Метод жидкофазной эпитаксии толстых слоев
On the basis of the authors' model of mass transfer, a new method for thick layers epitaxy has been developed. The method provides for the growth of different parts of the layers in two-layer systems obtained from the solution-melt and allows to control the thickness of substrate submelting and...
Gespeichert in:
| Datum: | 2013 |
|---|---|
| Hauptverfasser: | , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Ukrainian |
| Veröffentlicht: |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
2013
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2013.2-3.58 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Technology and design in electronic equipment |
Institution
Technology and design in electronic equipment| id |
oai:tkea.com.ua:article-394 |
|---|---|
| record_format |
ojs |
| spelling |
oai:tkea.com.ua:article-3942025-08-13T20:26:27Z Thick layers liquid-phase epitaxy method Метод жидкофазной эпитаксии толстых слоев Dranchuk, S. N. Zavadskiy, V. A. Mokritskiy, V. A. epitaxy solution melt diffusion layer concentration эпитаксия раствор-расплав диффузия слой концентрация On the basis of the authors' model of mass transfer, a new method for thick layers epitaxy has been developed. The method provides for the growth of different parts of the layers in two-layer systems obtained from the solution-melt and allows to control the thickness of substrate submelting and the thickness of layers obtained at the upper and lower substrates, in consideration of different crystallized substance transport mechanisms. На основе разработанной авторами модели массопереноса предложен новый метод эпитаксии толстых слоев. Метод предусматривает рост различных частей слоев в двухслойных системах, получаемых из раствора-расплава, и позволяет контролировать толщину подплавления подложек и толщину слоев, полученных на верхней и нижней подложках, с учетом различия механизмов переноса кристаллизуемого вещества. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2013-06-14 Article Article Peer-reviewed Article application/pdf https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2013.2-3.58 Technology and design in electronic equipment; No. 2–3 (2013): Tekhnologiya i konstruirovanie v elektronnoi apparature; 58-60 Технологія та конструювання в електронній апаратурі; № 2–3 (2013): Технология и конструирование в электронной аппаратуре; 58-60 3083-6549 3083-6530 uk https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2013.2-3.58/354 Copyright (c) 2013 Dranchuk S. N., Zavadskiy V. A., Mokritskiy V. A. http://creativecommons.org/licenses/by/4.0/ |
| institution |
Technology and design in electronic equipment |
| baseUrl_str |
|
| datestamp_date |
2025-08-13T20:26:27Z |
| collection |
OJS |
| language |
Ukrainian |
| topic |
эпитаксия раствор-расплав диффузия слой концентрация |
| spellingShingle |
эпитаксия раствор-расплав диффузия слой концентрация Dranchuk, S. N. Zavadskiy, V. A. Mokritskiy, V. A. Метод жидкофазной эпитаксии толстых слоев |
| topic_facet |
epitaxy solution melt diffusion layer concentration эпитаксия раствор-расплав диффузия слой концентрация |
| format |
Article |
| author |
Dranchuk, S. N. Zavadskiy, V. A. Mokritskiy, V. A. |
| author_facet |
Dranchuk, S. N. Zavadskiy, V. A. Mokritskiy, V. A. |
| author_sort |
Dranchuk, S. N. |
| title |
Метод жидкофазной эпитаксии толстых слоев |
| title_short |
Метод жидкофазной эпитаксии толстых слоев |
| title_full |
Метод жидкофазной эпитаксии толстых слоев |
| title_fullStr |
Метод жидкофазной эпитаксии толстых слоев |
| title_full_unstemmed |
Метод жидкофазной эпитаксии толстых слоев |
| title_sort |
метод жидкофазной эпитаксии толстых слоев |
| title_alt |
Thick layers liquid-phase epitaxy method |
| description |
On the basis of the authors' model of mass transfer, a new method for thick layers epitaxy has been developed. The method provides for the growth of different parts of the layers in two-layer systems obtained from the solution-melt and allows to control the thickness of substrate submelting and the thickness of layers obtained at the upper and lower substrates, in consideration of different crystallized substance transport mechanisms. |
| publisher |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers |
| publishDate |
2013 |
| url |
https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2013.2-3.58 |
| work_keys_str_mv |
AT dranchuksn thicklayersliquidphaseepitaxymethod AT zavadskiyva thicklayersliquidphaseepitaxymethod AT mokritskiyva thicklayersliquidphaseepitaxymethod AT dranchuksn metodžidkofaznojépitaksiitolstyhsloev AT zavadskiyva metodžidkofaznojépitaksiitolstyhsloev AT mokritskiyva metodžidkofaznojépitaksiitolstyhsloev |
| first_indexed |
2025-09-24T17:30:51Z |
| last_indexed |
2025-09-24T17:30:51Z |
| _version_ |
1844167365688819712 |