Получение, свойства и применение тонких нанонеоднородных пленок Ge на GaAs-подложках
Ge thin films condensation in vacuum onto semiinsulating GaAs(100) substrates was investigated. The methods of atomic-force microscopy, optical spectroscopy, measurement of intrinsic mechanical stresses in film, and electronic properties were used for this investigation. It was found that it is poss...
Gespeichert in:
| Datum: | 2014 |
|---|---|
| Hauptverfasser: | , , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Ukrainian |
| Veröffentlicht: |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
2014
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2014.4.39 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Technology and design in electronic equipment |
Institution
Technology and design in electronic equipment| id |
oai:tkea.com.ua:article-313 |
|---|---|
| record_format |
ojs |
| spelling |
oai:tkea.com.ua:article-3132025-05-30T19:33:46Z Fabrication, properties and application of Ge-on-GaAs thin nanoheterogeneous films Получение, свойства и применение тонких нанонеоднородных пленок Ge на GaAs-подложках Venger, E. F. Lytvyn, P. M. Matveeva, L. A. Mitin, V. F. Kholevchuk, V. V. Ge films growth rate surface morphology electronic and optical properties intrinsic mechanical stresses пленки германия скорость роста морфология поверхности электронные и оптические свойства внутренние механические напряжения Ge thin films condensation in vacuum onto semiinsulating GaAs(100) substrates was investigated. The methods of atomic-force microscopy, optical spectroscopy, measurement of intrinsic mechanical stresses in film, and electronic properties were used for this investigation. It was found that it is possible to obtain thin nanoheterogeneous monocrystalline dislocation-free films with low intrinsic mechanical stresses and two-dimension percolation-type conductivity, as well as high temperature sensitivity that can be used for IR and electronics technologies. Исследована технология конденсации в вакууме тонких нанонеоднородных пленок Ge на полуизолирующие подложки GaAs (100). Использованы методы атомно-силовой микроскопии, оптической спектроскопии, измерения внутренних механических напряжений в пленке и ее электронных свойств. Показана возможность получения тонких нанонеоднородных монокристаллических бездислокационных пленок с низким уровнем механических напряжений, двумерной перколяционной электропроводностью и высокой термической чувствительностью, которые могут быть использованы в ИК и электронной технике. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2014-08-29 Article Article Peer-reviewed Article application/pdf https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2014.4.39 10.15222/TKEA2014.4.39 Technology and design in electronic equipment; No. 4 (2014): Tekhnologiya i konstruirovanie v elektronnoi apparature; 39-44 Технологія та конструювання в електронній апаратурі; № 4 (2014): Технология и конструирование в электронной аппаратуре; 39-44 3083-6549 3083-6530 uk https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2014.4.39/277 Copyright (c) 2014 Venger E. F., Lytvyn P. M., Matveeva L. A., Mitin V. F., Kholevchuk V. V. http://creativecommons.org/licenses/by/4.0/ |
| institution |
Technology and design in electronic equipment |
| baseUrl_str |
|
| datestamp_date |
2025-05-30T19:33:46Z |
| collection |
OJS |
| language |
Ukrainian |
| topic |
пленки германия скорость роста морфология поверхности электронные и оптические свойства внутренние механические напряжения |
| spellingShingle |
пленки германия скорость роста морфология поверхности электронные и оптические свойства внутренние механические напряжения Venger, E. F. Lytvyn, P. M. Matveeva, L. A. Mitin, V. F. Kholevchuk, V. V. Получение, свойства и применение тонких нанонеоднородных пленок Ge на GaAs-подложках |
| topic_facet |
Ge films growth rate surface morphology electronic and optical properties intrinsic mechanical stresses пленки германия скорость роста морфология поверхности электронные и оптические свойства внутренние механические напряжения |
| format |
Article |
| author |
Venger, E. F. Lytvyn, P. M. Matveeva, L. A. Mitin, V. F. Kholevchuk, V. V. |
| author_facet |
Venger, E. F. Lytvyn, P. M. Matveeva, L. A. Mitin, V. F. Kholevchuk, V. V. |
| author_sort |
Venger, E. F. |
| title |
Получение, свойства и применение тонких нанонеоднородных пленок Ge на GaAs-подложках |
| title_short |
Получение, свойства и применение тонких нанонеоднородных пленок Ge на GaAs-подложках |
| title_full |
Получение, свойства и применение тонких нанонеоднородных пленок Ge на GaAs-подложках |
| title_fullStr |
Получение, свойства и применение тонких нанонеоднородных пленок Ge на GaAs-подложках |
| title_full_unstemmed |
Получение, свойства и применение тонких нанонеоднородных пленок Ge на GaAs-подложках |
| title_sort |
получение, свойства и применение тонких нанонеоднородных пленок ge на gaas-подложках |
| title_alt |
Fabrication, properties and application of Ge-on-GaAs thin nanoheterogeneous films |
| description |
Ge thin films condensation in vacuum onto semiinsulating GaAs(100) substrates was investigated. The methods of atomic-force microscopy, optical spectroscopy, measurement of intrinsic mechanical stresses in film, and electronic properties were used for this investigation. It was found that it is possible to obtain thin nanoheterogeneous monocrystalline dislocation-free films with low intrinsic mechanical stresses and two-dimension percolation-type conductivity, as well as high temperature sensitivity that can be used for IR and electronics technologies. |
| publisher |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers |
| publishDate |
2014 |
| url |
https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2014.4.39 |
| work_keys_str_mv |
AT vengeref fabricationpropertiesandapplicationofgeongaasthinnanoheterogeneousfilms AT lytvynpm fabricationpropertiesandapplicationofgeongaasthinnanoheterogeneousfilms AT matveevala fabricationpropertiesandapplicationofgeongaasthinnanoheterogeneousfilms AT mitinvf fabricationpropertiesandapplicationofgeongaasthinnanoheterogeneousfilms AT kholevchukvv fabricationpropertiesandapplicationofgeongaasthinnanoheterogeneousfilms AT vengeref polučeniesvojstvaiprimenenietonkihnanoneodnorodnyhplenokgenagaaspodložkah AT lytvynpm polučeniesvojstvaiprimenenietonkihnanoneodnorodnyhplenokgenagaaspodložkah AT matveevala polučeniesvojstvaiprimenenietonkihnanoneodnorodnyhplenokgenagaaspodložkah AT mitinvf polučeniesvojstvaiprimenenietonkihnanoneodnorodnyhplenokgenagaaspodložkah AT kholevchukvv polučeniesvojstvaiprimenenietonkihnanoneodnorodnyhplenokgenagaaspodložkah |
| first_indexed |
2025-09-24T17:30:43Z |
| last_indexed |
2025-09-24T17:30:43Z |
| _version_ |
1850410237439246336 |