Buchumschlag

Кинетика процессов осаждения пленок поликремния, легированного кислородом в процессе роста

The influence of deposition conditions on composition of in-situ oxygen doped polysilicon films has been investigated. A kinetic model of adsorption-deposition process using concentrated silane and nitrous oxide has been developed. The range of optimal ratios of silane and nitrous oxide flows and de...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Datum:	2012
Hauptverfasser:	Nalivaiko, O. Yu., Тurtsevich, A. S.
Format:	Artikel
Sprache:	Ukrainisch
Veröffentlicht:	PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2012
Schlagworte:	поликристаллический кремний адсорбционно-кинетическая модель процесс осаждения пленок
Online Zugang:	https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2012.2.37
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Technology and design in electronic equipment

Institution

Technology and design in electronic equipment

Ähnliche Einträge

Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста
von: Nalivaiko, O. Yu., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Кинетика процессов осаждения пленок поликремния, легированного кислородом в процессе роста
von: Наливайко, О.Ю., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний»
von: Smyntyna, V. A., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Получение тонких пленок Si3N4 при пониженном давлении на пластинах диаметром до 200 мм
von: Nalivaiko, O. Yu., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Прибор и методы измерения параметров и степени однородности пленочных структур
von: Makara, V. A., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния
von: Kulinich, O. A., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Радиационная стойкость n- и p-Si, легированного кислородом и германием, при облучении высокоэнергетическими ядерными частицами
von: Долголенко, А.П., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Повышение эффективности кремниевых солнечных элементов посредством нанопористого покрытия
von: Dzhafarov, T. D., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Кинетика образования и роста микродефектов в кристаллах
von: Олиховский, С.Й., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Роль пластической деформации в получении нанокремния
von: Smyntyna, V. A., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Исследование влияния электронного облучения на кремниевые тензорезисторы
von: Druzhinin, A. A., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Детекторы оптического сигнала на основе структур Au-nSi-Al, Au-nSi
von: Yodgorova, D. M., et al.
Veröffentlicht: (2005)

"ANTI/ФАБРИКА" Милы Мичевой как реалити-роман
von: Михед, А.П.
Veröffentlicht: (2010)

Культурный кризис в книге эссе Д. Быкова "Блуд труда"
von: Садыкова, Л.В.
Veröffentlicht: (2010)

Проблемы научной рецепции метафизической поэзии в современном литературоведении
von: Громова, М.В.
Veröffentlicht: (2010)

Трансформация традиционного образа Дон Жуана в романе Л. Улицкой "Искренне ваш Шурик"
von: Гороховская, Л.Е.
Veröffentlicht: (2010)

Интертекстуальное поле романа Р. Сенчина «Нубук»
von: Василевич, Е.А.
Veröffentlicht: (2009)

Інтертекстуальний російський фермент роману А. Мердок «Дилема Джексона»
von: Матійчак, А.А.
Veröffentlicht: (2009)

Художественные особенности романа П. Санаева "Похороните меня за плинтусом"
von: Василевич, Е.А.
Veröffentlicht: (2010)

Доминантные черты художественного мира В.Токаревой
von: Букина, Ю.А.
Veröffentlicht: (2010)

Проблемы изучения римейка в современной русской драматургии
von: Самарин, А.
Veröffentlicht: (2009)

Петербургский текст в поэзии Геннадия Григорьева
von: Кондакова, Д.Ю.
Veröffentlicht: (2010)

Космогонический миф в романе В. Пелевина «Empire V»
von: Глущенко, В.В.
Veröffentlicht: (2009)

Концепция поэтического творчества Александра Кушнера в книге «Аполлон в снегу»
von: Ячник, Л.Н.
Veröffentlicht: (2009)

Стратегии игрового дискурса в романе Л. Улицкой «Даниэль Штайн, переводчик»
von: Руссова, С.Н.
Veröffentlicht: (2009)

Мотив «горького оптимизма» в произведениях Виктории Токаревой
von: Букина, Ю.А.
Veröffentlicht: (2009)

«Поколение 90-х» и «двадцатилетние». Типологические черты литературного направления. Статья первая
von: Мережинская, А.Ю.
Veröffentlicht: (2009)

Своеобразие поэтического мира Дмитрия Быкова (книга "По-следнее время. Стихи. Поэмы. Баллады")
von: Заярная, И.С.
Veröffentlicht: (2010)

Изгнанничество как транзитивный мотив культуры исторического перелома (В. Набоков – Г. фон Реццори)
von: Басняк, Т.А.
Veröffentlicht: (2009)

Влияние толщины и температуры пленок фталоцианина меди на их свойства
von: Alieva, Kh. S.
Veröffentlicht: (2012)

Кинетика роста монокристаллов алмаза в шестипуансонном аппарате высокого давления
von: Лысаковский, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Получение пригодного для сенсорики пористого кремния методом неэлектролитического травления MacEtch
von: Iatsunskyi, I. R.
Veröffentlicht: (2013)

Формирование МОП-транзисторов с изоляцией активных элементов окисленным пористым кремнием
von: Novosyadlyi, S. P., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Получение полуизолирующего кремния для высоковольтных приборов
von: Turtsevich, A. S.
Veröffentlicht: (2008)

Лазерное текстурирование поверхности предварительно нагретого монокристалла кремния
von: Krapivko, H. I.
Veröffentlicht: (2005)

Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста
von: Наливайко, О.Ю., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Фоторефрактивные кристаллы в запоминающих устройствах оптоэлектронных процессоров корреляционного типа
von: Lipinskii, A. Yu., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Исследование свойств слоев поликремния на изоляторе при криогенных температурах для создания сенсоров
von: Дружинин, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2003)

Механизм и кинетика растворения и осаждения родия при электролизе расплава карбамид—NH4Cl
von: Савчук, А.В., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Кинетика роста монокристаллов золота в водном растворе золотохлористоводородной кислоты и полисахаридов
von: Эстрела-Льопис, В.Р., et al.
Veröffentlicht: (2008)