Плазменная технология формирования субмикронных структур БИС
High-frequency plasma processes for the deposition and etching of functional layers during the formation of LSI structures with topological dimensions of 0.5–0.8 μm are investigated. The technology ensures minimal induced defect density of functional layers (<0.05 cm⁻²), does not affect t...
Збережено в:
| Опубліковано в: | Технологія та конструювання в електронній апаратурі |
|---|---|
| Дата: | 2002 |
| Випуск: | 6 |
| Сторінки: | 57-63 |
| ISSN: | 3083-6549 |
| Автори та афіліації: |
|
| Автор: | |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Валлійська |
| Опубліковано: |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
2002
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2002.6.57 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Technology and design in electronic equipment |
| Завантажити файл: |  |
Репозитарії
Technology and design in electronic equipmentСхожі ресурси
Плазменная технология формирования субмикронных структур БИС
за авторством: Новосядлый, С.П.
Опубліковано: (2002)
за авторством: Новосядлый, С.П.
Опубліковано: (2002)
Конструктивно-технологические ограничения при проектировании высоковольтных КМОП БИС
за авторством: Verbytskyi, V. H., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Verbytskyi, V. H., та інші
Опубліковано: (2002)
Технология изготовления автоэмиссионных кремниевых катодов субмикронных размеров
за авторством: Druzhynin, A. A., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Druzhynin, A. A., та інші
Опубліковано: (2007)
КМОП БИС 16-разрядного микропроцессора, устойчивого к воздействию γ-радиации
за авторством: Verbitsky, V. G., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Verbitsky, V. G., та інші
Опубліковано: (2004)
Технология изготовления автоэмиссионных кремниевых катодов субмикронных размеров
за авторством: Дружинин, А.A., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Дружинин, А.A., та інші
Опубліковано: (2007)
Плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия
за авторством: Borisenko, A. G., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Borisenko, A. G., та інші
Опубліковано: (2005)
СВЧ-плазменная технология сжигания угольной пыли
за авторством: Ваврив, Д.М., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Ваврив, Д.М., та інші
Опубліковано: (2002)
Плазменная металлургия и ресурс работы плазмотронов
за авторством: Шаповалов, В.А., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Шаповалов, В.А., та інші
Опубліковано: (2010)
Ионно-плазменная модификация титановых сплавов
за авторством: Братушка, С.Н., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Братушка, С.Н., та інші
Опубліковано: (2011)
Технология формирования высококачественных кремниевых эпитаксиальных структур
за авторством: Новосядлый, С.П.
Опубліковано: (1998)
за авторством: Новосядлый, С.П.
Опубліковано: (1998)
Плазменная обработка экономно-легированного теплостойкого наплавленного металла
за авторством: Самотугин, С.С., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Самотугин, С.С., та інші
Опубліковано: (2001)
Получение полуизолирующего кремния для высоковольтных приборов
за авторством: Turtsevich, A. S.
Опубліковано: (2008)
за авторством: Turtsevich, A. S.
Опубліковано: (2008)
Особенности формирования объемного заряда в сильноточной плазменной линзе
за авторством: Завалов, А.М., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Завалов, А.М., та інші
Опубліковано: (2003)
Получение пригодного для сенсорики пористого кремния методом неэлектролитического травления MacEtch
за авторством: Iatsunskyi, I. R.
Опубліковано: (2013)
за авторством: Iatsunskyi, I. R.
Опубліковано: (2013)
Повышение достоверности отбраковки БИС методом понижения питающего напряжения
за авторством: Белоус, А.И., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Белоус, А.И., та інші
Опубліковано: (2001)
Осаждение пленок борофосфоросиликатного стекла с использованием системы ТЭОС – диметилфосфит – триметилборат
за авторством: Turtsevich, A. S., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Turtsevich, A. S., та інші
Опубліковано: (2015)
Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста
за авторством: Nalivaiko, O. Yu., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Nalivaiko, O. Yu., та інші
Опубліковано: (2009)
Оптоэлектронные свойства в гидрогенизированных тонких пленках a-Si1−xGex:H (x = 0−1), полученных плазмохимическим осаждением
за авторством: Najafov, B. A., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Najafov, B. A., та інші
Опубліковано: (2018)
Влияние плазмохимического травления на структуру поверхности кремниевых пластин фотоэлектрических преобразователей
за авторством: Polozov, B. P., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Polozov, B. P., та інші
Опубліковано: (2006)
Ионно-плазменная пассивация поверхности кристаллов CdZnTe
за авторством: Леонов, С.А., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Леонов, С.А., та інші
Опубліковано: (2004)
Manifestation of the Upper Hubbard band in the 2D Hubbard model at low electron density
за авторством: Kagan, M.Yu., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Kagan, M.Yu., та інші
Опубліковано: (2011)
Технологические предпосылки создания МОП-структур с малыми проектными нормами
за авторством: Baranov, V. V.
