Зображення обкладинки

Дослідження впливу кисню на швидкість і анізотропію глибинного травлення кремнію в плазмо-хімічному реакторі з керованим магнітним полем

The article presents the research results on the influence of the amount of oxygen in a mixture with sulfur hexafluoride on the rate and anisotropy of the silicon etching in the plasma-chemical reactor with the controlled magnetic field. The etching was performed under the pressure of (0,3—2,0)·10–3...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2017
Автори:	Hladkovskyi, V. V., Fedorovich, O. A.
Формат:	Стаття
Мова:	Українська
Опубліковано:	PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2017
Теми:	глибинне травлення кремнію анізотропія енергія іонів плазмохімія магнітне поле
Онлайн доступ:	https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2017.4-5.40
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Technology and design in electronic equipment

Репозитарії

Technology and design in electronic equipment

Схожі ресурси

КОРОТКОСТРОКОВЕ ПРОГНОЗУВАННЯ ЕЛЕКТРИЧНОГО НАВАНТАЖЕННЯ ЕЛЕКТРОПОСТАЧАЛЬНОЇ КОМПАНІЇ З ВИКОРИСТАННЯМ ШТУЧНОЇ НЕЙРОННОЇ МЕРЕЖІ ГЛИБИННОГО НАВЧАННЯ
за авторством: Черненко, П.О., та інші
Опубліковано: (2018)

ЧАС ТРАВЛЕННЯ ЇЖІ ТА ІНТЕНСИВНІСТЬ ЖИВЛЕННЯ ЛИЧИНОК РЕБРОПРАВА MNEMIOPSIS LEIDYI A. AGASSIZ (CTENOPHORA, LOBATA)
за авторством: Фіненко, Г. А., та інші
Опубліковано: (2023)

Фізичні фактори, що зумовлюють анізотропію термоерс і анізотропію рухливості в багатодолинних напівпровідниках
за авторством: Баранський, П.І., та інші
Опубліковано: (2013)

РОЗРОБКА ОБЛАДНАННЯ ДЛЯ ЗНЕЗАРАЖЕННЯ ПОВІТРЯ В СИСТЕМАХ ВЕНТИЛЯЦІЇ ТА КОНДИЦІОНУВАННЯ ГРОМАДСЬКИХ БУДІВЕЛЬ МЕТОДАМИ ФОТОКАТАЛІЗУ Й ПЛАЗМОХІМІЇ
за авторством: Lobanov, L., та інші
Опубліковано: (2023)

ФІГУРИ РОЗЧИНЕННЯ НА КРИСТАЛАХ МОНОКРИСТАЛІВ АЛМАЗІВ, ОТРИМАНИХ В ОБЛАСТІ ТЕРМОДИНАМІЧНОЇ СТАБІЛЬНОСТІ.
за авторством: Супрун, Олена, та інші
Опубліковано: (2023)

Швидкість витання – швидкість, зависання − парусна швидкість
за авторством: Тищенко, О.М.
Опубліковано: (2011)

Утворення фрактальних вуглецевих структур у плазмо-дуговому розряді
за авторством: Keush, L. G.
Опубліковано: (2016)

Про системи з повторними викликами та керованим вхідним потоком
за авторством: Лебєдєв, Є.О., та інші
Опубліковано: (2009)

Гідроліз олії у двофазному ферментативному мембранному реакторі
за авторством: Гузикевич, К.Є., та інші
Опубліковано: (2012)

НЕСИНУСОЇДАЛЬНІСТЬ НАПРУГИ В АВТОНОМНІЙ ЕЛЕКТРОЕНЕРГЕТИЧНІЙ СИСТЕМІ З КЕРОВАНИМ ФІЛЬТРОКОМПЕНСУЮЧИМ ПРИСТРОЄМ
за авторством: Жук, О.К., та інші
Опубліковано: (2018)

СИНТЕЗ ГРАФЕНОПОДІБНИХ СТРУКТУР ПЛАЗМО-ДУГОВИМ РОЗРЯДОМ У СЕРЕДОВИЩІ РІДКОГО АЗОТУ
за авторством: Panteleimonov, Radyslav, та інші
Опубліковано: (2020)

Сорбенти на основі оксидів мангану для селективного видалення іонів літію
за авторством: Kotynska, L. Y., та інші
Опубліковано: (2025)

ДОСЛІДЖЕННЯ ШВИДКОГО ПІРОЛІЗУ БІОМАСИ В АБЛЯЦІЙНОМУ ШНЕКОВОМУ РЕАКТОРІ
за авторством: Klimenko, V.M., та інші
Опубліковано: (2016)

Дослідження швидкого піролізу біомаси в абляційному шнековому реакторі
за авторством: Клименко, В.М., та інші
Опубліковано: (2016)

Про шляхи втілення глибинного високотемпературного флюїду в земну кору
за авторством: Наумко, І.М., та інші
Опубліковано: (2008)

Застосування технології глибинного навчання для побудови інтелектуальних автономних машин
за авторством: Білоконь, О.С.
Опубліковано: (2020)

Проект створення республіканського відомства з використання глибинного тепла Землі
за авторством: Луговський, О.Г.
Опубліковано: (2017)

