Особливості конструкції та технології складання мікроелектронних координатно-чутливих детекторів

• Date: 2018
• Main Authors: Sidorenko, V. P., Zhora, V. D., Radkevich, O. I., Grunyanska, V. P., Prokofiev, Yu. V., Tayakin, Yu. V., Virozub, Т. М.
• Format: Article
• Language: Ukrainian
• Published: PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2018
• Subjects: мікроелектронний координатно-чутливий детектор; спеціалізована СБІС; гнучкий поліімідний носій; ультразвукове зварювання
• Online Access: https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2018.1.21
• Journal Title: Technology and design in electronic equipment

The design features and assembly technology of microelectronic coordinate-sensitive detectors of charged particles for spectroscopy are considered. The device is based on the specialized very-large-scale integration (VLSI) crystal manufactured using CMOS technology and containing a charge-sensitive...