Golishnikov, А. А., & Putrya, M. G. (2014). Разработка процесса глубокого плазменного травления кремния для технологии трехмерной интеграции кристаллов. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers.
Чикаго стиль цитування (17-те видання)Golishnikov, А. А., та M. G. Putrya. Разработка процесса глубокого плазменного травления кремния для технологии трехмерной интеграции кристаллов. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers, 2014.
Стиль цитування MLA (8-ме видання)Golishnikov, А. А., та M. G. Putrya. Разработка процесса глубокого плазменного травления кремния для технологии трехмерной интеграции кристаллов. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers, 2014.
Попередження: стилі цитування не завжди правильні на всі 100%.