Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний»
Based on the results of investigations of charge transport in the "metal — p-Si" contacts with different thickness of polycrystalline p-Si layer the mechanisms of charge transport through such structures are shown. It is established that with increasing thickness of the l...
Saved in:
| Date: | 2011 |
|---|---|
| Main Authors: | Smyntyna, V. A., Kulinich, О. А., Yatsunskii, I. R., Sviridova, O. V., Marchuk, I. A. |
| Format: | Article |
| Language: | Ukrainian |
| Published: |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
2011
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2011.5.39 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Technology and design in electronic equipment |
Institution
Technology and design in electronic equipmentSimilar Items
-
Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний»
by: Смынтына, В.А., et al.
Published: (2011) -
Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста
by: Nalivaiko, O. Yu., et al.
Published: (2009) -
Кинетика процессов осаждения пленок поликремния, легированного кислородом в процессе роста
by: Nalivaiko, O. Yu., et al.
Published: (2012) -
Роль пластической деформации в получении нанокремния
by: Smyntyna, V. A., et al.
Published: (2011) -
Получение пригодного для сенсорики пористого кремния методом неэлектролитического травления MacEtch
by: Iatsunskyi, I. R.
Published: (2013)