Фотолюминесцентный метод исследования пластической деформации на границе раз­де­ла «SiO2–Si»

• Date: 2012
• Main Authors: Kulinich, О. А., Yatsunskiy, I. P., Eshtokina, T. Yu., Brusenskaya, G. I., Marchuk, I. A.
• Format: Article
• Language: Ukrainian
• Published: PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2012
• Subjects: фотолюминесценция; пластическая деформация; дефекты; дислокации; напряжения
• Online Access: https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2012.2.47
• Journal Title: Technology and design in electronic equipment

The possibility of using the photoluminescence method for studying the mechanisms of plastic deformation at the boundary of "SiO2 — Si" in the process of obtaining nanostructured silicon layers by deformation.