APA (7th ed.) Citation

Hladkovskyi, V. V., & Fedorovich, O. A. (2017). Дослідження впливу кисню на швидкість і анізотропію глибинного травлення кремнію в плазмо-хімічному реакторі з керованим магнітним полем. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Hladkovskyi, V. V., and O. A. Fedorovich. Дослідження впливу кисню на швидкість і анізотропію глибинного травлення кремнію в плазмо-хімічному реакторі з керованим магнітним полем. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers, 2017.

MLA (8th ed.) Citation

Hladkovskyi, V. V., and O. A. Fedorovich. Дослідження впливу кисню на швидкість і анізотропію глибинного травлення кремнію в плазмо-хімічному реакторі з керованим магнітним полем. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers, 2017.