Зображення обкладинки

Дослідження впливу кисню на швидкість і анізотропію глибинного травлення кремнію в плазмо-хімічному реакторі з керованим магнітним полем

The article presents the research results on the influence of the amount of oxygen in a mixture with sulfur hexafluoride on the rate and anisotropy of the silicon etching in the plasma-chemical reactor with the controlled magnetic field. The etching was performed under the pressure of (0,3—2,0)·10–3...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2017
Автори:	Hladkovskyi, V. V., Fedorovich, O. A.
Формат:	Стаття
Мова:	Українська
Опубліковано:	PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2017
Теми:	глибинне травлення кремнію анізотропія енергія іонів плазмохімія магнітне поле
Онлайн доступ:	https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2017.4-5.40
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Technology and design in electronic equipment

Репозитарії

Technology and design in electronic equipment

Схожі ресурси

РОЗРОБКА ОБЛАДНАННЯ ДЛЯ ЗНЕЗАРАЖЕННЯ ПОВІТРЯ В СИСТЕМАХ ВЕНТИЛЯЦІЇ ТА КОНДИЦІОНУВАННЯ ГРОМАДСЬКИХ БУДІВЕЛЬ МЕТОДАМИ ФОТОКАТАЛІЗУ Й ПЛАЗМОХІМІЇ
за авторством: Lobanov, L., та інші
Опубліковано: (2023)

Сорбенти на основі оксидів мангану для селективного видалення іонів літію
за авторством: Kotynska, L. Y., та інші
Опубліковано: (2025)

Реологічні та електрокінетичні властивості композиційного водовугільного палива на основі органовмісних стічних вод, стабілізованого вуглецевими мікрочастинками
за авторством: Makarov, A. S., та інші
Опубліковано: (2021)

Методика калібрування засобу вимірювання активності іонів калію, фосфату, фториду, амонійного і нітратного азоту
за авторством: Васілевський, О. М.
Опубліковано: (2016)

Вилучення іонів цезію та стронцію з водних розчинів з використанням геополімерних матеріалів на основі метакаоліну
за авторством: Tarnovsky, D. V., та інші
Опубліковано: (2024)

Утворення фрактальних вуглецевих структур у плазмо-дуговому розряді
за авторством: Keush, L. G.
Опубліковано: (2016)

ДОСЛІДЖЕННЯ ШВИДКОГО ПІРОЛІЗУ БІОМАСИ В АБЛЯЦІЙНОМУ ШНЕКОВОМУ РЕАКТОРІ
за авторством: Klimenko, V.M., та інші
Опубліковано: (2016)

СИНТЕЗ ГРАФЕНОПОДІБНИХ СТРУКТУР ПЛАЗМО-ДУГОВИМ РОЗРЯДОМ У СЕРЕДОВИЩІ РІДКОГО АЗОТУ
за авторством: Panteleimonov, Radyslav, та інші
Опубліковано: (2020)

НЕСИНУСОЇДАЛЬНІСТЬ НАПРУГИ В АВТОНОМНІЙ ЕЛЕКТРОЕНЕРГЕТИЧНІЙ СИСТЕМІ З КЕРОВАНИМ ФІЛЬТРОКОМПЕНСУЮЧИМ ПРИСТРОЄМ
за авторством: Жук, О.К., та інші
Опубліковано: (2018)

БАГАТОКАНАЛЬНІ СИСТЕМИ ДЛЯ ОПТИЧНОГО ЕМІСІЙНО-СПЕКТРАЛЬНОГО КОНТРОЛЮ ПЛАЗМОХІМІЧНИХ ПРОЦЕСІВ ТРАВЛЕННЯ МІКРОСТРУКТУР
за авторством: Кравченко, С. Ю., та інші
Опубліковано: (2013)

КОРОТКОСТРОКОВЕ ПРОГНОЗУВАННЯ ЕЛЕКТРИЧНОГО НАВАНТАЖЕННЯ ЕЛЕКТРОПОСТАЧАЛЬНОЇ КОМПАНІЇ З ВИКОРИСТАННЯМ ШТУЧНОЇ НЕЙРОННОЇ МЕРЕЖІ ГЛИБИННОГО НАВЧАННЯ
за авторством: Черненко, П.О., та інші
Опубліковано: (2018)

ХІМІЧНЕ ЗВ’ЯЗУВАННЯ ДІОКСИДУ СІРКИ У БАРБОТАЖНОМУ РЕАКТОРІ З ВИКОРИСТАННЯМ СЕЧОВИНИ
за авторством: KOLOMIIETS, O.
Опубліковано: (2023)

