Плазменная технология формирования субмикронных структур БИС

High-frequency plasma processes for the deposition and etching of functional layers during the formation of LSI structures with topological dimensions of 0.5–0.8 μm are investigated. The technology ensures minimal induced defect density of functional layers (<0.05 cm⁻²), does not affect t...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Технологія та конструювання в електронній апаратурі
Date:2002
Issue:6
Pages:57-63
ISSN:3083-6549
Author Affiliations:
  • S. P. Novosiadlyi — Vasyl Stefanyk Precarpathian National University, Ivano-Frankivsk, Ukraine
Main Author: Novosiadlyi, S. P.
Format: Article
Language:Welsh
Published: PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2002
Subjects:
Online Access:https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2002.6.57
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Technology and design in electronic equipment
Download file: Pdf

Institution

Technology and design in electronic equipment
_version_ 1873277340758310912
author Novosiadlyi, S. P.
author_facet Novosiadlyi, S. P.
author_institution_txt_mv [ { "author": "S. P. Novosiadlyi", "institution": "Vasyl Stefanyk Precarpathian National University, Ivano-Frankivsk, Ukraine", "orcid": "" } ]
author_sort Novosiadlyi, S. P.
baseUrl_str https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/oai
collection OJS
container_end_page 63
container_issue 6
container_start_page 57
container_title Технологія та конструювання в електронній апаратурі
container_volume
datestamp_date 2026-08-11T15:29:27Z
description High-frequency plasma processes for the deposition and etching of functional layers during the formation of LSI structures with topological dimensions of 0.5–0.8 μm are investigated. The technology ensures minimal induced defect density of functional layers (<0.05 cm⁻²), does not affect the charge state of the Si—SiO₂ interface, and creates favorable conditions for low-temperature (<700°C) homoepitaxy of monosilicon and polysilicon on a Si substrate of any orientation type.
first_indexed 2026-08-12T01:01:27Z
format Article
fulltext ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� �������� � ��� �� ������������������ �������� �� � ��� ������ � �������� � ! ��� �!"��!�# ���� �! $������ ��������������� �� �� � � %&'�( )&* �+! ,! &! -���.���� �! )��/���0 ������������������������� *������� �! 1����2'��������� 3������� ���� �������� � �+! ,! 4 �5����� 62789:; <=>?>@!9A!@8 3BCDEF&&CG �F)&$B$H1G '$IE1I$,C&1G 4*JE1-I$&&K) 4�I*-�*I J14 ���������� ��� !"�#��� �$$!��%�#��& ��$%�%'#$�%���(�)!#������(�)�%*�$� $%�� %$#+����,� ����#�!���,�� ��*�%� �#!"��(� $!%��� )����%����%�#���� $ -� ����%���(�$�� �� ��. �� 4�L+������� �������� J14 � �������M����2 +� ���+�+� ����"��N +�+ ����O �� � ���P� ��2 L����� � ���.+���+�M����+ ��������+ ���Q���� � ������� ! , ��� � R�� � � /� �������� � ���.+���+�M����� �������P� �� ��P� �� ������ � ����������P+ �����Q���� + � �����M���� ��5�� ��� � %S<T2 U8V98W9T<2V878XYZ0 ��� ���Q����� 5���������/�P� ������ � ��Q� �����M���� � � ��������� � �����+� +� ���+� [ � �\� ����� ����� / � ���.� ������ / ���2 ���� � ���P]� ��� � �+ ������ / ���Q���� � ���2 ���� 5���������/�P� ����� � �����/.������+ ���2 �� ���� �����2����� ������� ��.������ %^(I0 [_� ̀ \! ��������������������� !"�#$���������%&���� '����(��)��������(�&��)�!"�����*+ � , � - � �� �+��/]��� ������������2����+L��������P� ��������� �� +�Q5�.��� ������� ��.���� a9"a9b � ��.��L� �� ������� �P����M�� � ���� +���� ������� ����P���� ���+������ +�]��� -�J2N� � ���.+� �.� �! ̂ � ��.��� � �5��+����� / ��.�� �+���� ��2 �P� ������ ����P� �� �� L�. ��������P� �������2 ��� a9"c� �55�� ���� �� ������R�� .�� ���P� ��2 � � �� � .�� �P ��� � +�Q5�.��� ������P� �� � � ������� � �+ ��+P+ �L����M���� � �P����� ��2 +�������� � �L��/��� / ���� ��M����� ����+� ��� �� �����/�P� ���+� � ���Q���� ��5�� ��� � �� 5���2 ������/�P� �����! ^������+�� ��/�P� ����������� ����������/ � �����/.������+ �P����M�� � ���� +���� ���� �� �2 ����� S$�� ��� �Z � ������ ��� ,dH2���2 _��! , ��2 M�� �� ���+������ +�]��� �����/.������/ ���� ��P -�J2N� % 0 +������+�� d�����/����� %d0 � ��2 ���Q����+ �.������� ��������� ���+��� �������2 �� /b� ≥ ��e � �f+g_! $������ �R�+ ����+� ��+� �� �� ���+� ����������/ �55�� ����� / �5��+������2 ���� ������ ������� �� ���� ���Q�� ����.� ��/ ���2 ��+���� � �������� 0h ��N"����� �� ��P� .������� ����M���� ������� ��� �.� ��� ���.+P � �����Q�2 ���+ �.������� ��������� ���+��� ��������� � ���+����P� ���� ���� d�����/�����! 