Зображення обкладинки

Исследование свойств пленок нитрида и оксида кремния, полученных методом плазмохимического осаждения на кремниевую подложку

The research has been carried out on dependence of mechanical stress on the modes of deposition of silicon nitride and oxide films obtained by plasma excited chemical vapour deposition of the layers from the gas phase (PECVD). The connection has been determined between the key parameters of the depo...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2011
Автори:	Rubtsevich, I. I., Solovyov, Ya. A., Vysotskiy, V. B., Dudkin, A. I., Kovalchuk, N. S.
Формат:	Стаття
Мова:	Українська
Опубліковано:	PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2011
Теми:	микроэлектромеханические системы внутренние механические напряжения диэлектрические пленки нитрид кремния оксид кремния
Онлайн доступ:	https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2011.4.29
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Technology and design in electronic equipment

Репозитарії

Technology and design in electronic equipment

Схожі ресурси

Получение тонких пленок Si3N4 при пониженном давлении на пластинах диаметром до 200 мм
за авторством: Nalivaiko, O. Yu., та інші
Опубліковано: (2012)

Фотоэлектрические свойства гетеропереходов n-SiC/n-Si
за авторством: Semenov, A. V., та інші
Опубліковано: (2012)

Поглотители СВЧ-энергии с высокой теплопроводностью на основе AlN и SiC с добавками молибдена
за авторством: Chasnyk, V. I., та інші
Опубліковано: (2014)

Низкоразмерные кристаллы кремния для фотоэлектрических преобразователей
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2011)

Оптимизация конструкции мембранных датчиков
за авторством: Rubcevich, I. I., та інші
Опубліковано: (2009)

Формирование мезаструктур 4НSiC p–i–n-диодов методом ионно-плазменного травления
за авторством: Boltovets, M. S., та інші
Опубліковано: (2009)

Применение высокотеплопроводной керамики из нитрида алюминия в вакуумных электронных приборах СВЧ
за авторством: Chasnyk, V. I.
Опубліковано: (2013)

Получение, свойства и применение тонких нанонеоднородных пленок Ge на GaAs-подложках
за авторством: Venger, E. F., та інші
Опубліковано: (2014)

Газочувствительные элементы на основе пленок SiPcCl2
за авторством: Alieva, Kh. S., та інші
Опубліковано: (2010)

Оптический датчик температуры на основе нанокристаллической пленки SiC
за авторством: Lopin, A. V., та інші
Опубліковано: (2007)

Математические модели формирования химической связи твердых растворов CdSb–ZnSb
за авторством: Ashcheulov, A. A., та інші
Опубліковано: (2009)

НЕВУЗЛОВІ ПАРАМЕТРИ І АДЕКВАТНІ МОДЕЛІ СЕРЕНДИПОВИХ ЕЛЕМЕНТІВ
за авторством: Хомченко, Анатолий Никифорович, та інші
Опубліковано: (2012)

Нанокомпозиты на основе опаловых матриц с кристаллическими ферротороидальными мультиферроиками
за авторством: Samoylovich, M. I., та інші
Опубліковано: (2012)

Влияние мощности примесных барьеров на пластическую деформацию бинарных сплавов свинца в нормальном и сверхпроводящем состояниях
за авторством: Солдатов, В.П., та інші
Опубліковано: (1996)

Влияние ориентационного упорядочения молекул на подвижность дислокаций в фуллерите C₆₀
за авторством: Нацик, В.Д., та інші
Опубліковано: (1996)

Разработка процесса глубокого плазменного травления кремния для технологии трехмерной интеграции кристаллов
за авторством: Golishnikov, А. А., та інші
Опубліковано: (2014)

Разработка процесса газофазного и плазмохимического осаждения покрытия на основе карбида бора
за авторством: Журавлев, А.Ю., та інші
Опубліковано: (2017)

Повышение надежности диодов Шоттки при воздействии разрядов cтатического электричества
за авторством: Sоlоdukha, V. A., та інші
Опубліковано: (2012)

Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей
за авторством: Fedorovich, O. A., та інші
Опубліковано: (2009)

Вiхи iсторичного шляху
за авторством: Онищенко, О.С.
Опубліковано: (2009)

Ультразвуковая очистка оптико-механических систем
за авторством: Tomal, V. S.
Опубліковано: (2007)

Прогноз диэлектрических потерь в стеклокерамике для разных соотношений массовых долей компонентов
за авторством: Dmitriev, M. V., та інші
Опубліковано: (2012)

Применение технологии тонких пленок и наноструктурированных материалов при изготовлении теплонагруженных печатных плат
за авторством: Sakhno, E. A., та інші
Опубліковано: (2011)

УСЛОВИЯ ВОЗНИКНОВЕНИЯ И РОСТА ТРЕЩИН В РОТОРЕ ТУРБОГЕНЕРАТОРА ВСЛЕДСТВИЕ ЭЛЕКТРОДИНАМИЧЕСКИХ ВОЗДЕЙСТВИЙ В АНОРМАЛЬНЫХ РЕЖИМАХ
за авторством: Tитко , A.И., та інші
Опубліковано: (2012)

Щодо визначення розміру мінімальної заробітної плати
за авторством: Гаєвая, О.В.
Опубліковано: (2011)

Особенности малоамперной аргонодуговой и микроплазменной порошковой наплавки на узкую подложку
за авторством: Яровицын, А.В., та інші
Опубліковано: (2009)

Оптимізація системи зaхиcту інформації корпоративної мережі
за авторством: Корнієнко, Богдан Ярославович, та інші
Опубліковано: (2019)

Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей
за авторством: Федорович, О.А., та інші
Опубліковано: (2009)

Высокочастотный реактор с асимметричными электродами для плазмохимического травления полупроводников
за авторством: Дудин, С.В., та інші
Опубліковано: (2011)

Механические характеристики, структура и напряженное состояние вакуумно-дуговых TiN-покрытий, осажденных при подаче на подложку высоковольтных импульсов в процессе осаждения
за авторством: Соболь, О.В., та інші
Опубліковано: (2011)

Омические контакты к материалам на основе нитрида индия
за авторством: Sai, P. O.
Опубліковано: (2016)

Оптимизация распределения концентрации носителей по толщине эпитаксиальных слоев
за авторством: Karimov, A. V., та інші
Опубліковано: (2007)

Особенности структурных превращений при спекании нанодисперсного монофазного порошка нитрида титана плазмохимического синтеза
за авторством: Кайдаш, О.Н.
Опубліковано: (2010)

Оптимизация комплексного показателя надежности радиотехнических устройств путем изменения их топологии
за авторством: Uvarov, B. M., та інші
Опубліковано: (2015)

Підписник, підписчик, підписати, абонент чи передплатник, або кого «накручують» у соцмережах?
за авторством: Ганжа, А.
Опубліковано: (2016)

Невидима рука чого … або кого? від взаємного пристосування до інституційної комплементарності
за авторством: Липов, В.В.
Опубліковано: (2011)

Коли й вiд кого князь Данило Романович відібрав Дорогичин?
за авторством: Майоров, О.
Опубліковано: (2013)

Пучково-плазменный разряд в слабом магнитном поле как источник плазмы для плазмохимического реактора
за авторством: Шустин, Е.Г., та інші
Опубліковано: (2008)

Структура и свойства покрытий из титана нанесенного высокоскоростной детонационной струей на подложку из стали 3
за авторством: Погребняк, А.Д., та інші
Опубліковано: (2006)

Ртутный микрозонд для исследования локальных электрофизических свойств полупроводниковых структур
за авторством: Popov, V. M., та інші
Опубліковано: (2010)