Golishnikov, А. А., & Putrya, M. G. (2014). Разработка процесса глубокого плазменного травления кремния для технологии трехмерной интеграции кристаллов. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Golishnikov, А. А., und M. G. Putrya. Разработка процесса глубокого плазменного травления кремния для технологии трехмерной интеграции кристаллов. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers, 2014.
MLA-Zitierstil (8. Ausg.)Golishnikov, А. А., und M. G. Putrya. Разработка процесса глубокого плазменного травления кремния для технологии трехмерной интеграции кристаллов. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers, 2014.
Achtung: Diese Zitate sind unter Umständen nicht zu 100% korrekt.