Высокотемпературные датчики давления с тензорезисторами на основе нитевидных кристаллов кремния
Studies aimed at the creating of piezoresistive pressure sensors based on silicon whiskers, operating at high temperatures were carried out. Using the glass adhesive for strain gauges mounting on spring elements of covar alloy gave the possibility to elevate the sensor’s operating temperature range....
Збережено в:
| Дата: | 2012 |
|---|---|
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Ukrainian |
| Опубліковано: |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
2012
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2012.6.25 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Technology and design in electronic equipment |
Репозитарії
Technology and design in electronic equipment| id |
oai:tkea.com.ua:article-411 |
|---|---|
| record_format |
ojs |
| spelling |
oai:tkea.com.ua:article-4112025-09-19T16:00:47Z High-temperature pressure sensors with strain gauges based on silicon whiskers Высокотемпературные датчики давления с тензорезисторами на основе нитевидных кристаллов кремния Druzhinin, A. A. Kutrakov, A. P. Maryamova, I. I. silicon strain gauge pressure sensor high temperature кремний тензорезистор датчики давления высокие температуры Studies aimed at the creating of piezoresistive pressure sensors based on silicon whiskers, operating at high temperatures were carried out. Using the glass adhesive for strain gauges mounting on spring elements of covar alloy gave the possibility to elevate the sensor’s operating temperature range. Several modifications of pressure sensors based on the proposed strain-unit design were developed. Проведены исследования, направленные на создание тензорезистивных датчиков давления на основе нитевидных кристаллов кремния, работоспособных при высоких температур. Использование стеклоприпоя для крепления тензорезисторов на упругих элементах датчиков из коварового сплава позволило повысить диапазон рабочих температур датчиков. На основе предложенной тензомодульной конструкции разработаны датчики давления различной модификации. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2012-12-27 Article Article Peer-reviewed Article application/pdf https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2012.6.25 Technology and design in electronic equipment; No. 6 (2012): Tekhnologiya i konstruirovanie v elektronnoi apparature; 25-28 Технологія та конструювання в електронній апаратурі; № 6 (2012): Технология и конструирование в электронной аппаратуре; 25-28 3083-6549 3083-6530 uk https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2012.6.25/370 Copyright (c) 2012 Druzhinin A. A., Kutrakov A. P., Maryamova I. I. http://creativecommons.org/licenses/by/4.0/ |
| institution |
Technology and design in electronic equipment |
| baseUrl_str |
|
| datestamp_date |
2025-09-19T16:00:47Z |
| collection |
OJS |
| language |
Ukrainian |
| topic |
кремний тензорезистор датчики давления высокие температуры |
| spellingShingle |
кремний тензорезистор датчики давления высокие температуры Druzhinin, A. A. Kutrakov, A. P. Maryamova, I. I. Высокотемпературные датчики давления с тензорезисторами на основе нитевидных кристаллов кремния |
| topic_facet |
silicon strain gauge pressure sensor high temperature кремний тензорезистор датчики давления высокие температуры |
| format |
Article |
| author |
Druzhinin, A. A. Kutrakov, A. P. Maryamova, I. I. |
| author_facet |
Druzhinin, A. A. Kutrakov, A. P. Maryamova, I. I. |
| author_sort |
Druzhinin, A. A. |
| title |
Высокотемпературные датчики давления с тензорезисторами на основе нитевидных кристаллов кремния |
| title_short |
Высокотемпературные датчики давления с тензорезисторами на основе нитевидных кристаллов кремния |
| title_full |
Высокотемпературные датчики давления с тензорезисторами на основе нитевидных кристаллов кремния |
| title_fullStr |
Высокотемпературные датчики давления с тензорезисторами на основе нитевидных кристаллов кремния |
| title_full_unstemmed |
Высокотемпературные датчики давления с тензорезисторами на основе нитевидных кристаллов кремния |
| title_sort |
высокотемпературные датчики давления с тензорезисторами на основе нитевидных кристаллов кремния |
| title_alt |
High-temperature pressure sensors with strain gauges based on silicon whiskers |
| description |
Studies aimed at the creating of piezoresistive pressure sensors based on silicon whiskers, operating at high temperatures were carried out. Using the glass adhesive for strain gauges mounting on spring elements of covar alloy gave the possibility to elevate the sensor’s operating temperature range. Several modifications of pressure sensors based on the proposed strain-unit design were developed. |
| publisher |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers |
| publishDate |
2012 |
| url |
https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2012.6.25 |
| work_keys_str_mv |
AT druzhininaa hightemperaturepressuresensorswithstraingaugesbasedonsiliconwhiskers AT kutrakovap hightemperaturepressuresensorswithstraingaugesbasedonsiliconwhiskers AT maryamovaii hightemperaturepressuresensorswithstraingaugesbasedonsiliconwhiskers AT druzhininaa vysokotemperaturnyedatčikidavleniâstenzorezistoraminaosnovenitevidnyhkristallovkremniâ AT kutrakovap vysokotemperaturnyedatčikidavleniâstenzorezistoraminaosnovenitevidnyhkristallovkremniâ AT maryamovaii vysokotemperaturnyedatčikidavleniâstenzorezistoraminaosnovenitevidnyhkristallovkremniâ |
| first_indexed |
2025-09-24T17:30:53Z |
| last_indexed |
2025-09-24T17:30:53Z |
| _version_ |
1844167367582547968 |