Зображення обкладинки

Разработка процесса глубокого плазменного травления кремния для технологии трехмерной интеграции кристаллов

Plasma etch process for thought-silicon via (TSV) formation is one of the most important technological operations in the field of metal connections' creation between stacked circuits in 3D assemble technology. TSV formation strongly depends on parameters such as Si-wafer thickness, aspect ratio...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2014
Автори:	Golishnikov, А. А., Putrya, M. G.
Формат:	Стаття
Мова:	Українська
Опубліковано:	PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2014
Теми:	процесс глубокого травления кремния сквозные отверстия в кремнии TSV источник трансформаторно-связанной плазмы технология трехмерной интеграции кристаллов
Онлайн доступ:	https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2014.1.36
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Technology and design in electronic equipment

Репозитарії

Technology and design in electronic equipment

Схожі ресурси

Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей
за авторством: Fedorovich, O. A., та інші
Опубліковано: (2009)

Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок
за авторством: Ivanchykau, A. E., та інші
Опубліковано: (2009)

Гильбертово пространство мер
за авторством: Зеракидзе, З.С.
Опубліковано: (1986)

О связи целочисленных марковских мер и мер с независимыми значениями
за авторством: Баховец, Е.Б.
Опубліковано: (1987)

Квазистатические критические состояния колонн глубокого бурения
за авторством: Гуляев, В.И., та інші
Опубліковано: (2006)

Самовозбуждение крутильных колебаний колонн глубокого бурения
за авторством: Гуляев, В.И., та інші
Опубліковано: (2009)

Пределы аналитических векторных мер
за авторством: Романов, В.А.
Опубліковано: (1992)

Слабые базисы векторных мер
за авторством: Романов, В.А.
Опубліковано: (2007)

Получение периодических слоев GaAs методом электрохимического травления
за авторством: Дяденчук, А.Ф., та інші
Опубліковано: (2014)

Эксплуатационные показатели качества транспортной телекоммуникационной первичной сети Украины
за авторством: Bondarenko, O. V., та інші
Опубліковано: (2013)

Математическое моделирование теплового состояния аппарата щеткодержателей в трехмерной постановке
за авторством: Третьяк, А.В.
Опубліковано: (2018)

О потерянных возможностях европейской интеграции
за авторством: Молдован, Д.
Опубліковано: (2009)

Стратегия экономической интеграции стран СНГ
за авторством: Наливайченко, Е.В.
Опубліковано: (2005)

О непрерывности вероятностных мер в задачах принятия решени
за авторством: Пасичниченко, И.А.
Опубліковано: (2014)

Высокочастотный реактор с асимметричными электродами для плазмохимического травления полупроводников
за авторством: Дудин, С.В., та інші
Опубліковано: (2011)

Кинетические параметры роста E. coli после глубокого замораживания в присутствии диэтилсульфоксида
за авторством: Маркарян, Ш.А., та інші
Опубліковано: (2003)

Кинетика сегрегации в хромоникелевых сталях при интенсив-ной пластической деформации
за авторством: Стефанович, Л.И., та інші
Опубліковано: (2010)

Модель трехмерной структуры основной антигенной детерминанты белка gp120 HIVThailand
за авторством: Андрианов, А.М.
Опубліковано: (2003)

Существование согласованного k-аддитивного продолжения мер в теории возможностей
за авторством: Бычков, А.С., та інші
Опубліковано: (2009)

В трех шагах от субмаринной добычи газогидратов
за авторством: Шнюков, Е.Ф., та інші
Опубліковано: (2007)

О трёх городищах скифского времени Путивльского Посеймья
за авторством: Каравайко, Д.В.
Опубліковано: (2018)

Определение критических нагрузок в задаче трехмерной устойчивости тонкостенного стержня уголкового профиля
за авторством: Зеленский, В.С.
Опубліковано: (2006)

Тепловая и газодинамическая модель охлаждаемой лопатки ГТД в трехмерной сопряженной постановке
за авторством: Круковский, П.Г., та інші
Опубліковано: (2004)

Опыт интеграции Украины в европейское образовательное пространство
за авторством: Подсолонко, Е.А.
Опубліковано: (2005)

Тенденции и перспективы интеграции региональных исторических исследований
за авторством: Маловичко, С., та інші
Опубліковано: (2007)

Открыто-замкнутые основания сред интеграции. Часть I
за авторством: Редько, И.В.
Опубліковано: (2010)

Графовые запросы для интеграции данных посредством XML
за авторством: Тульчинский, В.Г., та інші
Опубліковано: (2008)

Приоритетная форма интеграции предприятий химического комплекса Украины
за авторством: Асанова, Э.
Опубліковано: (2005)

Получение пригодного для сенсорики пористого кремния методом неэлектролитического травления MacEtch
за авторством: Iatsunskyi, I. R.
Опубліковано: (2013)

Получение пригодного для сенсорики пористого кремния методом неэлектролитического травления MacEtch
за авторством: Яцунский, И.Р.
Опубліковано: (2013)

Высокотемпературные стабильные растворы химического меднения и травления в производстве печатных плат
за авторством: Гилене, О.
Опубліковано: (1998)

Высокочастотные разряды низкого давления в технологии малоэнергоемкого вакуумно-плазменного травления микроструктур
за авторством: Фареник, В.И.
Опубліковано: (2004)

Роль парогазового канала в формировании глубокого проплавления при А-ТИГ сварке нержавеющей стали
за авторством: Патон, Б.Е., та інші
Опубліковано: (2006)

Вариации плазменных температур в ионосфере над Харьковом в течение глубокого минимума солнечной активности
за авторством: Сюсюк, М.Н., та інші
Опубліковано: (2016)

Об устойчивости относительно двух мер системы уравнений с дробными производными
за авторством: Мартынюк, А.А.
Опубліковано: (2015)

Случай трех инвариантных соотношений уравнений движения неавтономного гиростата
за авторством: Мазнев, А.В.
Опубліковано: (2012)

Исследование абсолютной интервальной равномерной устойчивости систем нейтрального типа методом функций Ляпунова
за авторством: Шатырко, А.В., та інші
Опубліковано: (2011)

О логарифмическом вычете моногенных функций в трехмерной гармонической алгебре с двумерным радикалом
за авторством: Плакса, С.А., та інші
Опубліковано: (2013)

Сильный глобальный аттрактор трехмерной системы уравнений навье–стокса в неограниченной каналоподобной области
за авторством: Горбань, Н.В., та інші
Опубліковано: (2015)

Обоснование мер противодействия коррупции в системе налоговых отношений Украины: неоинституциональная модель
за авторством: Половян, А.В., та інші
Опубліковано: (2011)