Buchumschlag

Разработка процесса глубокого плазменного травления кремния для технологии трехмерной интеграции кристаллов

Plasma etch process for thought-silicon via (TSV) formation is one of the most important technological operations in the field of metal connections' creation between stacked circuits in 3D assemble technology. TSV formation strongly depends on parameters such as Si-wafer thickness, aspect ratio...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Datum:	2014
Hauptverfasser:	Golishnikov, А. А., Putrya, M. G.
Format:	Artikel
Sprache:	Ukrainisch
Veröffentlicht:	PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2014
Schlagworte:	процесс глубокого травления кремния сквозные отверстия в кремнии TSV источник трансформаторно-связанной плазмы технология трехмерной интеграции кристаллов
Online Zugang:	https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2014.1.36
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Technology and design in electronic equipment

Institution

Technology and design in electronic equipment

Ähnliche Einträge

Разработка процесса глубокого плазменного травления кремния для технологии трехмерной интеграции кристаллов
von: Голишников, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Формирование мезаструктур 4НSiC p–i–n-диодов методом ионно-плазменного травления
von: Boltovets, M. S., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Система фотометрического контроля скорости травления тонких диэлектрических пленок
von: Semyonova, S. E., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей
von: Fedorovich, O. A., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок
von: Ivanchykau, A. E., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Исследование свойств пленок нитрида и оксида кремния, полученных методом плазмохимического осаждения на кремниевую подложку
von: Rubtsevich, I. I., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Монтаж микросборок с подложкой из кремния
von: Spirin, V. G.
Veröffentlicht: (2005)

Фотоэлектрические свойства гетеропереходов n-SiC/n-Si
von: Semenov, A. V., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Способ электродугового восстановления кремния
von: Solovyov, O. V., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Выращивание крупногабаритных монокристаллов вольфрамата кадмия с высокой оптической однородностью
von: Solskii, I. M.
Veröffentlicht: (2005)

Низкоразмерные кристаллы кремния для фотоэлектрических преобразователей
von: Druzhinin, A. A., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Газоанализаторы на основе пористого карбида кремния
von: Moskovchenko, N. N., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Высокочастотные разряды низкого давления в технологии малоэнергоемкого вакуумно-плазменного травления микроструктур
von: Фареник, В.И.
Veröffentlicht: (2004)

Применение феррогранатовых эпитаксиальных структур в сверхвысокочастотной электронике
von: Yushchuk, S. I., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Получение тонких пленок Si3N4 при пониженном давлении на пластинах диаметром до 200 мм
von: Nalivaiko, O. Yu., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Допустимые преобразования мер
von: Габриелян, С.С.
Veröffentlicht: (2005)

Гильбертово пространство мер
von: Зеракидзе, З.С.
Veröffentlicht: (1986)

Формирование мезаструктур 4НSiC p–i–n-диодов методом ионно-плазменного травления
von: Болтовец, Н.С., et al.
Veröffentlicht: (2009)

О связи целочисленных марковских мер и мер с независимыми значениями
von: Баховец, Е.Б.
Veröffentlicht: (1987)

Оптоэлектронные свойства тонких пленок гидрогенизированного аморфного кремния-углерода и нанокристаллического кремния
von: Najafov, B. A., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Пределы аналитических векторных мер
von: Романов, В.А.
Veröffentlicht: (1992)

Слабые базисы векторных мер
von: Романов, В.А.
Veröffentlicht: (2007)

Моделирование трехмерной вихревой структуры
von: Васин, П.А., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Высокоэффективные катодные элементы для газоразрядных источников света
von: Sevastyanov, V. V., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Вторичный эталон яркости на базе галогенной лампы с рассеивателем
von: Mikheenko, L. А., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Моделирование термоэлектрического микрогенератора с каталитическим источником тепла на газовом топливе
von: Strutynska, L. T.
Veröffentlicht: (2008)

Самовозбуждение крутильных колебаний колонн глубокого бурения
von: Гуляев, В.И., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Квазистатические критические состояния колонн глубокого бурения
von: Гуляев, В.И., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Получение периодических слоев GaAs методом электрохимического травления
von: Дяденчук, А.Ф., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Эксплуатационные показатели качества транспортной телекоммуникационной первичной сети Украины
von: Bondarenko, O. V., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Термоэлектрический источник питания для электронного медицинского термометра
von: Anatychuk, L. I., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Автоматизированная диагностика химических источников тока
von: Dzenzerskiy, V. A., et al.
Veröffentlicht: (2011)

АВТОМАТИЧЕСКОЕ УПРАВЛЕНИЕ ВНЕШНИМ МАГНИТНЫМ ПОЛЕМ ТЕХНИЧЕСКИХ ОБЪЕКТОВ
von: Розов, В.Ю., et al.
Veröffentlicht: (2010)

ПЕРЕХОДНЫЕ ПРОЦЕССЫ В ВЫХОДНЫХ ЦЕПЯХ ИСТОЧНИКА ПИТАНИЯ, РАБОТАЮЩЕГО НА НЕСТАЦИОНАРНУЮ ТЕХНОЛОГИЧЕСКУЮ НАГРУЗКУ
von: Руденко, Ю.В.
Veröffentlicht: (2013)

Источник питания для контактной микросварки с программируемой формой сварочного импульса
von: Paerand, Yu. E., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Исследования и разработка технологических систем на базе ВЧ индукционного разряда для реактивного ионно-плазменного травления микро- и наноструктур
von: Дудин, С.В.
Veröffentlicht: (2009)

ОСОБЛИВОСТІ ПРОЦЕСІВ ЗМІНИ ВИХІДНОЇ НАПРУГИ РЕГУЛЯТОРІВ СПРЯМЛЕНОГО СТРУМУ, ПОБУДОВАНИХ НА ОСНОВІ ТРАНСФОРМАТОРНО-КЛЮЧОВИХ ВИКОНАВЧИХ СТРУКТУР
von: Липківський , К.О., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Кинетика сегрегации в хромоникелевых сталях при интенсив-ной пластической деформации
von: Стефанович, Л.И., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Канонические функции допустимых мер в полуплоскости
von: Малютин, К.Г., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Бифуркации и мультистабильность колебаний трехмерной системы
von: Мартынюк, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2015)