Приладово-технологічне моделювання магніточутливого сенсора з інтегрованим магнітним концентратором
за авторством: Stempitsky, V. R., та інші
Опубліковано: (2018)

Частоти нормальних коливань кисню на поверхні силіцію (111)
за авторством: Terebinska, M. I., та інші
Опубліковано: (2014)

ЕНЕРГЕТИЧНІ ТА ЕКОНОМІЧНІ ПОКАЗНИКИ ТЕХНОЛОГІЇ ШВИДКОГО ПІРОЛІЗУ В АБЛЯЦІЙНОМУ РЕАКТОРІ ШНЕКОВОГО ТИПУ
за авторством: Zubenko, V.I., та інші
Опубліковано: (2018)

Отримання мікропоруватих шарів GaAs методом хімічного травлення на підкладках р-GaAs та їхня фотолюмінісценція
за авторством: Paschenko, G. A., та інші
Опубліковано: (2012)

ЕЛЕКТРОХІМІЧНИЙ СЕНСОР ДЛЯ ВИЗНАЧЕННЯ КОНЦЕНТРАЦІЇ КИСНЮ У БІОЛОГІЧНИХ РІДИНАХ
за авторством: Kolbasov, Gennadii
Опубліковано: (2020)

ВІДНОВЛЕННЯ КИСНЮ НА ПОВЕРХНІ НАНОКОМПОЗИТІВ Fe3O4&Au
за авторством: Pirskyy, Yuri, та інші
Опубліковано: (2020)

ЕЛЕКТРИЧНА МАШИНА З ОСЬОВИМ МАГНІТНИМ ПОТОКОМ, ПОСТІЙНИМИ МАГНІТАМИ І БАГАТОШАРОВИМИ ДРУКОВАНИМИ ОБМОТКАМИ
за авторством: Гребеніков, В.В., та інші
Опубліковано: (2020)

ЕЛЕКТРОМЕХАНІЧНІ ТЯГОВІ ХАРАКТЕРИСТИКИ КОАКСІАЛЬНО-ЛІНІЙНОГО ДВИГУНА З ПОСТІЙНИМИ МАГНІТАМИ ТА МАГНІТНИМ ПІДВІСОМ
за авторством: Голенков, Г.М., та інші
Опубліковано: (2014)

КОМП'ЮТЕРНЕ МОДЕЛЮВАННЯ ПЕРЕХІДНИХ ЕЛЕКТРОМЕХАНІЧНИХ ПРОЦЕСІВ У ВІТРОЕНЕРГЕТИЧНІЙ УСТАНОВЦІ ІЗ МАГНІТНИМ РЕДУКТОРОМ
за авторством: Гребеніков, В.В., та інші
Опубліковано: (2024)

ВПЛИВ ПОЛІВІНІЛПІРОЛІДОНУ НА СИНТЕЗ І КАТАЛІТИЧНІ ВЛАСТИВОСТІ ПЛАТИНОВМІСНИХ КАТАЛІЗАТОРІВ ЕЛЕКТРОВІДНОВЛЕННЯ КИСНЮ
за авторством: Pirskyy, Yuriy, та інші
Опубліковано: (2020)

Вплив адсорбції кисню і води на термоелектричну роботу виходу монокристалів GeS
за авторством: Savchenko, N. D., та інші
Опубліковано: (2011)

Ехолокація у хвилеводах за відсутності реперів та апріорних даних про швидкість звуку
за авторством: Naumenko, I. Ia., та інші
Опубліковано: (2017)

ВПЛИВ КИСНЮ НА РІДКОФАЗНЕ СПІКАННЯ КЕРМЕТІВ З НАНОДИСПЕРСНИХ СИСТЕМ TiN–Ni
за авторством: Кайдаш, Оксана
Опубліковано: (2019)

ДОСЛІДЖЕННЯ АБСОРБЦІЇ КИСНЮ ПОВІТРЯ В ФЕРМЕНТАЦІЙНОМУ АПАРАТІ З ДИСКРЕТНО-ІМПУЛЬСНИМ ВВЕДЕННЯМ ЕНЕРГІЇ
за авторством: Obodovich, А., та інші
Опубліковано: (2016)

ВПЛИВ ЗАМІСНИКІВ НА ШВИДКІСТЬ РЕАКЦІЇ ЗАМІЩЕНИХ АНІЛІНІВ З БЕНЗОЙНОЮ КИСЛОТОЮ, ЩО КАТАЛІЗУЄТЬСЯ ПОЛІБУТОКСІТІТАНАТАМИ
за авторством: Shteynberg, Leon
Опубліковано: (2020)

