Источник бескапельных плазменных потоков для наноэлектроники
The paper describes the source of solid-phase materials plasma flow generated by vacuum-arc discharge in vapours of diffuse evaporated anode. The source can efficiently create macroparticle-free plasma flows of various metals in vacuum, and provided the vacuum chamber is filled with required working...
Збережено в:
| Дата: | 2013 |
|---|---|
| Автор: | Borisenko, A. G. |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Ukrainian |
| Опубліковано: |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
2013
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2013.4.37 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Technology and design in electronic equipment |
Репозитарії
Technology and design in electronic equipmentСхожі ресурси
-
Источник бескапельных плазменных потоков для наноэлектроники
за авторством: Борисенко, А.Г.
Опубліковано: (2013) -
Нагрев и испарение металлических макрочастиц в пучково-плазменных системах
за авторством: Бизюков, А.А., та інші
Опубліковано: (2010) -
ПОВЫШЕНИЕ ЭФФЕКТИВНОСТИ ДУГОВОЙ СОСТАВЛЯЮЩЕЙ ЛАЗЕРНО-ДУГОВОГО РАЗРЯДА
за авторством: Бушма , А.И., та інші
Опубліковано: (2016) -
Пучково-плазменный разряд в слабом магнитном поле как источник плазмы для плазмохимического реактора
за авторством: Шустин, Е.Г., та інші
Опубліковано: (2008) -
АВТОКОЛЕБАНИЯ В ЦЕПИ С ЛАЗЕРНО-ДУГОВЫМ РАЗРЯДОМ КАК ОСНОВА НОВЫХ ИМПУЛЬСНЫХ ТЕХНОЛОГИЙ
за авторством: Бушма, А.И., та інші
Опубліковано: (2012)