Опубліковано: (2005)
за авторством: Baranov, V. V.
Опубліковано: (2005)
Получение тонких пленок Si3N4 при пониженном давлении на пластинах диаметром до 200 мм
за авторством: Nalivaiko, O. Yu., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Nalivaiko, O. Yu., та інші
Опубліковано: (2012)
Двумерный оператор Паули в магнитном поле
за авторством: Гриневич, П.Г., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Гриневич, П.Г., та інші
Опубліковано: (2011)
Теплоемкость электронного газа на поверхности нанотрубки со сверхрешеткой в магнитном поле
за авторством: Ермолаев, А.М., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Ермолаев, А.М., та інші
Опубліковано: (2011)
Квантовые осцилляции в перестраиваемом графеновом бислое
за авторством: Фальковский, Л.А.
Опубліковано: (2011)
за авторством: Фальковский, Л.А.
Опубліковано: (2011)
Импактные структуры в морях и океанах
за авторством: Гуров, Е.П.
Опубліковано: (2016)
за авторством: Гуров, Е.П.
Опубліковано: (2016)
Магнитосопротивление наноуглеродных материалов на основе углеродных нанотрубок
за авторством: Лень, Т.А., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Лень, Т.А., та інші
Опубліковано: (2011)
Ненакаливаемые катоды на основе углеродных наноструктурированных слоистых структур
за авторством: Belyanin, A. F., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Belyanin, A. F., та інші
Опубліковано: (2013)
Формирование полированной поверхности халькогенидов Bi и Sb в травильных композициях K2Cr2O7–HBr
за авторством: Pavlovich, I. I., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Pavlovich, I. I., та інші
Опубліковано: (2011)
Wakefield excitation in plasma by ramped sequence of ramped electron bunches
за авторством: Maslov, V.I., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Maslov, V.I., та інші
Опубліковано: (2012)
Excitation of harmonics by flows of the charged particles in the magnetic field
за авторством: Buts, V.A., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Buts, V.A., та інші
Опубліковано: (2009)
Plasma wakefield excitation providing homogeneous focusing of electron bunches
за авторством: Maslov, V.I., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Maslov, V.I., та інші
Опубліковано: (2013)
Wakefield excitation by sequences of relativistic electron bunches in dielectric cavity at detuning bunch repetition frequency and frequency of eigen principal mode
за авторством: Balakirev, V.A., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Balakirev, V.A., та інші
Опубліковано: (2014)
Features of the spectra of nonlinear oscillators in regimes with dynamic chaos
за авторством: Buts, V.А., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Buts, V.А., та інші
Опубліковано: (2018)
Increase of efficiency of acceleration of the test electron bunch by sequence of electron bunches in the dielectric resonator
за авторством: Markov, P.I., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Markov, P.I., та інші
Опубліковано: (2018)
Initial stage of the beam-plasma discharge in helium: simulation via PIC method
за авторством: Kosarevych, B.P., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Kosarevych, B.P., та інші
Опубліковано: (2013)
Wakefield excitation in nonlinear plasma by sequence of relativistic electron bunches
за авторством: Maslov, V.I., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Maslov, V.I., та інші
Опубліковано: (2014)
Influence of the finite Q-factor on excitation of wakefield oscillations in dielectric cavity by a sequence of relativistic electron bunches in the presence of detuning between the resonant frequency and the bunch repetition frequency
за авторством: Balakirev, V.A., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Balakirev, V.A., та інші
Опубліковано: (2015)
Stochastic heating of charged particles
за авторством: Buts, V.A., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Buts, V.A., та інші
Опубліковано: (2013)