Buchumschlag

Высокотемпературные датчики давления с тензорезисторами на основе нитевидных кристаллов кремния

Studies aimed at the creating of piezoresistive pressure sensors based on silicon whiskers, operating at high temperatures were carried out. Using the glass adhesive for strain gauges mounting on spring elements of covar alloy gave the possibility to elevate the sensor’s operating temperature range....

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Datum:	2012
Hauptverfasser:	Druzhinin, A. A., Kutrakov, A. P., Maryamova, I. I.
Format:	Artikel
Sprache:	Ukrainisch
Veröffentlicht:	PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2012
Schlagworte:	кремний тензорезистор датчики давления высокие температуры
Online Zugang:	https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2012.6.25
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Technology and design in electronic equipment

Institution

Technology and design in electronic equipment

Ähnliche Einträge

Тензорезисторы для низких температур на основе нитевидных кристаллов кремния
von: Druzhinin, A. A., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Двухфункциональный датчик давления-температуры на основе нитевидных кристаллов кремния
von: Druzhinin, A. A., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Акустические датчики для дистанционного контроля давления
von: Karapetyan, G. Ya., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Радиационная стойкость нитевидных кристаллов SiGe, используемых для сенсоров физических величин
von: Druzhinin, A. A., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Исследование влияния электронного облучения на кремниевые тензорезисторы
von: Druzhinin, A. A., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Silicon whisker pressure sensors for noise reduction in silencers: Датчики тиску на основі ниткоподібних кристалів кремнію для зниження шумових параметрів автоглушників
von: Druzhinin, Anatoliy, et al.
Veröffentlicht: (2021)

Оптико-электронный метод избыточных измерений давления: особенности реализации
von: Kondratov, V. T., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Исследование частотной зависимости проводимости нитевидных кристаллов кремния при криогенных температурах для создания сенсоров температуры на их основе
von: Druzhinin, A. A., et al.
Veröffentlicht: (2019)

Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний»
von: Smyntyna, V. A., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Многоканальный измеритель деформации для исследования конструкционных материалов
von: Druzhinin, А. А., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Получение полуизолирующего кремния для высоковольтных приборов
von: Turtsevich, A. S.
Veröffentlicht: (2008)

Влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния
von: Kulinich, O. A., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Разработка процесса глубокого плазменного травления кремния для технологии трехмерной интеграции кристаллов
von: Golishnikov, А. А., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Датчик гидростатического давления на основе микрокристаллов антимонида галлия
von: Druzhinin, A. A., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Локальные свойства электрически активных дефектов в солнечных батареях на основе кремния
von: Popov, V. M., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Температурные поля в растущем кристалле «солнечного кремния»
von: Kondrik, A. I., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Получение пригодного для сенсорики пористого кремния методом неэлектролитического травления MacEtch
von: Iatsunskyi, I. R.
Veröffentlicht: (2013)

Элементы твердотельной электроники на основе КНИ-структур и нитевидных кристаллов Si для криогенных температур
von: Druzhinin, A. A., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Измерение температуры с использованием оптических датчиков на основе двулучепреломляющих кристаллов
von: Gaba, V. M.
Veröffentlicht: (2009)

РОЗРОБКА ОПТИЧНОГО ДАТЧИКА ТЕМПЕРАТУРИ НА РІДКИХ КРИСТАЛАХ
von: SKOSAR, V., et al.
Veröffentlicht: (2023)

Технология изготовления гибких терморезисторов на полиимидной основе
von: Dinev, D. A., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Применение беспроводных систем мониторинга и связи в энергетике
von: Grechikhin, V. A., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Інформаційно-вимірювальна система на базі датчиків з тензорезисторами на основі мікрокристалів кремнію
von: Druzhinin, A. O., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста
von: Nalivaiko, O. Yu., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Безпровідна система моніторингу деформацій з використанням тензорезисторів на основі ниткоподібних кристалів кремнію
von: Druzhinin, Anatoliy, et al.
Veröffentlicht: (2025)

Дифференциальный термометр с высокой разрешающей способностью
von: Gotra, Z. Yu., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Влияние термического окисления на анизотропию электропроводности и фотопроводимости наноструктурированного кремния
von: Forsh, P. A., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Химическая связь сурьмы. Технологические аспекты
von: Ashcheulov, A. A., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Исследование метрологических характеристик системы измерения малых изменений температуры
von: Samynina, M. G., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Система измерения магнитного поля и температуры с цифровой обработкой сигнала
von: Druzhinin, A. A., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Повышение эффективности кремниевых солнечных элементов посредством нанопористого покрытия
von: Dzhafarov, T. D., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Пристрій для дослідження температурної сталості характеристик перетворювачів напруги в частоту
von: Zavadsky, Viktor, et al.
Veröffentlicht: (2021)

УМЕНЬШЕНИЕ СИСТЕМАТИЧЕСКОЙ ПОГРЕШНОСТИ ЕМКОСТНОГО ДАТЧИКА БИЕНИЙ ВАЛА ЗА СЧЕТ ИЗМЕНЕНИЯ ФОРМЫ АКТИВНОГО ЭЛЕКТРОДА
von: Левицкий, А.С., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Роль пластической деформации в получении нанокремния
von: Smyntyna, V. A., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Выбор режима работы термоэлектрического охлаждающего устройства (ТЭУ), обеспечивающего минимальную интенсивность отказов
von: Zaikov, V. P., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Оцінювання обчислювальних моделей функціонування кіберфізичних систем
von: Pankratova, Nataliya D., et al.
Veröffentlicht: (2020)

Формирование МОП-транзисторов с изоляцией активных элементов окисленным пористым кремнием
von: Novosyadlyi, S. P., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Кремний мультипористой текстуры для фотоэлектрических преобразователей солнечной энергии
von: Yerokhov, V. Yu., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Влияние облучения кремния низкоэнергетическими ионами аргона на образование в нем электрически активных дефектов
von: Popov, V. M., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Кинетика процессов осаждения пленок поликремния, легированного кислородом в процессе роста
von: Nalivaiko, O. Yu., et al.
Veröffentlicht: (2012)