Зображення обкладинки

Исследование свойств пленок нитрида и оксида кремния, полученных методом плазмохимического осаждения на кремниевую подложку

The research has been carried out on dependence of mechanical stress on the modes of deposition of silicon nitride and oxide films obtained by plasma excited chemical vapour deposition of the layers from the gas phase (PECVD). The connection has been determined between the key parameters of the depo...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2011
Автори:	Rubtsevich, I. I., Solovyov, Ya. A., Vysotskiy, V. B., Dudkin, A. I., Kovalchuk, N. S.
Формат:	Стаття
Мова:	Українська
Опубліковано:	PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2011
Теми:	микроэлектромеханические системы внутренние механические напряжения диэлектрические пленки нитрид кремния оксид кремния
Онлайн доступ:	https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2011.4.29
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Technology and design in electronic equipment

Репозитарії

Technology and design in electronic equipment

Схожі ресурси

Получение тонких пленок Si3N4 при пониженном давлении на пластинах диаметром до 200 мм
за авторством: Nalivaiko, O. Yu., та інші
Опубліковано: (2012)

Поглотители СВЧ-энергии с высокой теплопроводностью на основе AlN и SiC с добавками молибдена
за авторством: Chasnyk, V. I., та інші
Опубліковано: (2014)

Фотоэлектрические свойства гетеропереходов n-SiC/n-Si
за авторством: Semenov, A. V., та інші
Опубліковано: (2012)

Оптимизация конструкции мембранных датчиков
за авторством: Rubcevich, I. I., та інші
Опубліковано: (2009)

Низкоразмерные кристаллы кремния для фотоэлектрических преобразователей
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2011)

Формирование мезаструктур 4НSiC p–i–n-диодов методом ионно-плазменного травления
за авторством: Boltovets, M. S., та інші
Опубліковано: (2009)

Применение высокотеплопроводной керамики из нитрида алюминия в вакуумных электронных приборах СВЧ
за авторством: Chasnyk, V. I.
Опубліковано: (2013)

Получение, свойства и применение тонких нанонеоднородных пленок Ge на GaAs-подложках
за авторством: Venger, E. F., та інші
Опубліковано: (2014)

Газочувствительные элементы на основе пленок SiPcCl2
за авторством: Alieva, Kh. S., та інші
Опубліковано: (2010)

Оптический датчик температуры на основе нанокристаллической пленки SiC
за авторством: Lopin, A. V., та інші
Опубліковано: (2007)

Математические модели формирования химической связи твердых растворов CdSb–ZnSb
за авторством: Ashcheulov, A. A., та інші
Опубліковано: (2009)

НЕВУЗЛОВІ ПАРАМЕТРИ І АДЕКВАТНІ МОДЕЛІ СЕРЕНДИПОВИХ ЕЛЕМЕНТІВ
за авторством: Хомченко, Анатолий Никифорович, та інші
Опубліковано: (2012)

Нанокомпозиты на основе опаловых матриц с кристаллическими ферротороидальными мультиферроиками
за авторством: Samoylovich, M. I., та інші
Опубліковано: (2012)

Разработка процесса глубокого плазменного травления кремния для технологии трехмерной интеграции кристаллов
за авторством: Golishnikov, А. А., та інші
Опубліковано: (2014)

Ультразвуковая очистка оптико-механических систем
за авторством: Tomal, V. S.
Опубліковано: (2007)

Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей
за авторством: Fedorovich, O. A., та інші
Опубліковано: (2009)

Вiхи iсторичного шляху
за авторством: Онищенко, О.С.
Опубліковано: (2009)

УСЛОВИЯ ВОЗНИКНОВЕНИЯ И РОСТА ТРЕЩИН В РОТОРЕ ТУРБОГЕНЕРАТОРА ВСЛЕДСТВИЕ ЭЛЕКТРОДИНАМИЧЕСКИХ ВОЗДЕЙСТВИЙ В АНОРМАЛЬНЫХ РЕЖИМАХ
за авторством: Tитко , A.И., та інші
Опубліковано: (2012)