4����� / ���Q2 ���� ������ a91b2i3 �L����M������/ +�R��� /� �P����M�� � ���� ������ ��� % _��� EH�0 � ��� ��2 � �� ≥�� Åj+��! ,P���� �����+����� / �������� ������ %k_l0 �L����M������/ ����� ����� ��� �+�� �� ������ S$�� ��� 2�Z! $����� ����P� �� �� 5��+������� +������P+ ����Q�����+ � �+���� ��P #��m4 �� ��+�� ��� �� ��� Q���� _��"` M����! ^55�� ����� / ���� �� �� ��� ����������/ �� �� ��P+ � ��� ���+ � ���� ����� � L���� ����� ���.�� ��� � ������� 425��2 ��� ������������2����+L��������P� ���������� ��2 �55����� � ������� �����2β2 ���.�� ���� ����M�2 �P � ��+�������� � �L��/��� � ���������� ���� 2 Q��� ∆56� ���� Q��� ������� .�� ∆578! 3��������P+� ����������� +� �� �������P .�2 ����+����� � 5��+������� �P����M�� � ���� ���.2 +������ ������ ������� �� ��� � �����Q��� �.�2 ������ ��������� ���+��� ��������� � +������+2 ��� %d0 -�J2N� /b� h ��e � �" �Ne � N f+g_� �� �2 �P� ����� �����P � ���� .�����+�� � ���55����� � �����+���� ������ �� (��.�/ %+�R��� / �.� ��� ���.+P ���" �� �, � �+���� ��� ���Q���� ��" ���m40! ,P���� ���5��+��� / ������ %≥��#�0 ����2 ��� ���/ �� �������+ �+�R��� �� ���+������ ���2 � ��� g��...g � ,! *� ��������� M � ������ ����P� �� ��� �5��+�2 ������P� �����2���.+���P+ +���� ����P+ ���2 �P�����+ � �.� ��� ���.+� ���+������ +�]���� ��2 .��� � �+��/]� / 425�� �� � ���" ��N �� ���" ���� ���P�� / ���55����� ������� �����2β2 ���2 .�� ��� �� _�"N� P�! � �L����M� / � �L��/��� / ∆56� ∆578 � �������� ����"�� , �� �+���� ��P n ��m4! I��! ! D�����+�� / ���55����� � �����+��2 �� ������ ������ ������ � �����Q��� �.�2 ������ ��������� ���+��� ��������� � +�]�2 �� +������+�� d�����/�����; 9o" -�JN�2% ��0p : " -F'`��2% ��0 0 �� �# �� �� � � � N / b� ;��+g_ � ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �N �������� � ��� �� ������������������ �������� 0�($�(�1����� �����2(�(�1����'�� '����(� !"�#$�)�$������$� �(�1"����$� �3(����4� ��� (�����(�$���1�)�!"����� �� ���Q��� ��5�� ��� � 5���������/�P� ���2 �� J14� �� ��P� ������� � �P��� ����P� � ���2 ��� ��.��L� ��� �������� 5��+������� ��� �2 ����������� �� ��� �� P�/��� � ����� a92���� ��� �5��+���������� �P����M�� � �P+ ���.+���+�M��2 ��+ ��������+ � ���.+� qr ` nb � �.+������+ +�R2 ��� � ���.+P� �� ��� ������� � ��� ��� ������2 ��� � ���+�� ! ̂ ������+�� ��/�P+� ����������� 2 +� �� ��������� M � � ����/ ��� ��������� ������2 ��� � ���+�� M��� �� ��/�� � �����������+� ��� ���.+P � � ����M��� �.������� ��������� ���+��� ��������� � a92���� ���� %d0! ^55�� ����� / ����� ��� ������������ �� ��� ����������/ �� ��+�������+� ����5� ���������� ���� Q��� E$32 ���.�� ����� �5��+�������P� � ���� �� ��P� � ��� ��� � ������� ���+��� Q�.�� ���2 �����P� ���� ���� .�� ��! *����M���� �����Q��� b � � ���.+� qr ` nb � � N �� #l �����M���� ��� �2 ���������� / ��������� � � ��"� ��. � .�����+��2 � � ������ ����� ��������� � a92���� ���� %d0 ��2 � �� � ���� � ��e � � �� �Ne � N f+g_! ���+�����2 ��� ����5 ���������� ���� Q��� � ���� Q��� ����2 ��� .�� ∆56� ∆578 ��� ��� � ≤�� � � ���N , �� �+2 ���� ��P ��m4� ��� �� � ������ � ��������� � ��� �2 ��������P+� �� ���+�� �5��+�������P+� �� ���� Q� a92���� ���� ��������+ � ����� ��+ ����� ��2 ��+ ���� ��� �� ������ ����������� ����� P cr;cib _ ;qc _ qb$bch ;_;# � � R���M��+ ���� ��� sbc;c � b h ;�! ����5 �� ��������� ��� ��� � ��� 2 �� � ����� ∆56≤��_ ,� ∆57�≤�� � , � ∆56≤_�� ,� ∆57�≤ �N , %(��.�5� ��� �j� � " � ��]���� �+��� � � �+��� � ������� .�� � ��� ��P a9"a9b � 0! 4����� � +� � /� M � ���� ��� ���������P� �� 2 �� �����M���� � ��� +���+�+� �� ��� ��� ���+ Q�.2 �� ��������P� ���� ���� .�� ��� � R���M��� ��� �2 ��������� ��������� � � ��M�� � �M��/ L��/]�� ��2 +�������� ��� �L��/��� /� ���������� ���� Q��� ∆56 � ���� Q��� ������� .�� ∆57�! ^ � ���� �. �P���� ��������M�P� ���]��� �� ����� �� ��P� +�Q�� ��� ���� ������ / �� ���+ 5��+������� � ��� �� J14! �"�#$�)�$��������!(�6��������%&���7����(�1 "���7�1� #����!��"��1�����7��38�$��)�(����� (�1�9"���(���� 6��"��(����'��(�#������ 4�R��� / ��������� �L��L� �� ��� .��P ���.+P ���� ��� ��� �� � �+� M � ��L�M�� ��.� �� ��P� ��2 ��� � � .��� ���.+P� ��.����� � � ��� �� ��+�M���� �� ���P� M�� ��P %.�� Q���P� " ���P � ��.�� Q��2 �P� " �������P 0� �� ��P� L������� ��55�.�� � �����������+� ��.���+� �� ��� ��� ���� a92����2 �� ��� .��P ���.+P %� .��� ��������M��� 0 � �� ���2 � � ��+�M����� ������� �� �� ��������� � � �L��2 .������+ �� �M�� ��+����� ��! I������P � .�� Q��2 �P� M�� ��P� �� ��P� ������� �� �L��L� P���+�� ��������� / a92���� ��� �+�� ��� � �M��� ������� �� ���Q���� ��� ��� ������� ���� �� �Q� ����2 � � �M��� �� ������� ����������P� �����Q����� � ��5�� ��� � � ��� �� J14! -��+� ���� +�Q�� ��2 �������� / �� ��2���� ��� ��� ����������P+ ���� 2 ��M����+ �� �������+ � ���������� / �� ���P� M��2 ��P �� .�� Q���P� � ��.�� Q���P�� � ��Q� �����2 �� ��/�� ����� / ��.