Роль пластической деформации в получении нанокремния
The quantity and quality analysis of plastic deformation and near-surface silicon layers with nanostructure silicon formation are given in this paper. It is shown, due to high-temperature oxidation and other factors the complex defect structure is generated in near-surface silicon layers. It consist...
Збережено в:
| Дата: | 2011 |
|---|---|
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Ukrainian |
| Опубліковано: |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
2011
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2011.1-2.22 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Technology and design in electronic equipment |
Репозитарії
Technology and design in electronic equipment| id |
oai:tkea.com.ua:article-532 |
|---|---|
| record_format |
ojs |
| spelling |
oai:tkea.com.ua:article-5322025-11-05T21:19:44Z Plastic deformation in nanostructure silicon formation Роль пластической деформации в получении нанокремния Smyntyna, V. A. Kulinich, O. A. Yatsunkiy, I. R. Marchuk, I. A. nano-structured silicon plastic deformation наноструктурированный кремний пластическая деформация The quantity and quality analysis of plastic deformation and near-surface silicon layers with nanostructure silicon formation are given in this paper. It is shown, due to high-temperature oxidation and other factors the complex defect structure is generated in near-surface silicon layers. It consists of a disordered silicon layer and a layer of dislocation networks. Silicon dioxide etching and additional chemical treatment allows obtaining nanostructured silicon with given properties. Проведен качественный и количественный анализ связи пластической деформации поверхности и приповерхностной области кремния с получением наноструктурированного кремния. Показано, что в результате высокотемпературного окисления кремния, а также ряда дополнительных причин, в приповерхностных слоях образуется сложная дефектная область, которая состоит из слоя мелкоблочного кремния и слоя, содержащего дислокационные сетки. Стравливание диоксида кремния и обработка различными избирательными травителями поверхности позволяет получать наноструктурированный кремний с заданной топологией. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2011-04-28 Article Article Peer-reviewed Article application/pdf https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2011.1-2.22 Technology and design in electronic equipment; No. 1–2 (2011): Tekhnologiya i konstruirovanie v elektronnoi apparature; 22-24 Технологія та конструювання в електронній апаратурі; № 1–2 (2011): Технология и конструирование в электронной аппаратуре; 22-24 3083-6549 3083-6530 uk https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2011.1-2.22/482 Copyright (c) 2011 Smyntyna V. A., Kulinich O. A., Yatsunkiy I. R., Marchuk I. A. http://creativecommons.org/licenses/by/4.0/ |
| institution |
Technology and design in electronic equipment |
| baseUrl_str |
|
| datestamp_date |
2025-11-05T21:19:44Z |
| collection |
OJS |
| language |
Ukrainian |
| topic |
наноструктурированный кремний пластическая деформация |
| spellingShingle |
наноструктурированный кремний пластическая деформация Smyntyna, V. A. Kulinich, O. A. Yatsunkiy, I. R. Marchuk, I. A. Роль пластической деформации в получении нанокремния |
| topic_facet |
nano-structured silicon plastic deformation наноструктурированный кремний пластическая деформация |
| format |
Article |
| author |
Smyntyna, V. A. Kulinich, O. A. Yatsunkiy, I. R. Marchuk, I. A. |
| author_facet |
Smyntyna, V. A. Kulinich, O. A. Yatsunkiy, I. R. Marchuk, I. A. |
| author_sort |
Smyntyna, V. A. |
| title |
Роль пластической деформации в получении нанокремния |
| title_short |
Роль пластической деформации в получении нанокремния |
| title_full |
Роль пластической деформации в получении нанокремния |
| title_fullStr |
Роль пластической деформации в получении нанокремния |
| title_full_unstemmed |
Роль пластической деформации в получении нанокремния |
| title_sort |
роль пластической деформации в получении нанокремния |
| title_alt |
Plastic deformation in nanostructure silicon formation |
| description |
The quantity and quality analysis of plastic deformation and near-surface silicon layers with nanostructure silicon formation are given in this paper. It is shown, due to high-temperature oxidation and other factors the complex defect structure is generated in near-surface silicon layers. It consists of a disordered silicon layer and a layer of dislocation networks. Silicon dioxide etching and additional chemical treatment allows obtaining nanostructured silicon with given properties. |
| publisher |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers |
| publishDate |
2011 |
| url |
https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2011.1-2.22 |
| work_keys_str_mv |
AT smyntynava plasticdeformationinnanostructuresiliconformation AT kulinichoa plasticdeformationinnanostructuresiliconformation AT yatsunkiyir plasticdeformationinnanostructuresiliconformation AT marchukia plasticdeformationinnanostructuresiliconformation AT smyntynava rolʹplastičeskojdeformaciivpolučeniinanokremniâ AT kulinichoa rolʹplastičeskojdeformaciivpolučeniinanokremniâ AT yatsunkiyir rolʹplastičeskojdeformaciivpolučeniinanokremniâ AT marchukia rolʹplastičeskojdeformaciivpolučeniinanokremniâ |
| first_indexed |
2025-11-06T02:51:38Z |
| last_indexed |
2025-11-06T02:51:38Z |
| _version_ |
1850410270529159168 |