APA (7th ed.) Citation

Nalivaiko, O. Y., & Тurtsevich, A. S. (2012). Кинетика процессов осаждения пленок поликремния, легированного кислородом в про­цес­се роста. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Nalivaiko, O. Yu., and A. S. Тurtsevich. Кинетика процессов осаждения пленок поликремния, легированного кислородом в про­цес­се роста. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers, 2012.

MLA (8th ed.) Citation

Nalivaiko, O. Yu., and A. S. Тurtsevich. Кинетика процессов осаждения пленок поликремния, легированного кислородом в про­цес­се роста. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers, 2012.

Warning: These citations may not always be 100% accurate.