��M�P� ���� ���P� ��.P � �� ��� �� ��P� �P���� �. ���.+P [`\! )�+�M����� ������� � �� ��.�� � �� ���+ � �2 +�� � ��������� �� ������ ���P� M�� ��P! ^ � ����� �������P ���Q���� � ������� �P������2 ���� �+P+� � �P���� ��������M�P+�! )���� ���2 � ��� ���.+���+�M����� ��������� ���Q���� � ���2 ���� �� ������ ̂ (I2���� ���� ��������P � ��3".�/���5! �� �������+�� ��/�P� ������������ �����/2 .������/ ��� �P����M�� � �P� �� ������ ��� �N 3)$ ���2���� 2���� 2���� 2��N� �� � �� ������ � ^(I2���� ���+� ��� tuv2N�� C� ��� ,� �� ��P� ��2 L� �� �� M�� � �� < > _��� wH� � ��`� �H�� � ��Q� 5 ���P�� ���+����P� � �����P� ��������� ; qr ` � qcr _ � q _ r N � ar � � a9q: ` � a9c ` � a9 � c � � qcq: _ ! &� (��.�: ����� ������ .�����+�� / ����� ����2 � � ���.+���+�M������ ������� %=0 ������ �����j ����2a9 � �����Q��� 5����� �_ �� 5����� ` � +�R��� � ���.+P �� ������ �N 3)$2 ���2��N! �$#+������%�$��������%&�)!����� ������,� 3����� ������ ���� ���+�� � ���Q����P� � ̂ (I2 ���� ��� ��� ��+�� ��� �+���� ���� �+�� ����� �� �� ��� ��� ��M]�� ��Q��� ������� ���Q����P� ��2 �j> � ���� ��� ���� g56� x ∆56h��_ x ∆56h_�� x ? - I��! �! ����5 ���������� ���� Q��� �� ���+����P� ���� ���� d�����/����� -F'`��2% 0; # g ���� ��/ �� ������ ����������� ����� Pp - g R���M��� ���� ��/ `� �� �� �� qcr � j%qcr _ nqr ` 0� l _� �� � � =� a 9b � j� � � � 2a 9 � _ I��! _! D�����+�� / ����� ����� � ������� ������ ��2 ���j����2a9 � �����Q��� 5����� �_ �� 5����� ` �� ��.��M�P� .��M���� +�R��� � ���.+P; 9�" ��� , p� :�" ��� , p� @�" ��� , ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �# �������� � ��� �� ������������������ �������� ��L���� �!#�����%��%$#+������ )!��%�� ����A�BC����#��%�#( ������ �� ���� �� �� ������������ ��������� ��������� ������ ������� � ������� ������ ������� ������!�- �������"� �����#�� �����$� ��� SiO2 300 2,7⋅10–2 50 27 O2�%�����#��&� Si2H6���'(-�������� — )������ SiH4���� Si2H6���� ��$������ ������� � ��*���#� 500 10–2–0,1 150 68 ����� 2:1 350 1,2⋅10–1 250 75 " 2:1—1:1,5 Si3H4 250 2,7⋅10–2 100 23 N2�%�����#��&�� Si2H6 ��'(-�������� 2:1 450 5,3⋅10–2 –1,6⋅10–1 150 14 N2�%�����#��&��� SiH4���'(-�������� 2:1 ����-Si 500 2,7⋅10–2 150 26 +,�%�����#��&�� Si2H6���'(-�������� 2:1 +,�%�����#��&�� -./'���'(-�������� 2:1 α-Si 500 6,7⋅10–1—20 150 68 +,�%�����#��&�� SiH4���'(-�������� 4:1 SixNyOz 350 2,7⋅10–2 75 38 N2, O2�%�����#��&�� SiH4���'(-�������� 3:1 ��L���� � �!#�����%����#�!����� ����A�BC����#��%�#( �������� �� - ���� � �� ��������, �� �������� 0 ��# �����1��� ��� ���2��� ������� ��������2, ������ 3��#�����- ���� ��������- ���� �����$�- ��� ����-Si, ���������- � 0 � 700 2,7⋅10–2 —0,13 Cl2+SF6 –75 (13,56 �41) 200—1200 1—0,75 10—12 (Si/SiO2) ����-Si, ���������- � 0�� 300 5⋅10–2—2⋅10–1 SF6+Ar –100 60—120 ~0,9 ~12 (Si/SiO2) ���� Si 200 6,5⋅10–2 Cl2 –20 20—50 0,7—0,9 18 (���� Si/SiO2) ���� Si, ���������- � 0 1000 6,5⋅10–2—4⋅10–1 Cl2 –150 185—320 0,95 75—100 (���� Si/SiO2) SiO2 (��"�0) 60 6,5⋅10–2 CF4 100 10—30 >0,95 1—4 (Si/SiO2) SiO2 (����� 0) 700 2,7⋅10–2—1,3⋅10–1 SF6+Cl2 –75 (13,56 �41) 75—150 >0,85 3—9 (Si/SiO2) 5�����- #��� 400 5,3⋅10–2 O2 –250 200—900 — — 56 7 O2+HMDS –200 400—600 — ���"���� ���1��� ��������- ����2 �������� �89 400 5,3⋅10–2 :2 –300 50—200 — — Si3N4, SixOyNz 500 2,7⋅10–2—1,3⋅10–1 CF4+CHF3 CF4+SF6 –100 75—150 >0,95 4—12 (Si3N4/Si) ��� �������� 62 ������� ��������2 ������ 39 7 ����1�� 700 2,7⋅10–2 2⋅10–1 SiCl4+BCl3 –150 35—125 >0,85 5—8 (AK-1/SiO2) ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� �������� � ��� �� ������������������ �������� ������� ���������� � ���� ���� ����Q������ ���2 ���� � ! �! � ��� �+�� � +���+��/��� ����M�� �� ��������! 3�� ������������ ������ a91b2i3 ���� 2 ��+� ���� M� �� ��� �� � � ���� �� .� a9"i %�������� M���� N`� �+g 0 � a9"b %�������� M��2 �� �� �+g 0 � ������ /� � �� � ��� ���� a9"c %�������� M���� � N� �+g 0� i"c %�������� M��2 �� _`�� �+g 0� M � �L����M���� � �� ����������! 4�� ��]��� a9jb� a9ji ������� � � ��� M�� �2 �� � ���+ ���� 4,d ���� ��+���� ���� ��� ���.2 +P� �� � �� +�R��� /�� M � �����M���� ��� 2 ��� / ���.+P �� ����"��� ��� ��� �������� �P2 ��Q���� [_\ ,p G VRKN x x = % 0 1.+������ ��������� � �������� _��" Nl ��� ��.+�Q��� / 5��+����� / �P������M�� ����P� �� 2 ���P� ������ ����P� ������ � ���55����� �+ ���2 ��+���� ��N"�� � �� ��P� �� �55�� ����� � ���2 � �� �� ��� ��M]� ������ ����P� ������� ���Q2 ����P� ,d +���� ����P+ ����P�����+ ���+������ +�]��� � �5��+�������P� +����.�� ���� �+����2 ����� ��������� � �.� �� ������/�� ��������� ��2 L�� �P���� �+���� ������ � Q���! )���� ���� ��� ��.� ��; +�R��� / ���.+P ��" _�� , � �������� ���e �g� 3�� �+���� ��� ���Q���� ��" ��m4� ������ / ���Q���� ��"�� �+j+��� ���2 ��� / ������� � L�5����+ ���� ��� �5��+������2 ��� ������ ≤ �+j+��! D%�%E)��#�$�#!"