Разработка процесса глубокого плазменного травления кремния для технологии трехмерной интеграции кристаллов
Plasma etch process for thought-silicon via (TSV) formation is one of the most important technological operations in the field of metal connections' creation between stacked circuits in 3D assemble technology. TSV formation strongly depends on parameters such as Si-wafer thickness, aspect ratio...
Збережено в:
| Дата: | 2014 |
|---|---|
| Автори: | , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Українська |
| Опубліковано: |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
2014
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2014.1.36 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Technology and design in electronic equipment |
Репозитарії
Technology and design in electronic equipmentСхожі ресурси
Разработка процесса глубокого плазменного травления кремния для технологии трехмерной интеграции кристаллов
за авторством: Голишников, А.А., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Голишников, А.А., та інші
Опубліковано: (2014)
Формирование мезаструктур 4НSiC p–i–n-диодов методом ионно-плазменного травления
за авторством: Boltovets, M. S., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Boltovets, M. S., та інші
Опубліковано: (2009)
Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей
за авторством: Fedorovich, O. A., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Fedorovich, O. A., та інші
Опубліковано: (2009)
Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок
за авторством: Ivanchykau, A. E., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Ivanchykau, A. E., та інші
Опубліковано: (2009)
Высокочастотные разряды низкого давления в технологии малоэнергоемкого вакуумно-плазменного травления микроструктур
за авторством: Фареник, В.И.
Опубліковано: (2004)
за авторством: Фареник, В.И.
Опубліковано: (2004)
Исследование свойств пленок нитрида и оксида кремния, полученных методом плазмохимического осаждения на кремниевую подложку
за авторством: Rubtsevich, I. I., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Rubtsevich, I. I., та інші
Опубліковано: (2011)
Фотоэлектрические свойства гетеропереходов n-SiC/n-Si
за авторством: Semenov, A. V., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Semenov, A. V., та інші
Опубліковано: (2012)
Формирование мезаструктур 4НSiC p–i–n-диодов методом ионно-плазменного травления
за авторством: Болтовец, Н.С., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Болтовец, Н.С., та інші
Опубліковано: (2009)
Низкоразмерные кристаллы кремния для фотоэлектрических преобразователей
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2011)
Исследования и разработка технологических систем на базе ВЧ индукционного разряда для реактивного ионно-плазменного травления микро- и наноструктур
за авторством: Дудин, С.В.
Опубліковано: (2009)
за авторством: Дудин, С.В.
Опубліковано: (2009)
Получение тонких пленок Si3N4 при пониженном давлении на пластинах диаметром до 200 мм
за авторством: Nalivaiko, O. Yu., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Nalivaiko, O. Yu., та інші
Опубліковано: (2012)
Допустимые преобразования мер
за авторством: Габриелян, С.С.
Опубліковано: (2005)
за авторством: Габриелян, С.С.
Опубліковано: (2005)
Гильбертово пространство мер
за авторством: Зеракидзе, З.С.
Опубліковано: (1986)
за авторством: Зеракидзе, З.С.
Опубліковано: (1986)
О связи целочисленных марковских мер и мер с независимыми значениями
за авторством: Баховец, Е.Б.
Опубліковано: (1987)
за авторством: Баховец, Е.Б.
Опубліковано: (1987)
Пределы аналитических векторных мер
за авторством: Романов, В.А.
Опубліковано: (1992)
за авторством: Романов, В.А.
Опубліковано: (1992)
Слабые базисы векторных мер
за авторством: Романов, В.А.
Опубліковано: (2007)
за авторством: Романов, В.А.
Опубліковано: (2007)
Высокоэффективные катодные элементы для газоразрядных источников света
за авторством: Sevastyanov, V. V., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Sevastyanov, V. V., та інші
Опубліковано: (2009)
Вторичный эталон яркости на базе галогенной лампы с рассеивателем
за авторством: Mikheenko, L. А., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Mikheenko, L. А., та інші
Опубліковано: (2008)
Моделирование термоэлектрического микрогенератора с каталитическим источником тепла на газовом топливе
за авторством: Strutynska, L. T.
Опубліковано: (2008)
за авторством: Strutynska, L. T.
