Кинетика процессов осаждения пленок поликремния, легированного кислородом в процессе роста

Кинетика процессов осаждения пленок поликремния, легированного кислородом в процессе роста

The influence of deposition conditions on composition of in-situ oxygen doped polysilicon films has been investigated. A kinetic model of adsorption-deposition process using concentrated silane and nitrous oxide has been developed. The range of optimal ratios of silane and nitrous oxide flows and de...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2012
Автори:	Nalivaiko, O. Yu., Тurtsevich, A. S.
Формат:	Стаття
Мова:	Ukrainian
Опубліковано:	PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2012
Теми:	поликристаллический кремний адсорбционно-кинетическая модель процесс осаждения пленок
Онлайн доступ:	https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2012.2.37
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Technology and design in electronic equipment

Репозитарії

Technology and design in electronic equipment

Схожі ресурси

Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста
за авторством: Nalivaiko, O. Yu., та інші
Опубліковано: (2009)

Кинетика процессов осаждения пленок поликремния, легированного кислородом в процессе роста
за авторством: Наливайко, О.Ю., та інші
Опубліковано: (2012)

Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний»
за авторством: Smyntyna, V. A., та інші
Опубліковано: (2011)

Получение тонких пленок Si3N4 при пониженном давлении на пластинах диаметром до 200 мм
за авторством: Nalivaiko, O. Yu., та інші
Опубліковано: (2012)

Повышение эффективности кремниевых солнечных элементов посредством нанопористого покрытия
за авторством: Dzhafarov, T. D., та інші
Опубліковано: (2012)

Прибор и методы измерения параметров и степени однородности пленочных структур
за авторством: Makara, V. A., та інші
Опубліковано: (2009)

Роль пластической деформации в получении нанокремния
за авторством: Smyntyna, V. A., та інші
Опубліковано: (2011)

Исследование влияния электронного облучения на кремниевые тензорезисторы
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2010)

Радиационная стойкость n- и p-Si, легированного кислородом и германием, при облучении высокоэнергетическими ядерными частицами
за авторством: Долголенко, А.П., та інші
Опубліковано: (2009)

Получение пригодного для сенсорики пористого кремния методом неэлектролитического травления MacEtch
за авторством: Iatsunskyi, I. R.
Опубліковано: (2013)

Формирование МОП-транзисторов с изоляцией активных элементов окисленным пористым кремнием
за авторством: Novosyadlyi, S. P., та інші
Опубліковано: (2009)

Стратегии игрового дискурса в романе Л. Улицкой «Даниэль Штайн, переводчик»
за авторством: Руссова, С.Н.
Опубліковано: (2009)

Космогонический миф в романе В. Пелевина «Empire V»
за авторством: Глущенко, В.В.
Опубліковано: (2009)

Интертекстуальное поле романа Р. Сенчина «Нубук»
за авторством: Василевич, Е.А.
Опубліковано: (2009)

Культурный кризис в книге эссе Д. Быкова "Блуд труда"
за авторством: Садыкова, Л.В.
Опубліковано: (2010)

Проблемы научной рецепции метафизической поэзии в современном литературоведении
за авторством: Громова, М.В.
Опубліковано: (2010)

"ANTI/ФАБРИКА" Милы Мичевой как реалити-роман
за авторством: Михед, А.П.
Опубліковано: (2010)

Концепция поэтического творчества Александра Кушнера в книге «Аполлон в снегу»
за авторством: Ячник, Л.Н.
Опубліковано: (2009)

«Поколение 90-х» и «двадцатилетние». Типологические черты литературного направления. Статья первая
за авторством: Мережинская, А.Ю.
Опубліковано: (2009)

Мотив «горького оптимизма» в произведениях Виктории Токаревой
за авторством: Букина, Ю.А.
Опубліковано: (2009)

Проблемы изучения римейка в современной русской драматургии
за авторством: Самарин, А.
Опубліковано: (2009)

Художественные особенности романа П. Санаева "Похороните меня за плинтусом"
за авторством: Василевич, Е.А.
Опубліковано: (2010)

Петербургский текст в поэзии Геннадия Григорьева
за авторством: Кондакова, Д.Ю.
Опубліковано: (2010)

Трансформация традиционного образа Дон Жуана в романе Л. Улицкой "Искренне ваш Шурик"
за авторством: Гороховская, Л.Е.
Опубліковано: (2010)

Інтертекстуальний російський фермент роману А. Мердок «Дилема Джексона»
за авторством: Матійчак, А.А.
Опубліковано: (2009)

Доминантные черты художественного мира В.Токаревой
за авторством: Букина, Ю.А.
Опубліковано: (2010)

Изгнанничество как транзитивный мотив культуры исторического перелома (В. Набоков – Г. фон Реццори)
за авторством: Басняк, Т.А.
Опубліковано: (2009)

Своеобразие поэтического мира Дмитрия Быкова (книга "По-следнее время. Стихи. Поэмы. Баллады")
за авторством: Заярная, И.С.
Опубліковано: (2010)

Кинетика образования и роста микродефектов в кристаллах
за авторством: Олиховский, С.Й., та інші
Опубліковано: (2006)

Влияние толщины и температуры пленок фталоцианина меди на их свойства
за авторством: Alieva, Kh. S.
Опубліковано: (2012)

Разработка процесса глубокого плазменного травления кремния для технологии трехмерной интеграции кристаллов
за авторством: Golishnikov, А. А., та інші
Опубліковано: (2014)

Система измерения магнитного поля и температуры с цифровой обработкой сигнала
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2013)

Высокотемпературные датчики давления с тензорезисторами на основе нитевидных кристаллов кремния
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2012)

Двухфункциональный датчик давления-температуры на основе нитевидных кристаллов кремния
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2013)

Кинетика роста монокристаллов алмаза в шестипуансонном аппарате высокого давления
за авторством: Лысаковский, В.В., та інші
Опубліковано: (2014)

Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста
за авторством: Наливайко, О.Ю., та інші
Опубліковано: (2009)

Газочувствительные элементы на основе пленок SiPcCl2
за авторством: Alieva, Kh. S., та інші
Опубліковано: (2010)

Фоторефрактивные кристаллы в запоминающих устройствах оптоэлектронных процессоров корреляционного типа
за авторством: Lipinskii, A. Yu., та інші
Опубліковано: (2011)

Исследование свойств слоев поликремния на изоляторе при криогенных температурах для создания сенсоров
за авторством: Дружинин, А.А., та інші
Опубліковано: (2003)

Радиационная стойкость нитевидных кристаллов SiGe, используемых для сенсоров физических величин
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2011)