��&� ��%$��)!��%���%�%����)%� !�������,� 3�� ���Q����� +���2 � �������+�� �. ������ %��������0 � 4,d2���� ���� ���� �����2����� ���2 ���� ��.������ ����� �� ������ ��M]� ����� � �2 ��� Q� ������� �5��+�������P� ��+�����P+ ���Q2 �����+! ̂ � �� .��� � �+� M � � 4,d ̂ (I2���� ���� �� �� ����� �� �����Q�� L�. �� ��������� ����L��2 ��� ��� �� ���+ ��� ���/�P� ���������� ������/�� � ��� �+ M�� � P ��� � � ����/ ����������� � ����2 .���� � �+�� � +������ ������ ��! 3�� �+� ����2 ���� ����� R��� � �P����M�� � ��� ���.+�� ����� �� ������ ������� � �������� %��� ��� �M����� ���+��� � +������+���0 ��� ����� ���Q�����+ ����2 ��� �� � � �������� �� ��� �! 3��.+���� ��+���� ���� �+�� ����+�R�� �� ����� ��.���� � �+� M � ��� ���R�� �� � � ��� .��2 M� ��/�� +��/]�� �+���� ��� � ��� ������/�P� ���� 5��+���� � �� ��L�� ���� �������5�M����� ����2 ��� �� �����+�� % ��0� L�. ������+�R��� � �� ���2 �������� � ��� � � �+�� +�� � � ��.���� �P���� �+2 ���� ����� ��� �����! ^ � ������ � �+� M � ���2 ������/�P� ��� ������ ��������� �� ��.�P+ +�2 ����.+�+; � ���.+����� " .� �M� L��/]�� ������2 � +������� ����� � ��� ���/�P� M�� �� �� ������2 ��� �� � � ��.���� �+�� +�� � ������� �P� +�����.+ 5��+������� ��� ������/��� ������! ̂ � � ��P��� L��/]�� ��.+�Q��� � �� �����/��� ��� ����� � ���+���P� � ��� ���� �� L�.� ���+�R���P� ,�2-2 �2E$32 ���������! 3������ ���.+����� ��+���� ����� ��L�� ���/2 ���]�� ������������ +�����.+�� ��� � � +� ���� ���������� ��.�� �+���� ���P� ��� ������/�P� �����! 4����� � +� � /� M � ������� �����M���� ������ / ��� �� ��� +���+�+� � ��� ��.�! 4�����2 ��� ����Q� ��/�P� ����� �������� +�Q�� �����2 �� / ��� � ���� ��/��+ �+�R����� �� ���� ����� 2 � �� �� �� ����� .���� ��������M��� � ��� .�+�2 ��� ��������� �+��� �� a9q: ` � ���������� �� ���2 �� �� M�� � � ��`� �H� ���L��Q�� � � a9c ` ! �� �����M��� ������ � ���Q���� ����� +������+�� �� ��"_� �+j+�� �� a92�����Q�� ����� �+�R�2 ��� ≤g�� ,! , � �+ ���M�� ���.+����� ��+���� ��2 ��� ���+�� +�Q�� ���R�� �� / �� a92�����Q�� ��L�� ����� ���� ��� 1-2������� �� ���"���m4! &��L����+� M�� � � ��������� � .���� � ���.2 +���+�M����+ ��������+ � �����/.������+ �����2 � ��� ��������! 4��Q���� �+���� ��P ���.+P �� ���m4 ���� � ���Q����� �������+�� � � ��� _��m4 " � ���Q����� �+��5���� ���+�� ! ���� �������� 5��+������� ��+���� ������/2 ���� ���+�� %�� ��.P��� �R� ���5���� ������0 ��2 .��� � 5��+����� / �P������M�� ����P� � ��� �2 �P abu %=9:9fT<"Ty9VY"9=T:8W9T<0 �� ��L�� ������ 2 ��M����� �����Q�� ��� �����/.������ LP� ���� 5�2 ������ � Q���! D����Q���� ���+��� ���.+���� �������� ��2 +���� ����� �� 5��+������� ���������� %����2 ������0 ��.�����! ^ � ��� ���� � ����M�� � ����2 ��� ���+� a9q: ` � �R� � �9q: ` ! 3�� �� �+��/�P� ��2 Q�+�� ��� � � �������� ≥��_e �g� 3� ����M��� ��2 ������ �������+�� / %≤���e �g� $+e�+0 ��� �����2 � � ��� � `�"�� �+j+��� M��� �����+� +� ���+� ��� �M/ ���� �M���� ����.+�Q��! 3��������P� ��2 ��������� ����.P��� � M � ���� +� �� 5��+�����2 �� ��������P� ������ � ������� ��/��� ���������� ����� ��������� ��.��� � �P� � �� ������/ ��_" ��` +�$+e�+ � ������ /� �����M� / �. ��L+�������� ��������� J14 ������.������ ����� +� ����.���� ���+����+ � ]���+ " �� +�+ � +������������� ��++� ����! ,P���� ���5��+��� / ����P � ��� �2 ��� � �� �������+ �+�R��� �� a92�����Q�� ≤g�� ,! �!#��%(���'�$�%����#�!��������%��$%���F���, ����A�BC����#��%�#(� 4,d ̂ (I2+� �� ���L���� ������� ���� �� ��2 ������� J14� ������/�� ��.��� � ���.� ����� 5��+����� / ��L+������P� ��.+��P %���"��� +�+0 L������� �����������+� �� ��� ����� � ������2 ��� ��.��� ������� %≤�� �,0! ���� ��.�� ������ ��.��� � ��� ��� / �P����� ����� ����� � ���2 ���� %≥�" �0! D����Q���� ���+��� ������� ���.+���+�M������ ������� +� �� ���+�R��� � +������+��� � �����/.������+ �P����M�� � ��� ���.+����� ���������! �� ������� +� �� �����/.������/ ���.+� ar � nzU ��� �������� �_e �g� 3�� �+�R���� g�� , � +�R��� � ���.+P ��� , � M � �L����M���� �P����� ������ / ������� %���"_�� �+j+��0! D���/ ���2 ���G1� /1�" H " I�" J�" � " ������ / ��������� � ������ ���� �� ��2 �P� M�� �� ���.+P� ��� �� � �����p ���� �� � ������������� ���� ���p �LO�+ ���.+Pp ������ / +������������p �LR�� �������� � ���� ���! ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � � �������� � ��� �� ������������������ �������� .� ���� ���L��Q�� � � �� � ������ /� �����M�� L������ ��� ���! *Q� ��� �������� ≥`e �g� 3� L���2 ��� ��� ��� ��.��� �� �� ���.� ������ � ���"��#� � ����� ����� / ������� a9"a9b � ��� ��� � �"N! F��� � ���.+� ���� � ��������P� ��L���� � ���� {� xU� q: � �������� �"Nl� � ������ / ������� +�2 �����+�� ��.��� �� �� ���"N�� �+j+�� ��� ���2 ��M���� ����� ����� � �� " �� � ���.