Особливості конструкції та технології складання мікроелектронних координатно-чутливих детекторів

• Datum: 2018
• Hauptverfasser: Sidorenko, V. P., Zhora, V. D., Radkevich, O. I., Grunyanska, V. P., Prokofiev, Yu. V., Tayakin, Yu. V., Virozub, Т. М.
• Format: Artikel
• Sprache: Ukrainisch
• Veröffentlicht: PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2018
• Schlagworte: мікроелектронний координатно-чутливий детектор; спеціалізована СБІС; гнучкий поліімідний носій; ультразвукове зварювання
• Online Zugang: https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2018.1.21
• Назва журналу: Technology and design in electronic equipment

The design features and assembly technology of microelectronic coordinate-sensitive detectors of charged particles for spectroscopy are considered. The device is based on the specialized very-large-scale integration (VLSI) crystal manufactured using CMOS technology and containing a charge-sensitive...