APA (7th ed.) Citation

Golishnikov, А. А., & Putrya, M. G. (2014). Разработка процесса глубокого плазменного травления кремния для технологии трех­мер­ной интеграции кристаллов. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Golishnikov, А. А., and M. G. Putrya. Разработка процесса глубокого плазменного травления кремния для технологии трех­мер­ной интеграции кристаллов. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers, 2014.

MLA (8th ed.) Citation

Golishnikov, А. А., and M. G. Putrya. Разработка процесса глубокого плазменного травления кремния для технологии трех­мер­ной интеграции кристаллов. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers, 2014.

Warning: These citations may not always be 100% accurate.