� ������ / ��.��� �� �� ��! ����+ �L��.�+� ��M�� �� +� �� ���+�R��� ������� � � ���.� ����P+ ���.+��P+ ��������+ � ����M���� �P����M�� � ���� �+�R��� ! ��������� ������ ��M����� ����� %a9b � � a9 _ i ` � a91b2i3� '44� J'440 � ^(I2���� ���� ����������/ � ���.+� qr ` ��� ar� ��� ������ � ������� � �����2 ��� �"�� �+j+��! �� �����M��� ������ � �����2 �� ���� ������ ��M����� ������� ��� ����.��� ��]� ����������� � ���L����+� �����M� / M�� � � ���� 2 Q��� �+�R��� �� ����M��P <≥�� �H� %< > _��� wH�0� � ���� Q���� �+�R��� �� 5 � ≥#� ,! 3�� � �+ ���2 ��� / ������� ��.��� �� �� ≥ �� �+j+��� ����� +�R2 ��� / ���.+P �����M���� � �� ≥��� , ! 4����� / ���2 ���� +�Q�� ��Q� �����M� / �� N�"��� �+j+�� ��� ���.� ������ � ≥��#�� ���� .�+��� / ar � �� ��2 ������P� �������P ��� q0r4 ��� 0h "` %q _ r N 0! 4����� �P���� / ���L����� � ���.+������ ������� �����+����� �.�� ��� � ���.+� qr ` nb � %N"��l b � 0 ��� �������� ���"��� 3� � +�R��� � _�� , � ��� �� ���+ ������ / ������� ��� ��� � ≥��� �+j+��� � ��� +�R��� � ��� , ������ / ��.2 ��� �� �Q� �� ��� �+j+�� % _��� EH�� 5 � ≥�� ,0 � ����� ����� /� L��/]� � L�. �����M��� ��5�� 2 ��� � 5���������/�P� �����! ����P� ������� �55��2 ���� ��Q� ��� ���5���������� ��� �� �P� ���� �.2 +������+ ���.� ������ � ���.+������ ������� ��� ��� �� 5��+�������� ���������� ����������! �%!���������#,�$)�&$���#,���(�%!%K�,��%���� �%�#��,�$ -����%���(��%��#��%��. �� 3�� �������� � ��L+������P� �����.�� �����2 ��M����� ���+ �� ����� ����"��N +�+ ���L���� �� ���/��� � ����� � .���M� 5��+������� ���2 5���������P� ��� �� �� � +������������� ��.���2 �� �������� J14� ��� � ��M�� �� +�Q������� �.�2 � ��� �����/.�� ��� ��.�� �+���� ����� L���5��2 5��������� ��� � ���� %J'440� �� � �������.��2 R�� �����+���P� ��+��.���� [`� �\! $�����P+ ��+����� �+ ������ ��������� �� 2 � � ��.�� �+���� ����� ���Q����� 5���������/�P� ����� %������������� � ��������������� �������+�� � ������ ���+�� � J'440 �� ������ ��������� ����2 ����� � ���� ��� ����Q������ ������� ��� S1.� 2 ���Z! $��������� +�Q������� �.�� ��� �� ������ J'44 ���R�� �� � � ��+���+���������P+ ����2 �����+ � ���� ��� �� ������ S���+���+Z! D�����P� ���5��/ � ���� ��� �� �� 5��+���� �.+������+ +�R��� � ��.� �� � ������� � ����������� ��+��� ����� ������� ���.+���+�M������ ������� � .��� ��������M��� [�\! E��]�� 5��+������� ���� ���5���������P� ��L+������P� ��� �� �� ����M�� � ��L ; " 5��+�������� J'44 �� +�Q������� �.�� 2 ��� � L�5���P+ �������+ ������ %`�� Å0p " ���������� +�Q������� �.�� ��� J'44 ��2 +���+���������P+ �������������+ ��� �+���� �2 �� ���m4 � �������� _� � +!p "��������� ����������� ������ �������������2 �� �������+�� � ������ �������� a9b � ��R���� ≤��_ � ≤�� +�+� ��� �� � �����p " ���.� ������ ���.+���+�M����� �������� ����2 ������� ������ ����2a9"a9b � � +�� �� ��� �� ��p " ��������� ������ ��������������� �������+�� ��R���� ≤��_ +�+ �� 5��+������� ���������p " 5��+�������� L����P� ��������� �P����M��2 � �P+ ���.+���P+ ��������+ �������+�� � +��2 �� ��� �� ��p " ���.� ������ ���.+���+�M����� �������� � ���5���������� +�Q������� �.�� ��� � ���� J'44 � �LO�+��+ ���� ��� ^(Ip " +� ����.��� ��� �� �� ���+�����P+ ������+ |���+����"���+���"IDE| ��� ����������+ �2 ��� %}9a9 � 0� �5��+�������P+ �� ������ �+��5���� ���+�� ! E�Q������� �.�� ��� +�Q�� 5��+����� / ��.2 �� �+���� ���P+ ���Q�����+ �����+����� ��+��2 .���� ��� 31� �� �������� � ������� 5� ���.�� �! ����� �����M�� � �������� 5��+������� J'44 � ��� ��������� ! E����/ ��.�5�.���� ���Q���� �+��5����� ��2 ����������� � ��������������� �������+�� � J'44� a9b � � }9a9 � � ���� ��� ����Q������ ������� %I3�0 ������� � � ����������� ������ /� ���Q���� ������ [�\; V=ST(Px+Py)/(C0P∑(Dp 2—D2)), (2) �� �L����M��� ��55�.������� ����+�]����� ��+����� �� � �������� ���Q���� ������ 5�����2 ����/�P� ����� ������� � �+���/���� ����������� ��.���� �+��� ����+ �. ��+����� �� %5��5��� ���2 ��� P� 5��5��� ��L����� ������ P� � ��0 � �����/2 .������+ �������/���� ����� � ���� ��� ����Q��2 ���� ������� �� ������ S1.� ���Z � �������/�P� ����� � �L ��� �� +�! *��� ������� � ���� ��� ��2 �� ��� ���5���������� 5��+���� ��� ��+�R� ���2 .� ������� ���.+������ ������� � ̂ (I2���� ���� �� �� ������� ��� tuv2N�� %���0 � �������� � #� �� ��m �.+������+ +�R��� � ��.� �� � ������� � .��� ��������M��� ! 4��� ��������������� ����2 ���+�� �����/.�� � ��� +���� �� 5��+������� ��� �� �P� ���������! ��$%�%�%���#$��%�� )!#�����%�� )�%,�!����� � %)��'�$�%&�)�%��*�%��%&�!��%K�#���� $� �M���� �� ����5� � �P����� ��.��]��]�� �����L��� /� �� 5��+������� �������� J14 ��2 ������ �� ����������P� ��� �+�� � �P�������2 ��� ��+ ��.�� � [�\! 