ВПЛИВ ЗАМІСНИКІВ НА ШВИДКІСТЬ РЕАКЦІЇ ОРТОЗАМІЩЕНИХ БЕНЗОЙНИХ КИСЛОТ З АНІЛІНОМ, ЩО КАТАЛІЗУЄТЬСЯ ПОЛІБУТОКСИТИТАНАТАМИ
за авторством: Shteinberg, Leon
Опубліковано: (2021)

Дослідження впливу природної та штучної пасивації на швидкість корозії магнієвого сплаву для хірургічних імплантатів
за авторством: Greshta, V.L.
Опубліковано: (2024)

ПРИСКОРЕННЯ ДІЇ АВТОМАТИЧНОГО ЧАСТОТНОГО РОЗВАНТАЖЕННЯ ЕНЕРГОСИСТЕМИ ЗА РАХУНОК ВИКОРИСТАННЯ ІНФОРМАЦІЇ ПРО ШВИДКІСТЬ ЗНИЖЕННЯ ЧАСТОТИ
за авторством: Авраменко, В.М., та інші
Опубліковано: (2016)

ВСТАНОВЛЕННЯ УСТАЛЕНОГО РЕЖИМУ В МЕРЕЖІ З УМОВНО ДВАНАДЦЯТИФАЗНИМ КЕРОВАНИМ КОМПЕНСАЦІЙНИМ ПЕРЕТВОРЮВАЧЕМ ПРИ ПОСЛІДОВНОМУ ПРЯМОМУ ПУСКУ ВІД НЕЇ ГРУПИ ПОТУЖНИХ АСИНХРОННИХ МАШИН
за авторством: Блінов, І.В., та інші
Опубліковано: (2025)

ВПЛИВ ЗАМІСНИКІВ НА ШВИДКІСТЬ РЕАКЦІЇ МЕТА- І ПАРАЗАМІЩЕНИХ БЕНЗОЙНИХ КИСЛОТ З АНІЛІНОМ, ЩО КАТАЛІЗУЄТЬСЯ ПОЛІБУТОКСІТИТАНАТАМИ
за авторством: Shteynberg, Leon
Опубліковано: (2020)

Фізична модель двокамерного проміжного ковша з магнітним перемішуванням: Processy litʹâ, 2019, Tom 137, №5, p.3-10
за авторством: Дубодєлов, В. І., та інші
Опубліковано: (2019)

ВПЛИВ УМОВ ЛУЖНОЇ ПОПЕРЕДНЬОЇ ОБРОБКИ РОСЛИННОЇ СИРОВИНИ ДО ГІДРОЛІЗУ В РОТОРНО-ПУЛЬСАЦІЙНОМУ АПАРАТІ НА ШВИДКІСТЬ ПЕРЕТВОРЕННЯ ЦЕЛЮЛОЗИ
за авторством: BLUME, Ya., та інші
Опубліковано: (2024)

Индуктивность, перестраиваемая электрическим полем
за авторством: Semenov, A. A., та інші
Опубліковано: (2009)

АВТОМАТИЧЕСКОЕ УПРАВЛЕНИЕ ВНЕШНИМ МАГНИТНЫМ ПОЛЕМ ТЕХНИЧЕСКИХ ОБЪЕКТОВ
за авторством: Розов, В.Ю., та інші
Опубліковано: (2010)

Особенности стирания информации с многодисковых винчестеров импульсным магнитным полем
за авторством: Gerus, S. V., та інші
Опубліковано: (2010)

ОБРОБКА ЗВАРНИХ З’ЄДНАНЬ ІМПУЛЬСНИМ ЕЛЕКТРОМАГНІТНИМ ПОЛЕМ ПРИ СИЛЬНОМУ СКІН-ЕФЕКТІ
за авторством: Васецький, Ю.М., та інші
Опубліковано: (2018)

ОБРОБКА ЗВАРНИХ З’ЄДНАНЬ ІМПУЛЬСНИМ ЕЛЕКТРОМАГНІТНИМ ПОЛЕМ ПРИ СЛАБКОМУ СКІН-ЕФЕКТІ
за авторством: Васецький, Ю.М., та інші
Опубліковано: (2018)

ДИСИПАЦІЯ ЕНЕРГІЇ НИЗЬКОМОЛЕКУЛЯРНИМИ РЕЧОВИНАМИ ПІД ЧАС ЗОНДУВАННЯ ЕЛЕКТРИЧНИМ ПОЛЕМ БАГАТОЖИЛЬНИХ КАБЕЛІВ АТОМНИХ ЕЛЕКТРИЧНИХ СТАНЦІЙ
за авторством: Безпрозванних, Г.В.
Опубліковано: (2024)