Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний»

Based on the results of investigations of charge transport in the "metal — p-Si" contacts with different thickness of polycrystalline p-Si layer the mechanisms of charge transport through such structures are shown. It is established that with increasing thickness of the l...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2011
Автори: Smyntyna, V. A., Kulinich, О. А., Yatsunskii, I. R., Sviridova, O. V., Marchuk, I. A.
Формат: Стаття
Мова:Ukrainian
Опубліковано: PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2011
Теми:
Онлайн доступ:https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2011.5.39
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Technology and design in electronic equipment

Репозитарії

Technology and design in electronic equipment
id oai:tkea.com.ua:article-499
record_format ojs
spelling oai:tkea.com.ua:article-4992025-10-31T17:35:28Z Influence of polycrystalline silicon layer on flow through «metal — p-Si» contact Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний» Smyntyna, V. A. Kulinich, О. А. Yatsunskii, I. R. Sviridova, O. V. Marchuk, I. A. polycrystalline silicon current transport metal — p-Si contact поликристаллический кремний токоперенос контакт «металл — p-кремний» Based on the results of investigations of charge transport in the "metal — p-Si" contacts with different thickness of polycrystalline p-Si layer the mechanisms of charge transport through such structures are shown. It is established that with increasing thickness of the layer of polycrystalline p-Si current transport mechanism changes from a double injection into the drift-diffusion. This change is due to an increase in the drift current component in the space charge zone of "metal — p-Si" contact, which arises as a result of increased surface density of scattering barriers, which are localized at the boundaries of neighboring silicon polycrystals. На основании результатов исследования процессов токопереноса в контактах «металл —p-кремний» с различной толщиной слоя поликристаллического p-кремния описаны механизмы токопереноса через такие структуры. Установлено, что при увеличении толщины слоя поликристаллического p-кремния механизм токопереноса изменяется от двойного инжекционного к дрейфово-диффузионному. Такое изменение связано с увеличением дрейфовой составляющей тока в зоне пространственного заряда контакта «металл — p-кремний», возникающей вследствие увеличения поверхностной плотности рассеивающих барьеров, локализованных на границах соседних поликристаллов кремния. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2011-10-17 Article Article Peer-reviewed Article application/pdf https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2011.5.39 Technology and design in electronic equipment; No. 5 (2011): Tekhnologiya i konstruirovanie v elektronnoi apparature; 39-41 Технологія та конструювання в електронній апаратурі; № 5 (2011): Технология и конструирование в электронной аппаратуре; 39-41 3083-6549 3083-6530 uk https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2011.5.39/452 Copyright (c) 2011 Smyntyna V. A., Kulinich O. A., Yatsunskii I. R., Sviridova O. V., Marchuk I. A. http://creativecommons.org/licenses/by/4.0/
institution Technology and design in electronic equipment
baseUrl_str
datestamp_date 2025-10-31T17:35:28Z
collection OJS
language Ukrainian
topic поликристаллический кремний
токоперенос
контакт «металл — p-кремний»
spellingShingle поликристаллический кремний
токоперенос
контакт «металл — p-кремний»
Smyntyna, V. A.
Kulinich, О. А.
Yatsunskii, I. R.
Sviridova, O. V.
Marchuk, I. A.
Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний»
topic_facet polycrystalline silicon
current transport
metal — p-Si contact
поликристаллический кремний
токоперенос
контакт «металл — p-кремний»
format Article
author Smyntyna, V. A.
Kulinich, О. А.
Yatsunskii, I. R.
Sviridova, O. V.
Marchuk, I. A.
author_facet Smyntyna, V. A.
Kulinich, О. А.
Yatsunskii, I. R.
Sviridova, O. V.
Marchuk, I. A.
author_sort Smyntyna, V. A.
title Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний»
title_short Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний»
title_full Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний»
title_fullStr Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний»
title_full_unstemmed Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний»
title_sort влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний»
title_alt Influence of polycrystalline silicon layer on flow through «metal — p-Si» contact
description Based on the results of investigations of charge transport in the "metal — p-Si" contacts with different thickness of polycrystalline p-Si layer the mechanisms of charge transport through such structures are shown. It is established that with increasing thickness of the layer of polycrystalline p-Si current transport mechanism changes from a double injection into the drift-diffusion. This change is due to an increase in the drift current component in the space charge zone of "metal — p-Si" contact, which arises as a result of increased surface density of scattering barriers, which are localized at the boundaries of neighboring silicon polycrystals.
publisher PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
publishDate 2011
url https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2011.5.39
work_keys_str_mv AT smyntynava influenceofpolycrystallinesiliconlayeronflowthroughmetalpsicontact
AT kulinichoa influenceofpolycrystallinesiliconlayeronflowthroughmetalpsicontact
AT yatsunskiiir influenceofpolycrystallinesiliconlayeronflowthroughmetalpsicontact
AT sviridovaov influenceofpolycrystallinesiliconlayeronflowthroughmetalpsicontact
AT marchukia influenceofpolycrystallinesiliconlayeronflowthroughmetalpsicontact
AT smyntynava vliâniesloâpolikristalličeskogokremniânamehanizmytokoperenosavkontaktahmetallpkremnij
AT kulinichoa vliâniesloâpolikristalličeskogokremniânamehanizmytokoperenosavkontaktahmetallpkremnij
AT yatsunskiiir vliâniesloâpolikristalličeskogokremniânamehanizmytokoperenosavkontaktahmetallpkremnij
AT sviridovaov vliâniesloâpolikristalličeskogokremniânamehanizmytokoperenosavkontaktahmetallpkremnij
AT marchukia vliâniesloâpolikristalličeskogokremniânamehanizmytokoperenosavkontaktahmetallpkremnij
first_indexed 2025-10-16T01:41:36Z
last_indexed 2025-11-01T02:31:37Z
_version_ 1850410264774574080