4�� �+� ������������� ���2 +�R��� �L����M���� ������� �������M����� ������ / � ��M�� � �+���� ��� ���Q���� ��2 �� ��� I3�p �������� ������ �� ��55�.�� � � ������ �� � ��� �� � �����p ������ ���� ��������� �+��� � ������p �LR�� �������� � ���� ���p ���+� �P ���� ��� � ���+����P� ���� ��� ��2 � �� � �����! ��� =��6�L M1� M2�" � � " �∑ " N > � N�" ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� �������� � ��� �� ������������������ �������� ���+�� �� �� ��N +�+ � ��� �������� � ��.+���+ ����"��N +�+ ������M���� � ������R�+� 5�� �2 ��+�; " �������� � ��Q��R� ��������� / ���+���2 �P� ���� �� � ��������� J14 ������� � ���+ �52 5�� �+� �� ��P� ������M���� ��.��]��R�� ���2 ��L��� /; �LO�+�P� �55�� � �� ��P� ��� �� � ����2 Q���� ��������+��� �.�L��Q��� � �P.�����+ ��.2 ��� ��R���� ��.�� � �L��.� ��.���� �.+����� ���/2 �5� ��������� �p +������� ��� � ��Q���� �������2 ���R��� ����R��� � a92���� ��P� M � ������� � �L��.������ � � M�� ����p " � �� � ���+ �P������ γ2��� ��� � � ��.�� � %≥`��0 � �P������� ��� ���� ��� ����� ��������2 ����������� �.�L��Q��� ! �� �� ������ � �� �� �M����� ������ ��+� ��.2 ��L� �� ��.� ���P� �P������� ��� �P� ������+��2 ��� �P� ��.�� � �� ��P� �L����M���� γ2��� ��� ≥N��" �� ��.��� �R�� 5��+����� / ������������ �� ����5��� � �����/.������+ �P����M�� � ���� ���.+������ ������������ ��� ����� �������M��2 ��� ��.+��P ���"��N +�+! ����� ��� ������ �P��2 ����� ��� ���� ��.�� � �L����M���� ���.� ������ / ��� ������ �� ������ �� ��� ����� ����� � �����2 �� ��������������� � ����������������� �L��� �� � �������� N"�N! ������� ��/��� ������������� ������������������ ������ ��.�� � ����� ��� ���2 ���+ � cw~a %�����+� ��������.��0 �����M���� ��� ��.��]��R�� �����L��� /� ��� +���+�+� � ��" � ��.� � ��.��� � ����M� / �������M����� ��.+�2 �P ���"��� +�+ [�\! 3�� � �+ ���.� ������ / ���2 ����� ��������� � +�R��� /� ���.+������ ��.2 � ��� � ����������� ��� ������� ����������� � .��� ��������M��� �LO�+���� ���� ��� ̂ (I� �L����M���� �P����� ������ / ��� ����� %���"#�� �+j+��0 ��� �� ������� �+�R��� g��÷g �� , � �������� �e �g� " ���e �g 3� %+�R��� / ���.+P ���"_N� , 0! ����+ �L��.�+� �P����M�� � ��� ���.+����� ���2 ������ ��� ��.+�Q��� / �+�� � / �� �M����� ���2 ��.�� ������������ �� ����5�� �� �������.������ ��.+���� ����"��N +�+! ���'�����(�1�����!"�#$�)�$������)�!(�6����1 3�� �������� � ��L+������P� �����.�� �� ���/2 �P+ � ����� � ������� �������� ���.+���P� ���2 ������ ��� ���Q���� � �� � ��M�� ������� �����2 �� 5���������/�P� ����� � �M��� 5�������� ����2 M��� �������� ������� [�"#\! �� � ��� �����/2 .�� � ���P� ������� ��.��M�P� 5�.�M����� +� ����! &�+� ��.��L� ��� ��+�/� ���� ��� �+�� �� ��� ��.��� � ��� � ��������� ����� ������� ��� ���.2 +���P� ��������� %9< =9W@0 � �����/.������+ �+��2 �������� +���2� �Q�2���� �������� � ��.����� ��2 ��5���+� ���� �� ��P� �L����M���� �P����� ��2 5��+� ����� /! ,�2����P�� �+�������P� �����P ��2 ��������P� ������ �� ��� ������ �� ������� +��� ����� ������ /� � ���/� ���������� +�+�� � .�2 ���]��� �������� ������� ! ���� �� ������� ��2 �����+�� � �P����� ����� ����� /� �����/.�� ar � � qr ` nb � � �� �� ��P� ����M���� �������� 5��2 ����� � �� ���� + r ��� ������ � � ������ ����P ��` �+ � 4$ ��� ������ � ������� � ������ ����P �#N� `N`� ��� �+� � �� ������� a_i` ��� a9($2i3 ��� �����/.������ �������2� N %q_rNnb�0 5 �� ��� ������ 5������� � �� ����� ����P ��` �+� qi ��� ������ 5������� � �Q� �� ����� ��` �+ � i � ��� ������ " �� ����� _N� �+! ,�2� ��P�� �+��2 �����P� �����P ��� ���� � � �+g �.�������2 ��������� ���+��� ��������� � +������+��� %d0 � �L��Q�� ��M�� ������ ���.+����� ����P �� ���2 �� ��! 1.+������ ������� ��� +�R��� � � +�+�� ����2 M��� �������� ������� � .��� ��������M��� �� 2 .��� � �.+������+ �+��������� �+��� ��P %����0 ���+��� �� ������ ����� ����� ���P� �� ������ ��� �� ��P� ���� � ��� �� ������! ̂ � �� ./ ��.��� � ������� ����� / ����M���� �������� ������� ! $��L���� �P����� ���� ���� / ��� +���2���� 2 �����++P� �� ��P� �55�� ���� � �L��Q�� ������2 P ������� ��������� ������� ! I����� P � ������2 P ������� 5������� � ����M�� ����� � ��M�� ���2 ��� M � ��.��� � ��� �������� / ��� ������ �������� �� ���+���! ���� ��� �������� a9 _ i ` � ���.+� ar � �� +���2���� �����++� ��L����� � �.+����� ��2 ��� %�+��� ��0� ��� � �� � ��� Q� ������� ��� ���Q���� ���� �.+������ �� ��L����� � %�����2 +��� ������ �� ������� i � n � a9r _ n0! ,P����� ��5��+� ����� / ���.+���P� ������2 ��� ���Q���� � ������� �L����M���� ��.��L�2 ���P� ������� �M����� +� ��P � �����/.������+ ��5��������� � ��.����� �� ��5���+� ���� � ��+�2 R/� �� ��P� ����� ������Q���� � ���� ��� ��� � ��� ������� 5���������/�P� ����� J14! ����P� +� ��P �55�� ���� ������ � �Q�2���� 2 ������� ! 4����+���P� �Q�2���� ��+� �P �# 1$42_ � �# 1$4 �2��� ��.