Novosiadlyi, S. P. (2002). Плазменная технология формирования субмикронных структур БИС. Технологія та конструювання в електронній апаратурі, 6, 57-63.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Novosiadlyi, S. P. "Плазменная технология формирования субмикронных структур БИС." Технологія та конструювання в електронній апаратурі 6 (2002): 57-63.
MLA-Zitierstil (8. Ausg.)Novosiadlyi, S. P. "Плазменная технология формирования субмикронных структур БИС." Технологія та конструювання в електронній апаратурі, 6, 2002, pp. 57-63.
Achtung: Diese Zitate sind unter Umständen nicht zu 100% korrekt.