Rubtsevich, I. I., Solovyov, Y. A., Vysotskiy, V. B., Dudkin, A. I., & Kovalchuk, N. S. (2011). Исследование свойств пленок нитрида и оксида кремния, полученных методом плазмохимического осаждения на кремниевую подложку. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Rubtsevich, I. I., Ya. A. Solovyov, V. B. Vysotskiy, A. I. Dudkin, und N. S. Kovalchuk. Исследование свойств пленок нитрида и оксида кремния, полученных методом плазмохимического осаждения на кремниевую подложку. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers, 2011.
MLA-Zitierstil (8. Ausg.)Rubtsevich, I. I., et al. Исследование свойств пленок нитрида и оксида кремния, полученных методом плазмохимического осаждения на кремниевую подложку. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers, 2011.