Novosiadlyi, S. P. (2002). Плазменная технология формирования субмикронных структур БИС. Технологія та конструювання в електронній апаратурі, 6, 57-63.
Chicago Style (17th ed.) CitationNovosiadlyi, S. P. "Плазменная технология формирования субмикронных структур БИС." Технологія та конструювання в електронній апаратурі 6 (2002): 57-63.
MLA (8th ed.) CitationNovosiadlyi, S. P. "Плазменная технология формирования субмикронных структур БИС." Технологія та конструювання в електронній апаратурі, 6, 2002, pp. 57-63.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.