Hladkovskyi, V. V., & Fedorovich, O. A. (2017). Дослідження впливу кисню на швидкість і анізотропію глибинного травлення кремнію в плазмо-хімічному реакторі з керованим магнітним полем. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Hladkovskyi, V. V., und O. A. Fedorovich. Дослідження впливу кисню на швидкість і анізотропію глибинного травлення кремнію в плазмо-хімічному реакторі з керованим магнітним полем. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers, 2017.
MLA-Zitierstil (8. Ausg.)Hladkovskyi, V. V., und O. A. Fedorovich. Дослідження впливу кисню на швидкість і анізотропію глибинного травлення кремнію в плазмо-хімічному реакторі з керованим магнітним полем. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers, 2017.
Achtung: Diese Zitate sind unter Umständen nicht zu 100% korrekt.