;nbsp;is considered. It is shown that contacts with TiNₓ, TaNₓ, and TiBₓ layers slightly change their parameters after heat treatment at 550°C for 1 hour. Contacts with Ti and Ta layers change their characteristics sharply during heat treatment at 550°C. Рассмотрена термостабильность омических и выпрямляющих контактных систем AuGe—Ta—Au, AuGe—TaNх—Au, AuGe—TiBх—Au, AuGe—TiBх—Mo—Au и Ti—Au, TiNх—Au, TiBх—Au к эпитаксиальным структурам арсенида галлия&amp;nbsp;n-типа толщиной 3–5 мкм и концентрацией носителей (5...6)·1015&amp;nbsp;cм–3. Показано, что контакты со слоями TiNх, TaNх, TiBх&amp;nbsp;мало изменяют параметры после термообработки при 550°C в течение 1 часа. Контакты со слоями Ti и Ta при термообработке 550°C резко изменяют свои характеристики. PE &quot;Politekhperiodika&quot;, Book and Journal Publishers 2002-12-30 Article Article Peer-reviewed Article application/pdf https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2002.6.54 Technology and design in electronic equipment; No. 6 (2002): Tekhnologiya i konstruirovanie v elektronnoi apparature; 54-56 Технологія та конструювання в електронній апаратурі; № 6 (2002): Технология и конструирование в электронной аппаратуре; 54-56 3083-6549 3083-6530 uk https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2002.6.54/1238 Copyright (c) 2002 Ivanov V. N., Konakova R. V., Milenin V. V., Stovpovoi M. A. http://creativecommons.org/licenses/by/4.0/
spellingShingle арсенид галлия
СВЧ-приборы
бориды титана
нитриды титана
термостабильность
омические контакты
выпрямляющие контакты
Ivanov, V. N.
Konakova, R. V.
Milenin, V. V.
Stovpovoi, M. A.
Контактообразующие пленки боридов и нитридов титана в арсенидгаллиевых СВЧ-приборах
title Контактообразующие пленки боридов и нитридов титана в арсенидгаллиевых СВЧ-приборах
title_alt Contact-forming films of titanium borides and nitrides in gallium arsenide microwave devices
title_full Контактообразующие пленки боридов и нитридов титана в арсенидгаллиевых СВЧ-приборах
title_fullStr Контактообразующие пленки боридов и нитридов титана в арсенидгаллиевых СВЧ-приборах
title_full_unstemmed Контактообразующие пленки боридов и нитридов титана в арсенидгаллиевых СВЧ-приборах
title_short Контактообразующие пленки боридов и нитридов титана в арсенидгаллиевых СВЧ-приборах
title_sort контактообразующие пленки боридов и нитридов титана в арсенидгаллиевых свч-приборах
topic арсенид галлия
СВЧ-приборы
бориды титана
нитриды титана
термостабильность
омические контакты
выпрямляющие контакты
topic_facet gallium arsenide
microwave devices
titanium borides
titanium nitrides
thermal stability
ohmic contacts
rectifying contacts
арсенид галлия
СВЧ-приборы
бориды титана
нитриды титана
термостабильность
омические контакты
выпрямляющие контакты
url https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2002.6.54
work_keys_str_mv AT ivanovvn contactformingfilmsoftitaniumboridesandnitridesingalliumarsenidemicrowavedevices
AT konakovarv contactformingfilmsoftitaniumboridesandnitridesingalliumarsenidemicrowavedevices
AT mileninvv contactformingfilmsoftitaniumboridesandnitridesingalliumarsenidemicrowavedevices
AT stovpovoima contactformingfilmsoftitaniumboridesandnitridesingalliumarsenidemicrowavedevices
AT ivanovvn kontaktoobrazuûŝieplenkiboridovinitridovtitanavarsenidgallievyhsvčpriborah
AT konakovarv kontaktoobrazuûŝieplenkiboridovinitridovtitanavarsenidgallievyhsvčpriborah
AT mileninvv kontaktoobrazuûŝieplenkiboridovinitridovtitanavarsenidgallievyhsvčpriborah
AT stovpovoima kontaktoobrazuûŝieplenkiboridovinitridovtitanavarsenidgallievyhsvčpriborah