Микросборка на кремниевой плате для акселерометра

• Datum: 2013
• 1. Verfasser: Spirin, V. G.
• Format: Artikel
• Sprache: Ukrainian
• Veröffentlicht: PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2013
• Schlagworte: многоуровневая плата; тонкопленочная микросборка
• Online Zugang: https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2023.5.24
• Назва журналу: Technology and design in electronic equipment

The paper presents microassembly design and technology for accelerometer, carried out on a silicon plate with three commutation levels and thin film resistors on both of its surfaces.