Nalivaiko, O. Y., & Turtsevich, A. S. (2012). Получение тонких пленок Si3N4 при пониженном давлении на пластинах диаметром до 200 мм. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers.
Chicago Style (17th ed.) CitationNalivaiko, O. Yu., and A. S. Turtsevich. Получение тонких пленок Si3N4 при пониженном давлении на пластинах диаметром до 200 мм. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers, 2012.
MLA (8th ed.) CitationNalivaiko, O. Yu., and A. S. Turtsevich. Получение тонких пленок Si3N4 при пониженном давлении на пластинах диаметром до 200 мм. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers, 2012.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.