APA (7th ed.) Citation

Rubtsevich, I. I., Solovyov, Y. A., Vysotskiy, V. B., Dudkin, A. I., & Kovalchuk, N. S. (2011). Исследование свойств пленок нитрида и оксида кремния, полученных методом пла­з­мо­хи­ми­чес­кого осаждения на кремниевую подложку. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Rubtsevich, I. I., Ya. A. Solovyov, V. B. Vysotskiy, A. I. Dudkin, and N. S. Kovalchuk. Исследование свойств пленок нитрида и оксида кремния, полученных методом пла­з­мо­хи­ми­чес­кого осаждения на кремниевую подложку. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers, 2011.

MLA (8th ed.) Citation

Rubtsevich, I. I., et al. Исследование свойств пленок нитрида и оксида кремния, полученных методом пла­з­мо­хи­ми­чес­кого осаждения на кремниевую подложку. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers, 2011.

Warning: These citations may not always be 100% accurate.