Вплив електронного опромінення на оптичні властивості плівок нанокристалічного SiC на підкладках із монокристала Al2O3

• Datum: 2017
• Hauptverfasser: Semenov, O. V., Lopin, A. V., Boriskin, V. N.
• Format: Artikel
• Sprache: Ukrainian
• Veröffentlicht: PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2017
• Schlagworte: нанокристалічні плівки SiC; монокристали Al2O3; спектри поглинання; опромінення електронами; радіаційні дефекти; радіаційне впорядкування; відпал дефектів
• Online Zugang: https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2017.3.40
• Назва журналу: Technology and design in electronic equipment

It was studied the effect of irradiation with high-energy (10 MeV) electrons on the optical properties of nanocrystalline carbide film system silicon / sapphire substrates in a wide range of fluences of 5·1014 to 2·1020 cm–2 and subsequent annealing in vacuum in the range of 200—12...