��� � �����.����� / ������2 ��� / � �P����� M��� �� ��/��� /� � ��.��]����+ � �M��� /� "_l! &�+� � � +� �� �����/.���� �� ������� ��� ���.+���+�M����� ��������� ���2 ���� +���2 � �������+�� � �������� ���+�� � �� 2 ���� � ������ ����� 5��5���2 � L���5��5�������2 �� ���� � ����� ��������� � ���������� ���+����2 �P� ������� � �����/.������+ ������� ` %qr`0� ������� � N %q_rN0 � ������� �_ %qcr_0� �����.� ar� �� �� ������� �N 3)$2 ���2���� 2���� 2���� 2��N� tuv N��! 3��������P� �������+�� ��/�P� �����2 ������ ����.P��� � M � �. �����/.����P� ������2 �� +����+��/��� M�� � � � ����� ����� / �����2 �� �������� ���+�� �L����M���� ������ �_ ��� �����/.������ �LO�+���� ^(I2���� ��� �� ������ tuv N��! -����� ����� ���� ����� � ���.+� � �� �+����2 ��� ������� � ���� ��5�.�M����+ ������� �����2 ���+ ��� ��+�R� .���� B���+��� �������� �P��2 Q���� [#\ ( ) ( )[ ] ( ),/exp/84/1 c 2/1 eeeee kTeUAmkTenI π= %_0 ��� 0 Y � 4 Y � O " P " Q� " � " 5 f " ��� ��� /� +���� � .�� � ���� �����p ��� � ��� J��/�+���p �+���� ��� ���� �����p ���R��/ .���� B���+���p ���� Q���� �+�R��� �� .����! ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �_ �������� � ��� �� ������������������ �������� 3� ������ ���.+P �� � � ����+ �. �����P� ��2 ��+� ��� ��� ���.+����+ ��������� ��� ����� �2 R�� ���� Q���� ��� � ��� �� ���5��/� �� � �� ����� ����� / ������� ! 1.+����� � ���������P� ��� ��+�R� .���� B���+���� ����.���� M � � ��2 ���/.������+ �����.� ar � ��� ��� / ���.+P ��� ��2 � � � �" � � �+g_� � �� ������ ���.+P ��� ��� � �"# , ��� +�R��� � _�� , � ��"_� , �Q� ��� +�R��� � ��� , ! -��+� ��� ��� � ������� ���� �� ������ / � ����� ����� / ������� � ��� ����+� ���2 � ������ �����! E��� ����M��� �� ������� ���.2 +P %�"�� ,0 �L����M���� ��.��� ��5�� ��L��.������ " +��/]� ���� �+g�! ^������ ����� +�Q�� �.+�� / ����M�� �� ���2 ��Q�����Q� ��/ ���� Q��� �+�R��� %�...g �� ,0! 3�� ���� Q���� �+�R��� � �������� g��...g �� , ���.� ���� ��� ���� .��M��� ��� � ����P� ��� �� ��P+ �L����M���� � ��������� ��� �� ������+ �. ����Q� ��/�P� �����! 3�� �+��/]���� �� ����2 ��� ��.��� �� ���� ����� ��� ��� �R� � �� ��� �+��/]�� ��� ����/��� ��� ��� �R�� ������ � ������� � ar � � M � �� .��� � �����M����+ ������2 � �����L��� r �� ���+����P� ���� ��P! ��� ����+ �L��.�+� �P����M�� � �P� ���.+���P� ���2 ����P ���Q���� � ������� � �����/.������+ .��P ��������M��� �LO�+�P� ���� ���� ^(I L������� � �� � ��� �������� ���� �� � ����������P� ��2 ���Q����� ��� ��.+�Q��� / � ��L+�������� ��2 ������� J14 �����.��� / �������M����� ��.+��P ����"��N +�+� ���.� / ��5�� ��� / 5���������/�P� ����� �� ����� ≤���� �+g� � �����M� / .�� ����� � �L��/��� / +�Q5�.��� ������P ��.���� a9"a9b � � �� ��� �������� � ��� �L��/��� /� ���������� ���� Q��� � ���� Q��� ������� .��! ,��/�������� ������� � +�R��� � ���.+������ ������� ��.��� � �.+�� / ��� ���.� ������ /� �� � ����� ����� / ������� � M � +�Q� ����]�� ��2 ���/.��� /� � ���������� ��������� 5��+�����2 �� � ���5��������� ��� �� �P� ����! 143$B�D$,C&&KF 14�$d&1-1 ! -�.����� ,! 1!� 4������ 4! C! E������������ ���2 �� ��Q�+�� �������� �� ������ / ������� ��� .��P ���.+P �� '�.��� � ��+� �L��L� �� +� �������!" ##�!" � �!" 4! `" ��! �! ~@U8<VYW z! ~9=WU9�@WYV Y:YfWUT< f�f:TWUT< UY=T<8<fY UY8fWTU�; � �8�:Y fT<fY>W ATU 9<WYUXU8WYV f9Uf@9W YWf�9<X �� w9fUTY:YfWUT<9f! w8<@A8fW@U9<X 8<V }Y=W9<X!" #N#!" i �!" �! ��"�N! _! &���� ��P� 4! 3! 3��.+���+�M����� �������P � ��� �+��� ��������� J14 �� ,�� �! )��/����! ��2 �! 4��! '�.�M���� ! G���� M�� ��P� ��� !" ###!" � `�_� �P�! _!" 4! � "�N! `! &���� ��P� 4! 3! '�.���2 ��������M����� ���2 L����� � ���.+���+�M����� ��������� ��L+�������� ��� �+��� ��������� J14 �� ����� �M���� ���� ��2 ������!" ����!" � ��!" 4! � "��! �! &���� ���� 4! 3! 3������+����� ��������� ����2 ���� 5��+����� ��L+�������� ��� �� �� ������� �� ��2 ���/��� ���+ �� ����P �2� E�Q�����! ���M!2���� ! ���5! S4����+���P� ��5��+������P� � ���� ����P� ����2 �����Z!"$�����!" ��� !" 4! ��_"��`! �! &���� ��P� 4! 3!� -����� 1! ,! '�.���2��+�M��2 ��� ���L����� � ��L+�������� �� �M����� �� ����2 5�� J14 �� ,�� �! &* SB/������ ���� ������Z! )�2 +� � �������� ��R�� � � �� ���+������!" ����!" � _#�!" 4! �N"N�! �! r:87 ~! �! }UY<V= 9< >:8=78 =T@UfY= 8<V YWf�9<X �� aT:9V aW8WY }Yf�<T:TX�!" ## !" �T:! _`� i _!" �! ̀ �"��! N! &���� ��P� 4!� 1������ &!� 1������ ,! $��L����2 � � � +����� ������� � ��L+�������� ��������� J14 �� ,�� �! &* �B/������ ���� ������Z! -�+�/� ���P� ��� �+P ����� ������� ! ����� � ���� ���!" ����!g � ̀ ``!" 4! ̀ N"��! #! &���� ��P� 4! 3! ���������M����� 4C3I �� ����2 �� �� ��P� � ��� �� �� '�.��� � ��+� ������� ���!" ����!"�! _� � �!" 4! `N" �#! �� � ��� ������ � �������� �`!