Опубліковано: (2008)
Моделирование трехмерной вихревой структуры
за авторством: Васин, П.А., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Васин, П.А., та інші
Опубліковано: (2018)
Самовозбуждение крутильных колебаний колонн глубокого бурения
за авторством: Гуляев, В.И., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Гуляев, В.И., та інші
Опубліковано: (2009)
Квазистатические критические состояния колонн глубокого бурения
за авторством: Гуляев, В.И., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Гуляев, В.И., та інші
Опубліковано: (2006)
Получение периодических слоев GaAs методом электрохимического травления
за авторством: Дяденчук, А.Ф., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Дяденчук, А.Ф., та інші
Опубліковано: (2014)
Эксплуатационные показатели качества транспортной телекоммуникационной первичной сети Украины
за авторством: Bondarenko, O. V., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Bondarenko, O. V., та інші
Опубліковано: (2013)
Термоэлектрический источник питания для электронного медицинского термометра
за авторством: Anatychuk, L. I., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Anatychuk, L. I., та інші
Опубліковано: (2014)
Автоматизированная диагностика химических источников тока
за авторством: Dzenzerskiy, V. A., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Dzenzerskiy, V. A., та інші
Опубліковано: (2011)
АВТОМАТИЧЕСКОЕ УПРАВЛЕНИЕ ВНЕШНИМ МАГНИТНЫМ ПОЛЕМ ТЕХНИЧЕСКИХ ОБЪЕКТОВ
за авторством: Розов, В.Ю., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Розов, В.Ю., та інші
Опубліковано: (2010)
ПЕРЕХОДНЫЕ ПРОЦЕССЫ В ВЫХОДНЫХ ЦЕПЯХ ИСТОЧНИКА ПИТАНИЯ, РАБОТАЮЩЕГО НА НЕСТАЦИОНАРНУЮ ТЕХНОЛОГИЧЕСКУЮ НАГРУЗКУ
за авторством: Руденко, Ю.В.
Опубліковано: (2013)
за авторством: Руденко, Ю.В.
Опубліковано: (2013)
Кинетика сегрегации в хромоникелевых сталях при интенсив-ной пластической деформации
за авторством: Стефанович, Л.И., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Стефанович, Л.И., та інші
Опубліковано: (2010)
Канонические функции допустимых мер в полуплоскости
за авторством: Малютин, К.Г., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Малютин, К.Г., та інші
Опубліковано: (2013)
Бифуркации и мультистабильность колебаний трехмерной системы
за авторством: Мартынюк, А.А., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Мартынюк, А.А., та інші
Опубліковано: (2015)
Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей
за авторством: Федорович, О.А., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Федорович, О.А., та інші
Опубліковано: (2009)
Высокочастотный реактор с асимметричными электродами для плазмохимического травления полупроводников
за авторством: Дудин, С.В., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Дудин, С.В., та інші
Опубліковано: (2011)
Гибридные энергонакопители на основе аккумуляторов и суперконденсаторов для контактной микросварки
за авторством: Bondarenko, Yu. V., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Bondarenko, Yu. V., та інші
Опубліковано: (2014)
Модели комплексированных мер подобия структурных описаний изображений
за авторством: Гороховатский, В.А., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Гороховатский, В.А., та інші
Опубліковано: (2011)
Конечномерные аппроксимации диффузионных мер в гильбертовом пространстве
за авторством: Бондаренко, В.Г.
Опубліковано: (1999)
за авторством: Бондаренко, В.Г.
Опубліковано: (1999)
Логарифмические производные диффузионных мер в гильбертовом пространстве
за авторством: Бондаренко, В.Г.
Опубліковано: (2000)
за авторством: Бондаренко, В.Г.
Опубліковано: (2000)
Метод трехмерной триангуляции в задачах кластерного анализа
за авторством: Бусыгин, Б.С., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Бусыгин, Б.С., та інші
Опубліковано: (2010)
Концепционный проект плазменного резонансного сепаратора
за авторством: Довбня, А.Н., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Довбня, А.Н., та інші
Опубліковано: (2003)
Исследование абсолютной интервальной равномерной устойчивости систем нейтрального типа методом функций Ляпунова
за авторством: Шатырко, А.В., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Шатырко, А.В., та інші
Опубліковано: (2011)