Прогноз диэлектрических потерь в стеклокерамике для разных соотношений массовых долей компонентов
за авторством: Dmitriev, M. V., та інші
Опубліковано: (2012)

Применение технологии тонких пленок и наноструктурированных материалов при изготовлении теплонагруженных печатных плат
за авторством: Sakhno, E. A., та інші
Опубліковано: (2011)

Высокочастотный реактор с асимметричными электродами для плазмохимического травления полупроводников
за авторством: Дудин, С.В., та інші
Опубліковано: (2011)

Особенности малоамперной аргонодуговой и микроплазменной порошковой наплавки на узкую подложку
за авторством: Яровицын, А.В., та інші
Опубліковано: (2009)

Повышение надежности диодов Шоттки при воздействии разрядов cтатического электричества
за авторством: Sоlоdukha, V. A., та інші
Опубліковано: (2012)

Оптимізація системи зaхиcту інформації корпоративної мережі
за авторством: Корнієнко, Богдан Ярославович, та інші
Опубліковано: (2019)

Оптимизация распределения концентрации носителей по толщине эпитаксиальных слоев
за авторством: Karimov, A. V., та інші
Опубліковано: (2007)

Омические контакты к материалам на основе нитрида индия
за авторством: Sai, P. O.
Опубліковано: (2016)

Оптимизация комплексного показателя надежности радиотехнических устройств путем изменения их топологии
за авторством: Uvarov, B. M., та інші
Опубліковано: (2015)

Ртутный микрозонд для исследования локальных электрофизических свойств полупроводниковых структур
за авторством: Popov, V. M., та інші
Опубліковано: (2010)

Підписник, підписчик, підписати, абонент чи передплатник, або кого «накручують» у соцмережах?
за авторством: Ганжа, А.
Опубліковано: (2016)

Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста
за авторством: Nalivaiko, O. Yu., та інші
Опубліковано: (2009)

Кого чекісти звинувачували в економічних злочинах: за даними відомчої статистики 1927-1928 рр.
за авторством: Лясковська, С.
Опубліковано: (2005)

ДОСЛІДЖЕННЯ СПАЛЮВАННЯ ПЕЛЕТ СІЛЬСЬКОГОСПОДАРСЬ-КОГО ПОХОДЖЕННЯ У КОТЛАХ ПОТУЖНІСТЮ ДО 25 кВт
за авторством: Lysenko, O.M., та інші
Опубліковано: (2022)

Диэлектрические характеристики высокотеплопроводной AlN-керамики в диапазоне частот 3–93 ГГц
за авторством: Chasnyk, V. I., та інші
Опубліковано: (2013)

Поглотители СВЧ-энергии на основе нитрида алюминия с высоким уровнем поглощения
за авторством: Chasnyk, V. I.
Опубліковано: (2014)

Структура и свойства покрытия из Ni-Cr-B-Si-Fe/WC-Co, нанесенного на подложку из стали и меди
за авторством: Погребняк, А.Д., та інші
Опубліковано: (2008)

Одностадийная электронно-лучевая технология осаждения термобарьерных градиентных покрытий
за авторством: Яковчук, К.Ю., та інші
Опубліковано: (2003)

Анализ несущих конструкций 19-дюймовой и метрической систем для электронных средств
за авторством: Yefimenko, A. A., та інші
Опубліковано: (2015)

Поведение решений задачи Дирихле для квазилинейного элиптического уравнения второго порядка общего вида вблизи угловой точки
за авторством: Борсук М.В.
Опубліковано: (1992)

Радиационная стойкость нитевидных кристаллов SiGe, используемых для сенсоров физических величин
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2011)

Влияние обработки водородом монокристаллов теллурида кадмия на их спектры оптического пропускания
за авторством: Pigur, O. N., та інші
Опубліковано: (2011)