Електрохімічнa мембранна регенерація хлоридних розчинів травлення міді
за авторством: Тевтуль, Я.Ю., та інші
Опубліковано: (2008)

Дослідження дефектної структури фосфіду індію за ямками травлення
за авторством: Сичікова, Я.О.
Опубліковано: (2012)

Приладово-технологічне моделювання магніточутливого сенсора з інтегрованим магнітним концентратором
за авторством: Stempitsky, V. R., та інші
Опубліковано: (2018)

Розподіл магнітної індукції лінійного синхронного двигуна з магнітним підвісом
за авторством: Голенков, Г.М., та інші
Опубліковано: (2013)

Реологічні та електрокінетичні властивості композиційного водовугільного палива на основі органовмісних стічних вод, стабілізованого вуглецевими мікрочастинками
за авторством: Makarov, A. S., та інші
Опубліковано: (2021)

Огляд методів сегментації медичних зображень
за авторством: Chapaliuk, Bohdan V., та інші
Опубліковано: (2018)

Расчет конструктивных параметров реакционной камеры плазмо-дугового реактора для переработки углеродсодержащих сред
за авторством: Пигида, Е.Ю., та інші
Опубліковано: (2012)

Моделювання та оптимізація процесу дозування реагенту в гідравлічному реакторі-змішувачі
за авторством: Филипчук, Л.В.
Опубліковано: (2007)

Дизайн та дослідження фазових характеристик гетероструктури por-Ga2O3/por-GaAs/mono-GaAs
за авторством: Kovachov, S. S., та інші
Опубліковано: (2024)

Дослідження плівок SiC, отриманих на підкладинці porous-Si/Si
за авторством: Kidalov, V. V., та інші
Опубліковано: (2024)

Методика калібрування засобу вимірювання активності іонів калію, фосфату, фториду, амонійного і нітратного азоту
за авторством: Васілевський, О. М.
Опубліковано: (2016)

Комп’ютерне моделювання режиму переривистих струмів електроприводу постійного струму з трифазним керованим випрямлячем
за авторством: Ковальова, Ю.В.
Опубліковано: (2018)

Машинне навчання під час діагностування і моніторингу сонного апное
за авторством: Tkachenko, Dmytro, та інші
Опубліковано: (2020)

Оцінка класифікації зображень для перенесення навчання у згорткових нейронних мережах
за авторством: Мамута, М. С., та інші
Опубліковано: (2023)

ХІМІЧНЕ ЗВ’ЯЗУВАННЯ ДІОКСИДУ СІРКИ У БАРБОТАЖНОМУ РЕАКТОРІ З ВИКОРИСТАННЯМ СЕЧОВИНИ
за авторством: KOLOMIIETS, O.
Опубліковано: (2023)

Про причини глибинного концентрування вод артезіанських басейнів у зоні гіпергенезу (фізико-хімічний аналіз)
за авторством: Кушнір, С.В.
Опубліковано: (2008)

БАГАТОКАНАЛЬНІ СИСТЕМИ ДЛЯ ОПТИЧНОГО ЕМІСІЙНО-СПЕКТРАЛЬНОГО КОНТРОЛЮ ПЛАЗМОХІМІЧНИХ ПРОЦЕСІВ ТРАВЛЕННЯ МІКРОСТРУКТУР
за авторством: Кравченко, С. Ю., та інші
Опубліковано: (2013)

Активні форми кисню та імунітет рослин
за авторством: Дмитрієв, О.П., та інші
Опубліковано: (2005)

Вуглецеві нанотрубки як каталізатори електровідновлення кисню
за авторством: Баклан, В.Ю., та інші
Опубліковано: (2009)

ЕНЕРГЕТИЧНІ ТА ЕКОНОМІЧНІ ПОКАЗНИКИ ТЕХНОЛОГІЇ ШВИДКОГО ПІРОЛІЗУ В АБЛЯЦІЙНОМУ РЕАКТОРІ ШНЕКОВОГО ТИПУ
за авторством: Zubenko, V.I., та інші
Опубліковано: (2018)

ЕЛЕКТРИЧНА МАШИНА З ОСЬОВИМ МАГНІТНИМ ПОТОКОМ, ПОСТІЙНИМИ МАГНІТАМИ І БАГАТОШАРОВИМИ ДРУКОВАНИМИ ОБМОТКАМИ
за авторством: Гребеніков, В.В., та інші
Опубліковано: (2020)

КОМП'ЮТЕРНЕ МОДЕЛЮВАННЯ ПЕРЕХІДНИХ ЕЛЕКТРОМЕХАНІЧНИХ ПРОЦЕСІВ У ВІТРОЕНЕРГЕТИЧНІЙ УСТАНОВЦІ ІЗ МАГНІТНИМ РЕДУКТОРОМ
за авторством: Гребеніков, В.В., та інші
Опубліковано: (2024)

ЕЛЕКТРОМЕХАНІЧНІ ТЯГОВІ ХАРАКТЕРИСТИКИ КОАКСІАЛЬНО-ЛІНІЙНОГО ДВИГУНА З ПОСТІЙНИМИ МАГНІТАМИ ТА МАГНІТНИМ ПІДВІСОМ
за авторством: Голенков, Г.М., та інші
Опубліковано: (2014)