�# ���� �! $������ �������������������AR� %,H�*� �! ,������0 ���������D�� ��D��� �S�;��������� ���QT����; ���U��.�����AR�;�������A A �T *������� �! ,������� &11 SH����Z 62789:; fWYf?=�9WT<:9<Y!fT7 41B$,CG E1-I$4)FEC �BG JB$-$, *3IC,BF&1G HCD$ICDIG�&KE1 14�$d&1-CE1 4,F�C ����!%+��#� $(��#� )�#�!���,� ��$%�%� �%!"������������%�#��;�$%��#�#�$�!%� �#,�����%$(��#��!,�E���K%$-���K#VF�& ��(����;� �#-%�#VF�&� �� $!%+��(��!�� �#��'�$��(� $!%��,(� , ��� � R�� ���+ � �������L������R�� ������ ]����� ���+�� � � ���� ����P� ����L��.��� ���� ��L� ��R�� �� ���+� � �P�������/ �P+� ����� ���2 +� �� L�.� E$32 ���.�� ���� [ \! *��.���� ���+� ����M�� � ��L ������ �� � M�� � �� �� �� �H� � �P�������/ �P� %��� ,0 �������� �� ��P� 5��+���2 � �P����P� ������P � ���.�� �� �� +��� M � ��.��2 � � ���/����M���� �� .� / ���.�� ��P �������� � �����P+� ���.�� ���+� � �L����M� / �� ��M���� 5��2 ������������� ���� ������� ����L��.��� �� ! 4�R�� ��� ���L��+� �L����M��� ����Q��� � � ������� ���� ���� ����P� ����L��.��� ���� �.2.� ��� ����� �55�� � �.�R�������� � �P����P� ���2
id oai:tkea.com.ua:article-1339
institution Technology and design in electronic equipment
issn 3083-6549
keywords_txt_mv
language Welsh
last_indexed 2026-08-12T01:01:27Z
publishDate 2002
publisher PE &quot;Politekhperiodika&quot;, Book and Journal Publishers
record_format ojs
resource_txt_mv wwwtkeacomua/f7/7eeb4f229b44cfae8c6622d6c61d8bf7.pdf
spelling oai:tkea.com.ua:article-13392026-08-11T15:29:27Z Plasma technology for the formation of submicron LSI structures Плазменная технология формирования субмикронных структур БИС Novosiadlyi, S. P. plasma technology submicron structures LSI circuits deposition and etching homoepitaxy defect density плазменная технология субмикронные структуры БИС осаждение и травление гомоэпитаксия дефектность High-frequency plasma processes for the deposition and etching of functional layers during the formation of LSI structures with topological dimensions of 0.5–0.8 μm are investigated. The technology ensures minimal induced defect density of functional layers (&amp;lt;0.05 cm⁻²), does not affect the charge state of the Si—SiO₂ interface, and creates favorable conditions for low-temperature (&amp;lt;700°C) homoepitaxy of monosilicon and polysilicon on a Si substrate of any orientation type. Исследованы высокочастотные плазменные процессы осаждения и травления функциональных слоев при формировании структур БИС с топологическими размерами 0,5—0,8 мкм. Технология обеспечивает минимально привносимую дефектность функциональных слоев (&amp;lt;0,05 см–2), не влияет на зарядовое состояние границы раздела Si—SiO2&amp;nbsp;и создает благоприятные условия для осуществления низкотемпературной (&amp;lt;700°C) гомоэпитаксии монокремния и поликремния на Si-подложке любого типа ориентации. PE &quot;Politekhperiodika&quot;, Book and Journal Publishers 2002-12-30 Article Article Peer-reviewed Article application/pdf https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2002.6.57 Technology and design in electronic equipment; No. 6 (2002): Tekhnologiya i konstruirovanie v elektronnoi apparature; 57-63 Технологія та конструювання в електронній апаратурі; № 6 (2002): Технология и конструирование в электронной аппаратуре; 57-63 3083-6549 3083-6530 uk https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2002.6.57/1239 Copyright (c) 2002 Novosiadlyi S. P. http://creativecommons.org/licenses/by/4.0/
spellingShingle плазменная технология
субмикронные структуры
БИС
осаждение и травление
гомоэпитаксия
дефектность
Novosiadlyi, S. P.
Плазменная технология формирования субмикронных структур БИС
title Плазменная технология формирования субмикронных структур БИС
title_alt Plasma technology for the formation of submicron LSI structures
title_full Плазменная технология формирования субмикронных структур БИС
title_fullStr Плазменная технология формирования субмикронных структур БИС
title_full_unstemmed Плазменная технология формирования субмикронных структур БИС
title_short Плазменная технология формирования субмикронных структур БИС
title_sort плазменная технология формирования субмикронных структур бис
topic плазменная технология
субмикронные структуры
БИС
осаждение и травление
гомоэпитаксия
дефектность
topic_facet plasma technology
submicron structures
LSI circuits
deposition and etching
homoepitaxy
defect density
плазменная технология
субмикронные структуры
БИС
осаждение и травление
гомоэпитаксия
дефектность
url https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2002.6.57
work_keys_str_mv AT novosiadlyisp plasmatechnologyfortheformationofsubmicronlsistructures
AT novosiadlyisp plazmennaâtehnologiâformirovaniâsubmikronnyhstrukturbis