Утворення дефектів на поверхні Si-підкладок в процесі термічного напилення золота

• Date: 2023
• Main Authors: Kukurudziak, Mykola, Kukurudziak, Anastasiya
• Format: Article
• Language: Ukrainian
• Published: PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2023
• Subjects: кремній; дислокація; пробій; фотодіод; темновий струм
• Online Access: https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2023.3-4.47
• Journal Title: Technology and design in electronic equipment

Silicon photodetectors, in particular p–i–n photodiodes, are widely used as sensors of optical radiation. With technological advances, the requirements for the parameters and reliability of these elements of solid-state electronics are increasing sharply, thus improving these characteristics is an i...